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用于體內(nèi)超聲和光聲雙模顯微成像的超靈敏透明超聲換能器設(shè)計(jì)

MEMS ? 來(lái)源:MEMS ? 2024-02-29 09:47 ? 次閱讀

超聲成像(USI)和光學(xué)成像(OI)傳感器因其簡(jiǎn)單、安全及高成本效益,非常適合傳感器融合應(yīng)用。將USI與各種OI模式(如光聲成像、光學(xué)相干斷層掃描、熒光成像和白光成像等)結(jié)合使用可以提供互補(bǔ)的信息,提高疾病診斷和監(jiān)測(cè)的靈敏度及特異性,同時(shí)最大限度地減少每種模式單獨(dú)使用時(shí)的缺點(diǎn)。然而,目前仍存在兩個(gè)主要障礙:一是在同一封裝中無(wú)縫集成USI和OI模式,二是保持每種模式的最佳性能。

利用透明超聲換能器(TUT)或透明光學(xué)探測(cè)器可以克服外形尺寸挑戰(zhàn),實(shí)現(xiàn)USI和OI的無(wú)縫集成。但現(xiàn)有研究的TUT聲學(xué)性能不如傳統(tǒng)的不透明超聲換能器(OUT)。已有報(bào)道通過(guò)透明聚焦光學(xué)傳感器展示了高質(zhì)量的多尺度光聲成像,但其光學(xué)傳感器無(wú)法生成超聲圖像。

制造聲學(xué)性能媲美OUT的實(shí)用TUT需要三個(gè)先決條件:(1)聲阻抗為7~9 MRayl(1 Rayl = 1?Pa·s·m?1?=?1?kg/(m2·s))的透明前匹配材料,以最大限度地提高傳輸效率;(2)超過(guò)5 MRayl的透明背襯材料,以通過(guò)平衡電學(xué)和聲學(xué)Q因子來(lái)消除振鈴(ringdown);(3)所有層之間的牢固連接,沒(méi)有導(dǎo)致超聲換能器品質(zhì)降低的間隙。

第一個(gè)先決條件,前匹配層確保了穩(wěn)定而高的水傳輸壓,尤其是在雙匹配結(jié)構(gòu)中與聲阻抗為2~3 MRayl的純聚合物一起使用時(shí)。在此,研究人員的目標(biāo)是利用由7.5 MRayl第一層和2.36 MRayl第二層組成的雙匹配層來(lái)實(shí)現(xiàn)平坦的高增益。背襯材料的聲阻抗要求平衡了聲學(xué)和電學(xué)Q因子。鑒于正面規(guī)格,聲阻抗為7.2 MRayl的背襯材料可以實(shí)現(xiàn)最佳帶寬。在具有類似設(shè)計(jì)的超聲換能器中,通常會(huì)采用5~6 MRayl的聲阻抗,這樣既不會(huì)使Q因子嚴(yán)重失衡,又能提高靈敏度。本研究也希望采用略低的聲阻抗,因此采用了共振中心聲阻抗為6.1 MRayl的雙層襯底結(jié)構(gòu)。該設(shè)計(jì)采用了一個(gè)3.8 MRayl的匹配層,以增加背面的有效聲阻抗,同時(shí)又不損失透明度。

為確保各層之間的牢固連接,相比聲波波長(zhǎng),粘合間隙應(yīng)最小。消除粘合間隙最有效的方法是將匹配的背襯材料用作粘合劑,并直接固化在粘合面上。因此,本研究旨在創(chuàng)造一種粘度適合粘合劑粘合的材料。100 McPs的粘度被認(rèn)為是上限,因?yàn)檎扯容^高的材料很難在表面上均勻澆注或鋪展。

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本文所提出的透明超聲換能器(TUT)、傳統(tǒng)不透明超聲換能器(OUT)和傳統(tǒng)TUT的計(jì)算性能比較

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,韓國(guó)浦項(xiàng)科技大學(xué)的研究人員在Nature Communications期刊上發(fā)表了一篇題為“An ultrasensitive and broadband transparent ultrasound transducer for ultrasound and photoacoustic imaging in-vivo”的文章。為了同時(shí)滿足上述三個(gè)要求,研究人員利用實(shí)驗(yàn)和模擬設(shè)計(jì)了一種配方,以提供所需要的聲學(xué)、流變學(xué)和光學(xué)特性。本研究所提出的粘合劑SiO?/epoxy復(fù)合材料具有優(yōu)化的光學(xué)透明度、聲阻抗和流動(dòng)性?;谶@些創(chuàng)新,研究人員開(kāi)發(fā)出了一種寬帶(63%帶寬)超靈敏TUT,同時(shí)保持了光學(xué)透明度(>80%)。

此外,研究人員還將這種高性能TUT應(yīng)用于活體動(dòng)物和人體的全集成雙模顯微超聲成像和光聲成像系統(tǒng)。通過(guò)利用所開(kāi)發(fā)的TUT,該高清晰度、高對(duì)比度超聲成像和光聲成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了前所未有的性能:兩種模式的成像深度均超過(guò)15 mm,超聲成像的軸向分辨率達(dá)到了32.6 μm(相當(dāng)于深度分辨率比>500),光聲成像的軸向分辨率達(dá)到了40.4 μm(相當(dāng)于深度分辨率比>370)。這一重大進(jìn)步實(shí)現(xiàn)了真正的雙模超聲成像和光聲成像,首次同時(shí)提供了高清晰度的超聲成像和光聲成像。研究人員相信,這項(xiàng)研究成果為TUT設(shè)計(jì)樹立了新標(biāo)桿,并將推動(dòng)傳感器融合技術(shù)的發(fā)展。

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本文所提出的透明超聲換能器(TUT)結(jié)構(gòu)及其光學(xué)透射率

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采用高性能透明超聲換能器(TUT)的集成超聲(US)和光聲(PA)顯微系統(tǒng)示意圖及其成像性能

論文鏈接:
https://doi.org/10.1038/s41467-024-45273-4




審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:超靈敏透明超聲換能器,用于體內(nèi)超聲和光聲雙模顯微成像

文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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