掃描電鏡按構(gòu)造和用處可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。
掃描電鏡常用于察看那些用普通顯微鏡所不能分辨的纖細(xì)物質(zhì)構(gòu)造,次要用于察看固體外表的形貌,也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合,構(gòu)成電子微探針,用于物質(zhì)成分剖析;發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子外表的研討。因電子束穿透樣品后,再用掃描電鏡成像縮小而得名,它的光路與光學(xué)顯微鏡相仿,可以直接取得一個(gè)樣本的投影。
經(jīng)過改動(dòng)物鏡的透鏡零碎人們可以直接縮小物鏡的焦點(diǎn)的像,由此人們可以取得電子衍射像,運(yùn)用這個(gè)像可以剖析樣本的晶體結(jié)構(gòu),在這種掃描電鏡中,圖像細(xì)節(jié)的對(duì)比度是由樣品的原子對(duì)電子束的散射構(gòu)成的,由于電子需求穿過樣本,因而樣本必需薄。樣本的厚度可以從數(shù)納米到數(shù)微米不等。
原子量越高、電壓越低,樣本就必需越薄。樣品較薄或密度較低的局部,電子束散射較少,這樣就有較多的電子經(jīng)過物鏡光闌,參與成像,在圖像中顯得較亮。反之,樣品中較厚或較密的局部,在圖像中則顯得較暗。假如樣品太厚或過密,則像的對(duì)比度就會(huì)好轉(zhuǎn),甚至?xí)蛭针娮邮哪芰慷粨p傷或毀壞。掃描電鏡的操作步驟及日常維護(hù)、保養(yǎng)注意事項(xiàng)如下:
1、去掉防塵罩,翻開電源
2、將試樣置于載物臺(tái)墊片,調(diào)整粗/微調(diào)旋鈕停止調(diào)焦,直到察看到的圖像明晰為止
3、調(diào)整載物臺(tái)地位,找到要察看的視場(chǎng),停止鏡像剖析
4、掃描電鏡調(diào)焦時(shí)留意不要使物鏡碰到試樣,以免劃傷物鏡
5、當(dāng)載物臺(tái)墊片圓孔中心的地位遠(yuǎn)離物鏡中心地位時(shí)不要切換物鏡,以免劃傷物鏡
6、亮度調(diào)整切忌忽大忽小,也不要過亮,影響燈泡的使用壽命,同時(shí)也有損視力
7、所有(功能)切換,舉措要輕,要到位
8、關(guān)機(jī)時(shí)要將亮度調(diào)到小
9、非專業(yè)人員不要調(diào)整金相顯微鏡照明零碎(燈絲地位等),以免影響成像質(zhì)量
10、改換鹵素?zé)魰r(shí)要留意低溫,以免灼傷;留意不要用手直接接觸鹵素?zé)舻牟Aw
審核編輯 黃宇
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掃描電鏡
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蔡司
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