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非均勻GaAs/AlGaAs量子阱紅外探測(cè)器材料表征和器件性能研究

MEMS ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2023-12-18 10:42 ? 次閱讀

量子阱紅外探測(cè)器基于子帶躍遷的工作原理,探測(cè)器吸收紅外輻射后激發(fā)量子阱中的電子,使其從基態(tài)躍遷到連續(xù)態(tài)中,從而實(shí)現(xiàn)紅外探測(cè)。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,上海理工大學(xué)和中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所的科研團(tuán)隊(duì)在《紅外與毫米波學(xué)報(bào)》期刊上發(fā)表了以“非均勻GaAs/AlGaAs量子阱紅外探測(cè)器材料表征和器件性能研究”為主題的文章。該文章第一作者為蘇家平,通訊作者為陳平平和陳澤中。

本工作是面向焦平面(FPA)非均勻GaAs/AlGaAs量子阱紅外探測(cè)器,為相關(guān)的10 μm - 11 μm長波焦平面量子阱紅外探測(cè)器提供基礎(chǔ)。非均勻量子阱主要特點(diǎn)是在量子阱中引入非均勻勢(shì)壘寬度和摻雜濃度,從而改變能帶結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)分布,這也為新型光電子器件和半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)提供了新思路。

實(shí)驗(yàn)過程

本文樣品利用法國Riber公司Compact-21型分子束外延(MBE)系統(tǒng),在3 inch(1,0,0)半絕緣GaAs襯底上生長GaAs/AlGaAs量子阱結(jié)構(gòu)。該MBE系統(tǒng)配備有單控溫區(qū)Al束源爐,雙控溫區(qū)Ga束源爐,以及閥控As裂解爐作為As束源爐,且所有源爐均采用固態(tài)源。

隨著生長的進(jìn)行,勢(shì)壘寬度線性變化從75 nm減小到15 nm,而阱中的摻雜濃度從1.0×101? cm?3升高到1.0×101? cm?3,阱中摻雜濃度和勢(shì)壘寬度的分布如圖1所示。量子阱的大部分摻雜濃度變化發(fā)生在后五個(gè)阱,從3.0×101? cm?3升高到1.0×101? cm?3。

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圖1 非均勻量子阱的摻雜濃度和勢(shì)壘寬度分布

樣品生長結(jié)束后,通過Talos F200X型高分辨透射電鏡(HRTEM)表征非均勻量子阱周期的生長情況,確保樣品生長與設(shè)計(jì)參數(shù)保持一致;利用Cameca 7f型二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測(cè)試樣品的非均勻量子阱周期勢(shì)阱的摻雜濃度。本文采用標(biāo)準(zhǔn)工藝制備了測(cè)試器件,具體步驟如下:首先,通過光刻和濕法腐蝕,獲得了200×200 μm2臺(tái)面;然后,上下電極層采用電子束蒸發(fā)的方法生長100/20/400 nm的AuGe/Ni/Au金屬層,并在適當(dāng)退火條件下形成歐姆接觸。最后,將樣品磨成45°斜面耦合入射光,并用低溫膠將其固定在無氧銅熱沉上。為了測(cè)試器件的光電性能,將其安裝在低溫杜瓦制冷設(shè)備中,并測(cè)量其黑體響應(yīng)、暗電流和光電流譜等參數(shù)。

結(jié)果與討論

非均勻量子阱外延材料微觀結(jié)構(gòu)表征分析

本文通過高分辨透射電鏡(HRTEM)對(duì)非均勻量子阱外延材料進(jìn)行了表征,研究其外延層和界面特性。非均勻量子阱外延材料的晶體質(zhì)量、材料的均勻性與生長參數(shù)之間的偏差是影響探測(cè)器性能的重要因素。高分辨透射電鏡作為一種重要的表征工具,可以提供分子束外延材料中納米尺度結(jié)構(gòu)的詳細(xì)信息,例如界面形貌、晶體缺陷和結(jié)構(gòu)缺陷等。通過對(duì)材料的界面形貌和晶格缺陷的觀察,可以進(jìn)一步指導(dǎo)量子阱紅外探測(cè)器材料的優(yōu)化和性能的提升。為此,選擇了典型的樣品A進(jìn)行高分辨透射電鏡表征。圖2展示了樣品A的HRTEM圖像。

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圖2 樣品A的高分辨透射電子顯微鏡圖像

此外,在使用HRTEM表征微觀結(jié)構(gòu)時(shí),結(jié)合能譜儀(EDS)對(duì)非均勻量子阱結(jié)構(gòu)中心區(qū)域進(jìn)行了元素組成和含量分析。如圖3所示,左一圖像為高角度環(huán)形暗場(chǎng)圖像(HAADF),從圖中可以觀察到,樣品A與樣品B均擁有很陡峭的界面,量子阱的勢(shì)阱層GaAs(白色層)與勢(shì)壘層AlGaAs(灰色層)層次分明,沒有偏析現(xiàn)象出現(xiàn)。圖3中心圖像展示了Al元素的分布,可以觀察到其在較寬的勢(shì)壘層中均勻的分布,而在較窄的勢(shì)阱層則是黑色的,沒有Al元素的出現(xiàn),且勢(shì)阱層與勢(shì)壘層的的界面非常清晰,沒有偏析現(xiàn)象,從這從另一角度也表明了GaAs/AlGaAs擁有很好的界面質(zhì)量。綜上所述,通過高分辨透射電鏡與能譜儀分析,均顯示了非均勻量子阱外延微觀結(jié)構(gòu)均很好的外延質(zhì)量和界面質(zhì)量。

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圖3 樣品A的能譜儀圖像

為了進(jìn)一步獲得外延材料中各層的組分信息,并研究非均勻量子阱的另一特性(即非均勻摻雜),采用了二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)對(duì)樣品A的GaAs勢(shì)阱層中Si摻雜過程進(jìn)行了深入分析,比較勢(shì)阱的實(shí)際摻雜濃度與設(shè)計(jì)值之間的偏差。圖4為樣品A的SIMS測(cè)試數(shù)據(jù),其直觀地反映了非均勻量子阱材料的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),即沿著外延生長方向,量子阱的勢(shì)壘寬度逐漸變窄,而勢(shì)阱的摻雜濃度依次升高。

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圖4 樣品A的二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測(cè)試結(jié)果

光電性能研究

NUQWIP與常規(guī)QWIP的光電性能

非均勻量子阱是一種在外延生長方向上具有連續(xù)變化勢(shì)壘寬度和勢(shì)阱摻雜濃度的量子阱結(jié)構(gòu),以此改變量子阱的電場(chǎng)分布,從而影響量子阱探測(cè)器的性能。暗電流是指在沒有光照時(shí),由于熱激發(fā)或隧穿效應(yīng)而產(chǎn)生的電流,它是影響光電探測(cè)器噪聲、探測(cè)率等參數(shù)的重要因素。因此,分析非均勻量子阱的暗電流特性對(duì)于優(yōu)化光電探測(cè)器設(shè)計(jì)和提高其性能具有重要參考意義。圖5比較了非均勻結(jié)構(gòu)(樣品C)和常規(guī)結(jié)構(gòu)(樣品D)量子阱在50 K-70 K溫度區(qū)間內(nèi)暗電流隨偏壓變化的特性曲線。

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圖5 在不同溫度下暗電流隨偏壓的依賴關(guān)系,實(shí)線為非均勻量子阱,虛線為常規(guī)量子阱

圖6為量子阱探測(cè)器的響應(yīng)光譜(PC譜),可以觀察到非均勻QWIP的PC譜半高寬比常規(guī)QWIP的半峰寬明顯減少,Δλ/λ從16%下降至8%,這是由于第一激發(fā)態(tài)逐漸從勢(shì)阱口外向勢(shì)阱口內(nèi)移動(dòng),從側(cè)面可印證躍遷模式發(fā)生了變化。此外,圖7比較了非均勻結(jié)構(gòu)(樣品C)和常規(guī)結(jié)構(gòu)(樣品D)QWIP在50 K和60 K溫度下,黑體響應(yīng)率隨偏壓變化的曲線。

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圖6 非均勻量子阱與常規(guī)量子阱在50 K溫度下的光電流響應(yīng)譜

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圖7 非均勻量子阱和常規(guī)量子阱在不同溫度下黑體響應(yīng)率隨偏壓的變化關(guān)系

不同阱寬NUQWIP的光電性能

為了研究勢(shì)阱寬度改變對(duì)非均勻量子阱電學(xué)性能的影響,生長了樣品A、樣品B和樣品C,除了阱寬不相同外(樣品A、B、C阱寬分別為6.1、6.3、6.5 nm),其他參數(shù)均保持一致。圖8顯示了樣品A、樣品B和樣品C在50 K下的光電流譜。

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圖8 樣品A、樣品B和樣品C在50 K下的光電流響應(yīng)譜

圖9展示了不同勢(shì)阱寬度下的非均勻量子阱的暗電流隨偏壓的變化的關(guān)系圖。從圖中可以明顯觀察到,暗電流隨著器件偏壓的增加而快速增大,這是由于偏壓增大導(dǎo)致量子阱的能帶傾斜,從而增加了電子的碰撞電離能,進(jìn)而增加了暗電流。如圖10所示,顯示了不同阱寬下非均勻量子阱紅外探測(cè)器在不同溫度下,黑體響應(yīng)率隨偏壓變化的曲線。

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圖9 樣品A、樣品B和樣品C在不同溫度下暗電流隨偏壓的依賴關(guān)系

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圖10 樣品A、樣品B和樣品C在不同溫度下黑體響應(yīng)率隨偏壓的變化關(guān)系

此外,非均勻量子阱結(jié)構(gòu)和常規(guī)量子阱結(jié)構(gòu)的黑體響應(yīng)率在溫度依賴性方面表現(xiàn)出部分差異。對(duì)于傳統(tǒng)量子阱結(jié)構(gòu),在不同溫度下,響應(yīng)率基本保持恒定。溫度與響應(yīng)率存在依賴性的現(xiàn)象,此前僅在具有單個(gè)量子阱周期的QWIP中發(fā)現(xiàn)。如圖10所示,對(duì)于非均勻量子阱結(jié)構(gòu),在負(fù)偏壓下,響應(yīng)率與溫度依賴性較弱;但在正偏壓下(高于1.5 V),響應(yīng)率隨著溫度升高而增大。這是由于非均勻量子阱中每個(gè)量子阱的注入電流受到溫度影響。從量子阱內(nèi)部電場(chǎng)分布來解釋,由于低摻雜阱的注入電流較低,電場(chǎng)分布在低溫下分為兩部分,分別為一個(gè)均勻的高場(chǎng)區(qū)以及一個(gè)較長的幾乎為零的低場(chǎng)區(qū)。由于該區(qū)域的低量子效率和高捕獲概率,因此響應(yīng)率較低。隨著溫度的升高,這個(gè)低場(chǎng)區(qū)域減小,響應(yīng)率逐漸增加。

結(jié)論

本文利用分子束外延(MBE)技術(shù)成功生長了非均勻GaAs/AlGaAs量子阱紅外探測(cè)器材料,通過高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)結(jié)合能譜儀(EDS)對(duì)非均勻外延微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的表征分析,并利用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)對(duì)非均勻勢(shì)阱摻雜進(jìn)行了表征。對(duì)非均勻GaAs/AlGaAs量子阱紅外探測(cè)器和常規(guī)量子阱紅外探測(cè)器性能做了研究比較,并分析了不同勢(shì)阱寬度對(duì)非均勻量子阱紅外探測(cè)器性能的影響。結(jié)果表明,使用MBE系統(tǒng)成功生長了高質(zhì)量的非均勻量子阱外延材料,通過改變每個(gè)阱的摻雜濃度和勢(shì)壘寬度,可以改變電場(chǎng)分布,使暗電流下降一個(gè)數(shù)量級(jí)。在不同阱寬下,可以改變非均勻量子阱的躍遷模式,束縛態(tài)到準(zhǔn)束縛態(tài)躍遷模式下(B-QB)器件擁有更強(qiáng)的黑體響應(yīng)率以及較低的暗電流。這些工作有助于實(shí)現(xiàn)焦平面量子阱紅外探測(cè)器的性能提升,也為研制非均勻量子阱紅外探測(cè)器應(yīng)用于長波紅外成像領(lǐng)域打下了基礎(chǔ)。

審核編輯:湯梓紅

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原文標(biāo)題:非均勻GaAs/AlGaAs量子阱紅外探測(cè)器材料表征和器件性能研究

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