泓滸半導(dǎo)體榮膺年度技術(shù)突破獎(jiǎng)，推動半導(dǎo)體核心零部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展

12月16日，由半導(dǎo)體投資聯(lián)盟贊助，愛集微承辦的“2024半導(dǎo)體投資年會暨IC風(fēng)云榜頒獎(jiǎng)典禮”在北京舉行。在眾多入圍企業(yè)中，泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司因其卓越的晶圓傳輸自動化設(shè)備與真空傳送平臺技術(shù)突破，榮膺 “年度技術(shù)突破獎(jiǎng)”。

泓滸半導(dǎo)體成立于2016年，總部位于蘇州，主營半導(dǎo)體晶圓傳輸自動化設(shè)備研發(fā)制造，是國家高新技術(shù)企業(yè)。獲批國家級專精特新“小巨人”認(rèn)定，并列為蘇州市“獨(dú)角獸”企業(yè)。其主要產(chǎn)品覆蓋晶圓傳片機(jī)（Sortor）、設(shè)備前端模塊 （EFEM）、真空傳輸平臺（VTM）、半導(dǎo)體核心精密傳輸部件等，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)各下游客戶提供尖端的晶圓自動傳輸整體解決方案。泓滸半導(dǎo)體自主研發(fā)的設(shè)備已廣泛運(yùn)用于硅基集成電路制造、SiC、GaN化合物半導(dǎo)體及第四代顯示技術(shù)Micro LED等領(lǐng)域。

泓滸半導(dǎo)體核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)由資深半導(dǎo)體晶圓廠和設(shè)備公司成員組成，具有豐富的半導(dǎo)體技術(shù)開發(fā)經(jīng)驗(yàn)。設(shè)備性能指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，且在機(jī)器人（Robot）等關(guān)鍵零部件和軟件控制系統(tǒng)自主研發(fā)亦有重大突破。

真空傳送平臺（VTM）應(yīng)用于晶圓蝕刻、沉積等真空工藝制程，由于對環(huán)境要求極高，需具備超高真空度、超低振動、耐腐蝕、耐高溫等特性。長久以來，此類平臺及關(guān)鍵零部件—真空搬運(yùn)機(jī)器人（V-ROBOT）等全部依賴進(jìn)口。然而，歷經(jīng)多年拼搏，泓滸半導(dǎo)體成功攻克了這一技術(shù)難題，成為了中國目前唯一能大批量交付真空傳送設(shè)備（VTM）的企業(yè)。

值得一提的是，截至當(dāng)前，泓滸半導(dǎo)體已獲得逾120項(xiàng)專利，其中絕大部分均為發(fā)明專利。

“年度技術(shù)突破獎(jiǎng)”旨在表彰那些在前沿技術(shù)領(lǐng)域開展原創(chuàng)性重大技術(shù)創(chuàng)新，達(dá)到國際先進(jìn)/領(lǐng)先水平，預(yù)期將帶來重大社會經(jīng)濟(jì)效益，并有力推動我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主安全可控發(fā)展的企業(yè)。由半導(dǎo)體投資聯(lián)盟逾百家會員單位及廣大半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)袖擔(dān)任評審團(tuán)，從市場、學(xué)術(shù)研究、資金來源、品牌影響力等多個(gè)角度，選拔出符合評選標(biāo)準(zhǔn)的優(yōu)秀人才、優(yōu)質(zhì)機(jī)構(gòu)、優(yōu)秀企業(yè)、優(yōu)秀園區(qū)和優(yōu)秀品牌進(jìn)行公開表彰。