光學(xué)零件的面形偏差檢驗(yàn)方法
被檢光學(xué)表面相對于參考光學(xué)表面的偏差稱面形偏差。
面形偏差是在圓形檢驗(yàn)范圍內(nèi)，通過垂直位置所觀察到的干涉條紋(通稱光圈)的數(shù)目、形狀、變化和顏色來確定的。
編輯：黃飛
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原文標(biāo)題：【光電集成】光學(xué)零件的面形偏差 檢驗(yàn)方法（光圈識別）
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