C4F8氣體詳解

C4F8氣體在半導體制程中同樣占據(jù)了十分重要的地位，那么C4F8有哪些重要的應用呢？

C4F8的分子結(jié)構(gòu)？

細心的朋友會發(fā)現(xiàn)，我們在介紹氣體或化學品時，總是會先介紹他們的化學式，分子結(jié)構(gòu)，化學鍵，極性等，有人認為多此一舉，但是我認為這些內(nèi)在的結(jié)構(gòu)往往導致了其物化性質(zhì)的多樣性。我們不僅要知其表象，更要知其本質(zhì)，這樣在復雜的半導體工藝制程中我們才能從變化紛繁的表象中找到其根因，因此在學習基礎知識時，一定不要嫌麻煩，需要夯實基礎。

C4F8,八氟環(huán)丁烷,也可以被稱為全氟環(huán)丁烷，由四個碳原子和八個氟原子組成，每個碳原子上都連接著兩個F原子，構(gòu)成了一個完全氟化的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。

什么叫烷？

“烷”這個詞取自于烷烴，表明化合物中的碳原子之間僅僅由單鍵相連。烷烴是有機化學中的基本結(jié)構(gòu)單元，它們可以是直鏈結(jié)構(gòu)，也可以是環(huán)狀結(jié)構(gòu)。

為什么叫全氟？

環(huán)狀烷烴的化學通式為：CnH2n。也就是說每個碳可以連接2個氫原子，而4個碳可以連接8個氫原子。如果這8個氫原子都被F原子取代，我們就叫全氟，如果都被氯原子取代，就叫全氯。

為什么叫環(huán)丁烷？

烷烴根據(jù)其C原子數(shù)量不同，按照十天干：甲、乙、丙、丁、戊、己、庚、辛、壬、癸來進行命名,分別代表1-10個C原子。例如CH4代表甲烷，C2H6代表乙烷等等。環(huán)，則表示其具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)。如果是直鏈結(jié)構(gòu)，則不用帶“環(huán)“。

C4F8的物化性質(zhì)？

狀態(tài)：常溫常壓下為氣態(tài)，無色，無味

沸點：-5.85°C

熔點：-45.6°C

密度：9.52 kg/m3，遠遠大于空氣的密度，1.29 kg/m3

溶解性：基本不溶于水，但可溶于某些有機溶劑。

穩(wěn)定性：非常穩(wěn)定，化學惰性強，耐高溫

電絕緣性：具有很高的電絕緣性

C4F8的應用？

干法刻蝕：在bosch工藝中，C4F8作為一種保護氣，對硅深孔的側(cè)壁進行保護，這樣能大大提高硅刻蝕的各項異性。當然，C4F8也可以作為刻蝕氣體來使用，它適用于蝕刻氧化硅、氮化硅和其他低介電常數(shù)材料。通常與其他氣體如氬（Ar）、氧氣（O2）或氮（N2）混合使用以調(diào)整蝕刻過程。

制冷劑：尤其是在需要避免潛在腐蝕的高端應用中，可以作為制冷劑使用。

滅火劑：在需要無水滅火的地方，C4F8可以作為滅火劑使用，特別是在電子精密儀器的滅火系統(tǒng)中。