碲鎘汞光導(dǎo)器件在風(fēng)云氣象衛(wèi)星中的應(yīng)用概述

風(fēng)云氣象衛(wèi)星是中國(guó)作為世界大國(guó)的“標(biāo)配”之一，高效服務(wù)于我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展，有效提升了中國(guó)作為世界負(fù)責(zé)任大國(guó)的國(guó)際形象。紅外探測(cè)器作為風(fēng)云氣象衛(wèi)星的“眼睛”，其性能直接關(guān)系到風(fēng)云衛(wèi)星的應(yīng)用效果。碲鎘汞光導(dǎo)器件作為第一代光子型紅外探測(cè)器，在我國(guó)風(fēng)云氣象衛(wèi)星事業(yè)的發(fā)展壯大中起到了關(guān)鍵作用，尤其是作為全國(guó)產(chǎn)化高性能紅外探測(cè)器，在如今風(fēng)云變幻的國(guó)際環(huán)境中更是為我國(guó)氣象衛(wèi)星事業(yè)的繼續(xù)發(fā)展起到了“定海神針”的作用。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近期，中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所紅外成像材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的科研團(tuán)隊(duì)在《激光與紅外》期刊上發(fā)表了以“碲鎘汞光導(dǎo)器件在風(fēng)云氣象衛(wèi)星中的應(yīng)用”為主題的文章。該文章第一作者為喬輝研究員，通訊作者為李向陽(yáng)研究員。

本文中將結(jié)合目前在軌運(yùn)行的風(fēng)云系列氣象衛(wèi)星，對(duì)其所應(yīng)用的碲鎘汞光導(dǎo)型器件的設(shè)計(jì)、制備工藝選用、測(cè)試篩選以及器件性能等進(jìn)行概述，并對(duì)碲鎘汞光導(dǎo)器件的應(yīng)用前景進(jìn)行展望。

碲鎘汞光導(dǎo)器件的設(shè)計(jì)過(guò)程和制備工藝選用

碲鎘汞光導(dǎo)器件的本質(zhì)是光敏電阻元件。在針對(duì)某一具體型號(hào)應(yīng)用進(jìn)行碲鎘汞光導(dǎo)器件的設(shè)計(jì)時(shí)，首先需要決定碲鎘汞材料的組分X。為了提高帶內(nèi)紅外輻射能量的利用率，通常將芯片的響應(yīng)峰值定到工作波段的后端，然后根據(jù)器件的截止波長(zhǎng)與峰值波長(zhǎng)的經(jīng)驗(yàn)關(guān)系來(lái)確定器件的截止波長(zhǎng)，再結(jié)合其工作溫度來(lái)確定所選用碲鎘汞材料的組分X值。在風(fēng)云氣象衛(wèi)星的應(yīng)用中，依據(jù)有效載荷類型的不同，碲鎘汞光導(dǎo)器件有窄帶和寬帶兩種波段應(yīng)用選擇，掃描輻射計(jì)類型光譜成像儀器采用窄帶濾光片進(jìn)行分光（具體帶寬見表），最終器件的響應(yīng)光譜形狀完全由窄帶濾光片決定；大氣垂直探測(cè)類型儀器采用傅里葉變換進(jìn)行干涉式分光，然后采用反射/透射模式分色片將中波和長(zhǎng)波紅外輻射分離后入射到相應(yīng)的探測(cè)器上，風(fēng)云三號(hào)大氣高光譜探測(cè)儀長(zhǎng)波探測(cè)器的響應(yīng)光譜由碲鎘汞光導(dǎo)器件確定，而風(fēng)云四號(hào)大氣垂直探測(cè)儀長(zhǎng)波探測(cè)器中又附加了一前截止濾光片來(lái)對(duì)前截止波長(zhǎng)進(jìn)行了限制。

確定了碲鎘汞材料的鎘組分X之后，需要針對(duì)該組分的材料進(jìn)行電學(xué)參數(shù)優(yōu)選，碲鎘汞光導(dǎo)器件采用N型材料進(jìn)行制備，需要關(guān)注的電學(xué)參數(shù)包括材料的電阻率、霍爾載流子濃度和霍爾遷移率。對(duì)于組分X小于0.225的長(zhǎng)波碲鎘汞材料，選擇標(biāo)準(zhǔn)通常為77 K下電子濃度小于5×101? cm?3，霍爾遷移率大于1×10? cm2V?1s?1，電阻率大于0.1 Ω·cm。

確定好碲鎘汞材料的選片規(guī)范后，需要針對(duì)項(xiàng)目任務(wù)書要求進(jìn)行碲鎘汞光導(dǎo)器件的光刻版圖設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)，光刻版圖設(shè)計(jì)涉及對(duì)像元尺寸進(jìn)行定義和不同光刻工藝中間的圖形套準(zhǔn)；工藝設(shè)計(jì)涉及不同制備工藝之間的銜接和兼容以及每一步工藝參數(shù)的確定。這里有幾步工藝需要進(jìn)行特別關(guān)注：（1）材料的拋光工藝，該工藝直接決定了像元的一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)—厚度，與碲鎘汞器件的阻值有關(guān)，需要根據(jù)不同的阻值要求進(jìn)行厚度的確定；（2）刻蝕工藝，刻蝕工藝直接決定了像元尺寸，需要滿足任務(wù)書中對(duì)于像元尺寸的要求；（3）增透工藝，碲鎘汞光導(dǎo)器件的對(duì)于不同波長(zhǎng)紅外輻射的響應(yīng)不同，反映了碲鎘汞材料與紅外輻射之間的反射、透射和吸收等物理過(guò)程，需要根據(jù)需要對(duì)特定波段處的紅外輻射進(jìn)行增透；（4）電極工藝，碲鎘汞器件的偏置電流施加和電學(xué)信號(hào)引出都是通過(guò)電極引線來(lái)進(jìn)行，常見的電極引線工藝包括銦焊、楔焊和球焊等。不同的工藝對(duì)版圖設(shè)計(jì)有不同的要求，也會(huì)對(duì)碲鎘汞材料產(chǎn)生不同的影響，需要綜合考慮來(lái)確定最后的引線工藝。

風(fēng)云衛(wèi)星應(yīng)用中碲鎘汞光導(dǎo)器件的封裝主要包括金屬管殼封裝和金屬杜瓦封裝，涉及光學(xué)、機(jī)械、熱學(xué)、電學(xué)等多學(xué)科內(nèi)容的考慮，在此不再贅述。

碲鎘汞光導(dǎo)器件的測(cè)試篩選

碲鎘汞光導(dǎo)器件的性能測(cè)試主要包括三部分內(nèi)容，一是器件的阻值，二是器件的響應(yīng)光譜，三是器件的黑體性能，主要包括響應(yīng)率、噪聲和探測(cè)率。在器件的篩選過(guò)程中以及封裝后的組件測(cè)試中需要進(jìn)行以上內(nèi)容的測(cè)試，以對(duì)器件性能進(jìn)行評(píng)價(jià)。

在進(jìn)行黑體性能測(cè)試時(shí)，將杜瓦溫度控制在特定值，先用經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的萬(wàn)用表測(cè)試各光敏元的電阻值，然后設(shè)定好黑體測(cè)試條件，對(duì)各光敏元的輸出信號(hào)和噪聲進(jìn)行測(cè)試，由計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。

器件響應(yīng)光譜測(cè)試采用傅立葉變換光譜儀。干涉光源從傅立葉光譜儀引出后入射到探測(cè)器光敏元上，直接得到探測(cè)器的相對(duì)響應(yīng)信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)傅立葉變換后得到器件的相對(duì)響應(yīng)光譜。

FY-2H衛(wèi)星中的碲鎘汞光導(dǎo)器件

風(fēng)云二號(hào)氣象衛(wèi)星屬于第一代地球同步軌道衛(wèi)星，采用自旋穩(wěn)定方案，主要技術(shù)方面對(duì)標(biāo)美國(guó)的第二代地球同步衛(wèi)星（GOES-4～GOES-7）。風(fēng)云二號(hào)衛(wèi)星從1997年至2018年共發(fā)射八顆（FY-2A/B/C/D/E/F/G/H），目前在軌業(yè)務(wù)運(yùn)行三顆（FY-2F/G/H）。風(fēng)云二號(hào)衛(wèi)星中的主要載荷為多通道掃描輻射計(jì)（A/B試驗(yàn)星為三通道，其余為五通道）。在地球同步軌道的掃描輻射計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)主光軸垂直于衛(wèi)星自旋軸，與地球赤道平面平行，星下點(diǎn)指向赤道，利用衛(wèi)星自旋和望遠(yuǎn)鏡步進(jìn)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)地球的二維掃描以獲得地球云圖。

FY-2H多通道掃描輻射計(jì)包括一個(gè)可見光通道和四個(gè)紅外通道，四個(gè)紅外通道均采用碲鎘汞光導(dǎo)器件，器件波段和規(guī)格如表1所示。

表1 FY-2H掃描輻射計(jì)各紅外波段說(shuō)明

芯片圖形

FY-2H衛(wèi)星中掃描輻射計(jì)每一個(gè)紅外波段采用雙元探測(cè)器，其中一元為備份，載荷中共有八元碲鎘汞光導(dǎo)器件。每個(gè)通道所用的雙元碲鎘汞器件圖形如圖1所示。芯片設(shè)計(jì)和制備中采用了疊層工藝來(lái)提高器件的響應(yīng)率。

圖1 FY-2H掃描輻射計(jì)雙元碲鎘汞光導(dǎo)器件

芯片性能

采用第3部分中給出的測(cè)試方法對(duì)器件的性能進(jìn)行測(cè)試。表2給出目前在軌運(yùn)行的FY-2H衛(wèi)星中搭載的四個(gè)波段碲鎘汞光導(dǎo)器件的交付測(cè)試性能，測(cè)試溫度為98 K。

表2 FY-2H掃描輻射計(jì)八元碲鎘汞光導(dǎo)器件性能

響應(yīng)光譜

衛(wèi)星紅外遙感應(yīng)用中需要通過(guò)使用紅外探測(cè)器得到的信號(hào)進(jìn)行反演計(jì)算得到大氣的溫度、濕度以及地球表面溫度等信息。這些信息獲取的精度與紅外探測(cè)器的響應(yīng)光譜密切相關(guān)，光譜定量化是紅外遙感發(fā)展的重要方向，針對(duì)風(fēng)云衛(wèi)星的應(yīng)用，表現(xiàn)在對(duì)每個(gè)波段紅外探測(cè)器的響應(yīng)光譜形狀都提出了所謂的“套框”要求，即要求探測(cè)器的響應(yīng)光譜需要落在要求的內(nèi)外框之間。圖2、圖3、圖4給出了FY-2H星中所搭載的紅外探測(cè)器的響應(yīng)光譜，同時(shí)給出了內(nèi)外套框要求以進(jìn)行光譜定量化反演，可以看出，所有的探測(cè)器響應(yīng)光譜都滿足光譜定量化要求。

圖2 3.5～4.0 μm波段雙元探測(cè)器的響應(yīng)光譜圖形

圖3 6.3～7.6 μm波段雙元探測(cè)器的響應(yīng)光譜圖形

圖4 10.3～11.3 μm波段雙元探測(cè)器的響應(yīng)光譜圖形

圖5 11.5～12.5 μm波段雙元探測(cè)器的響應(yīng)光譜圖形

FY-3E衛(wèi)星中的碲鎘汞光導(dǎo)器件

風(fēng)云三號(hào)氣象衛(wèi)星屬于我國(guó)繼風(fēng)云一號(hào)之后的第二代極軌氣象衛(wèi)星，由于其軌道面與太陽(yáng)夾角保持不變，又稱為太陽(yáng)同步軌道衛(wèi)星，目前在軌業(yè)務(wù)運(yùn)行的有FY-3C/D/E三顆衛(wèi)星，其中FY-3C為上午星，F(xiàn)Y-3D為下午星，F(xiàn)Y-3E為晨昏星，也是全球首顆民用黎明軌道業(yè)務(wù)氣象衛(wèi)星。三顆衛(wèi)星的組網(wǎng)運(yùn)行使我國(guó)成為唯一同時(shí)擁有上午、下午和黎明三個(gè)軌道極軌氣象衛(wèi)星組網(wǎng)觀測(cè)能力的國(guó)家。與風(fēng)云一號(hào)不同的是，F(xiàn)Y-3E衛(wèi)星上除了搭載中分辨率光譜成像儀（MERSI，對(duì)標(biāo)美國(guó)的MODIS載荷），還搭載了高光譜大氣探測(cè)儀（HIRAS），這兩個(gè)載荷都采用了碲鎘汞器件，其中碲鎘汞光導(dǎo)器件相關(guān)的波段和器件規(guī)格如表3所示。

表3 FY-3E衛(wèi)星上搭載的碲鎘汞光導(dǎo)器件說(shuō)明

芯片圖形

FY-3E星中分辨率光譜成像儀中6.95～7.45 μm和8.4～8.7 μm兩個(gè)波段的碲鎘汞光導(dǎo)芯片采用了同樣的光刻版圖，10.3～11.3 μm和11.5～12.5 μm兩個(gè)波段的光導(dǎo)芯片采用了同樣的光刻版圖。最后制備得到的光導(dǎo)芯片分別如圖6和圖7所示。高光譜大氣探測(cè)儀中長(zhǎng)波通道采用了碲鎘汞光導(dǎo)芯片，具體方案是將9個(gè)單元芯片排列成3×3陣列。單元芯片的圖形如圖8所示。

圖6 中分辨率光譜成像儀中6.95～7.45 μm和8.4～8.7 μm兩個(gè)波段十元碲鎘汞光導(dǎo)芯片圖形

圖7 中分辨率光譜成像儀中10.3～11.3 μm和11.5～12.5 μm兩個(gè)波段四十元碲鎘汞光導(dǎo)芯片圖形

圖8 高光譜大氣探測(cè)儀長(zhǎng)波單元芯片

芯片性能

采用第3部分中的測(cè)試方案對(duì)各波段器件進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試時(shí)7.2 μm波段偏流為1.7 mA，8.55 μm波段偏流為2 mA，10.8 μm波段偏流為4 mA，12 μm波段偏流為5 mA，測(cè)試溫度均為100 K；高光譜大氣探測(cè)儀長(zhǎng)波碲鎘汞器件測(cè)試時(shí)偏流為2.5 mA，測(cè)試溫度為85 K。圖9、圖12和圖15給出各個(gè)波段器件各像元阻值；圖10和圖13給出中分辨率光譜成像儀四個(gè)波段芯片的噪聲性能；圖11、圖14和圖16給出各個(gè)波段器件的探測(cè)率性能。

圖9 中分辨率光譜成像儀中6.95～7.45 μm和8.4～8.7 μm兩個(gè)波段十元碲鎘汞光導(dǎo)芯片阻值

圖10 中分辨率光譜成像儀中6.95～7.45 μm和8.4～8.7 μm兩個(gè)波段十元碲鎘汞光導(dǎo)芯片噪聲

圖11 中分辨率光譜成像儀中6.95～7.45 μm和8.4～8.7 μm兩個(gè)波段十元碲鎘汞光導(dǎo)芯片探測(cè)率

圖12 中分辨率光譜成像儀中10.3～11.3 μm和11.5～12.5 μm兩個(gè)波段四十元碲鎘汞光導(dǎo)芯片阻值

圖13 中分辨率光譜成像儀中10.3～11.3 μm和11.5～12.5 μm兩個(gè)波段四十元碲鎘汞光導(dǎo)芯片噪聲

圖14 中分辨率光譜成像儀中10.3～11.3 μm和11.5～12.5 μm兩個(gè)波段四十元碲鎘汞光導(dǎo)芯片探測(cè)率

圖15 高光譜大氣探測(cè)儀九元長(zhǎng)波碲鎘汞光導(dǎo)芯片阻值

圖16 高光譜大氣探測(cè)儀九元長(zhǎng)波碲鎘汞光導(dǎo)芯片探測(cè)率

響應(yīng)光譜

FY-3E星中中分辨率光譜成像儀各個(gè)波段的碲鎘汞探測(cè)器光譜同樣有套框要求，圖7～圖20僅僅給出各個(gè)波段的探測(cè)器響應(yīng)光譜，各波段芯片測(cè)試溫度為100 K。高光譜大氣探測(cè)儀器件為寬波段響應(yīng)光譜，僅有一前截止濾光片，測(cè)試溫度為85 K。

圖17 FY-3E衛(wèi)星中分辨率光譜成像儀用6.95～7.45 μm波段碲鎘汞光導(dǎo)芯片響應(yīng)光譜

圖18 FY-3E衛(wèi)星中分辨率光譜成像儀用8.4～8.7 μm波段芯片響應(yīng)光譜

圖19 FY-3E衛(wèi)星中分辨率光譜成像儀用10.3～11.3 μm波段芯片響應(yīng)光譜

圖20 FY-3E衛(wèi)星中分辨率光譜成像儀用11.5～12.5 μm波段芯片響應(yīng)光譜

圖21 FY-3E衛(wèi)星高光譜大氣探測(cè)儀用長(zhǎng)波碲鎘汞芯片響應(yīng)光譜

FY-4B衛(wèi)星中的碲鎘汞光導(dǎo)器件

風(fēng)云四號(hào)衛(wèi)星是我國(guó)第二代地球靜止軌道（GEO）定量遙感氣象衛(wèi)星，采用三軸穩(wěn)定控制方案，將接替自旋穩(wěn)定的風(fēng)云二號(hào)衛(wèi)星。多通道掃描成像輻射計(jì)（AGRI）和大氣垂直探測(cè)儀（GIIRS）是風(fēng)云四號(hào)衛(wèi)星的兩個(gè)重要載荷。其中多通道掃描輻射成像計(jì)通道由FY-2H星的5個(gè)增加為14個(gè)，主要技術(shù)對(duì)標(biāo)美國(guó)和歐洲的第三代地球同步氣象衛(wèi)星（GOES-R和MTG-I）。大氣垂直探測(cè)儀使風(fēng)云四號(hào)衛(wèi)星在國(guó)際上首次實(shí)現(xiàn)地球靜止軌道的傅里葉干涉式大氣高光譜垂直探測(cè)，并與成像輻射計(jì)共平臺(tái)，可聯(lián)合進(jìn)行大氣多通道成像觀測(cè)和高光譜垂直探測(cè)。多通道掃描輻射成像計(jì)和大氣垂直探測(cè)儀兩個(gè)載荷都采用了大量碲鎘汞器件，其中與碲鎘汞光導(dǎo)器件相關(guān)的波段和器件規(guī)格如表4所示。

表4 FY-4B衛(wèi)星碲鎘汞光導(dǎo)探測(cè)器相關(guān)波段說(shuō)明

芯片圖形

根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的要求，紅外通道將分為三個(gè)組件，即2.1～2.35 μm，3.5～4.0 μm兩個(gè)波段為IRI中短波雙通道組件；5.8～6.7 μm、6.75～7.15 μm、7.24～7.6 μm三個(gè)波段為IR2水汽三通道組件；8.3～8.8 μm、10.3～11.3 μm、11.5～12.5 μm和13.0～13.6 μm四個(gè)波段為IR3長(zhǎng)波四通道組件。其中IRI組件內(nèi)的芯片為一字型像元結(jié)構(gòu)排列的8元光伏（PV）型探測(cè)器（本文不進(jìn)行講述）；IR2和IR3組件內(nèi)的芯片為一字型排列的4元光導(dǎo)（PC）探測(cè)器，如圖22所示。前面已經(jīng)提到，風(fēng)云四號(hào)衛(wèi)星上搭載的大氣垂直探測(cè)儀是世界上首個(gè)在地球同步軌道上運(yùn)行的傅里葉干涉式大氣高光譜垂直探測(cè)載荷，其上搭載的甚長(zhǎng)波碲鎘汞光導(dǎo)陣列更是世界上首個(gè)在地球同步軌道上使用的同類型探測(cè)器，項(xiàng)目研制過(guò)程中我們獨(dú)創(chuàng)的寶石穿孔工藝（TSV）也使該器件成為迄今為止報(bào)道過(guò)的陣列規(guī)模最大的碲鎘汞光導(dǎo)器件，其芯片照片如圖23所示。

圖22 FY-4B衛(wèi)星多通道掃描輻射成像計(jì)用碲鎘汞光導(dǎo)芯片圖形

圖23 FY-4B衛(wèi)星大氣垂直探測(cè)儀用碲鎘汞光導(dǎo)陣列芯片圖形

芯片性能

采用第３部分中的測(cè)試方案對(duì)FY-4B各波段碲鎘汞光導(dǎo)器件進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試時(shí)三個(gè)水汽波段器件偏流為3 mA，8.55 μm波段偏流為2 mA，四個(gè)長(zhǎng)波波段器件偏流為4 mA，測(cè)試溫度均為88 K。大氣垂直探測(cè)儀甚長(zhǎng)波碲鎘汞器件測(cè)試時(shí)偏流為4 mA，測(cè)試溫度為65 K。圖24給出多通道掃描輻射成像計(jì)各個(gè)波段器件的探測(cè)率分布范圍及指標(biāo)要求，圖25給出各個(gè)波段芯片的電阻阻值范圍；圖26給出大氣垂直探測(cè)儀甚長(zhǎng)波器件各個(gè)像元的探測(cè)率性能。

圖24 FY-4B多通道掃描輻射成像計(jì)碲鎘汞光導(dǎo)器件的探測(cè)率范圍及指標(biāo)

圖25 FY-4B多通道掃描輻射成像計(jì)各個(gè)波段器件的阻值范圍及指標(biāo)

圖26 FY-4B大氣垂直探測(cè)儀用甚長(zhǎng)波碲鎘汞光導(dǎo)器件的探測(cè)率分布

響應(yīng)光譜

FY-4B星中多通道掃描輻射成像計(jì)各個(gè)波段的的碲鎘汞探測(cè)器光譜同樣有套框要求，圖27、28給出各個(gè)波段的探測(cè)器響應(yīng)光譜，各波段芯片測(cè)試溫度為88 K，從圖中可以看出各通道的響應(yīng)光譜均在定量化的內(nèi)外框內(nèi)。大氣垂直探測(cè)儀所用的甚長(zhǎng)波碲鎘汞光導(dǎo)器件為寬波段響應(yīng)光譜（圖29），與FY-3E衛(wèi)星中的大氣高光譜探測(cè)儀類似，該探測(cè)器也采用了前截止濾光片對(duì)前截止波長(zhǎng)進(jìn)行了限定。

圖27 FY-4B衛(wèi)星多通道掃描輻射成像計(jì)中三個(gè)水汽波段響應(yīng)光譜

圖28 FY-4B衛(wèi)星多通道掃描輻射成像計(jì)中四個(gè)長(zhǎng)波紅外波段響應(yīng)光譜

圖29 FY-4B大氣垂直探測(cè)儀用甚長(zhǎng)波碲鎘汞光導(dǎo)器件的響應(yīng)光譜

碲鎘汞光導(dǎo)器件的應(yīng)用前景

由于碲鎘汞光導(dǎo)器件的固有缺點(diǎn)，包括阻值太小導(dǎo)致無(wú)法與大規(guī)模信號(hào)讀出電路進(jìn)行耦合，響應(yīng)非線性現(xiàn)象比光伏器件更明顯，使其逐漸退出衛(wèi)星紅外遙感的主流應(yīng)用，但在部分紅外探測(cè)領(lǐng)域仍起到關(guān)鍵的作用，其中一個(gè)重要方向是基于傅里葉紅外變換（FTIR）的定量化紅外光譜探測(cè)，尤其是波長(zhǎng)大于16 μm的甚長(zhǎng)波紅外波段，碲鎘汞甚長(zhǎng)波光導(dǎo)探測(cè)器由于具有性能高、波段寬、響應(yīng)速度快以及制備工藝簡(jiǎn)單、成品率高等突出優(yōu)點(diǎn)，成為FTIR儀器設(shè)備的關(guān)鍵核心器件。根據(jù)目前市場(chǎng)上主要FTIR儀器供應(yīng)商在16 μm波段所采用探測(cè)器的調(diào)研情況，碲鎘汞甚長(zhǎng)波光導(dǎo)器件在FTIR領(lǐng)域仍將有著重要的應(yīng)用前景。

總結(jié)

本文中對(duì)碲鎘汞光導(dǎo)器件在我國(guó)風(fēng)云氣象衛(wèi)星中的應(yīng)用進(jìn)行了概括和總結(jié)，并給出了目前在軌運(yùn)行的最新的FY-2H、FY-3E和FY-4B三顆氣象衛(wèi)星中所搭載的碲鎘汞光導(dǎo)探測(cè)器的性能。作為在風(fēng)云衛(wèi)星中使用的第一代碲鎘汞器件，其性能達(dá)到了國(guó)際上同一代探測(cè)器的性能水平，為我國(guó)風(fēng)云衛(wèi)星載荷達(dá)到國(guó)際上對(duì)標(biāo)的航天器性能水平立下了汗馬功勞。由于碲鎘汞甚長(zhǎng)波光導(dǎo)器件探測(cè)性能高以及制備工藝成熟，在甚長(zhǎng)波紅外FTIR光譜探測(cè)領(lǐng)域仍將有重要的應(yīng)用。

審核編輯：劉清