潘衛(wèi)民
中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所
《現(xiàn)代物理知識(shí)》
什么是射頻超導(dǎo)(也稱為超導(dǎo)高頻)技術(shù)?大家知道,加速器無(wú)論大小,都有一個(gè)高頻加速系統(tǒng),是用來(lái)給高速的帶電粒子提供動(dòng)能使其加速或維持其能量的,相當(dāng)于汽車的發(fā)動(dòng)機(jī),這是加速器的核心系統(tǒng)。這個(gè)系統(tǒng)中的核心設(shè)備是高頻加速腔,可采用常溫結(jié)構(gòu),也可采用超導(dǎo)結(jié)構(gòu),超導(dǎo)結(jié)構(gòu)的腔具有連續(xù)波工作時(shí)加速梯度較高、束流孔徑較大因而束流性能較好、運(yùn)行穩(wěn)定以及對(duì)高頻功率要求較低等優(yōu)點(diǎn)。采用超導(dǎo)腔就涉及到射頻超導(dǎo)技術(shù)(或超導(dǎo)高頻技術(shù))。高能物理研究所的射頻超導(dǎo)技術(shù)發(fā)展歷史并不長(zhǎng),只有二十多年。我們幾乎從零開(kāi)始,看了一些有限的國(guó)外資料,便開(kāi)始了射頻超導(dǎo)腔的設(shè)計(jì)和研究。當(dāng)然,那時(shí)還是一張白紙、知之甚少、如履薄冰。二十多年過(guò)去了,隨著國(guó)家基礎(chǔ)研究的大力投入,特別是基于加速器的國(guó)家大科學(xué)裝置陸續(xù)建設(shè),射頻超導(dǎo)技術(shù)得到了迅速發(fā)展。高能物理研究所的射頻超導(dǎo)技術(shù)的發(fā)展經(jīng)歷了多次的峰回路轉(zhuǎn)、潮起潮落,一直在波浪前進(jìn),隨著國(guó)家經(jīng)濟(jì)社會(huì)的發(fā)展而高潮迭起。展望未來(lái),其前景廣闊而光明,但技術(shù)的發(fā)展和廣泛應(yīng)用遠(yuǎn)沒(méi)有達(dá)到頂峰,創(chuàng)新也永無(wú)止境,前浪后擁、鏖戰(zhàn)猶酣。
一、起步
高能所在加速器里采用超導(dǎo)高頻腔的想法起始于1995 年,在當(dāng)時(shí)所領(lǐng)導(dǎo)的帶領(lǐng)下,開(kāi)始了陶-粲粒子工廠的可行性研究。其中,加速器在采用超導(dǎo)高頻腔或是常溫高頻腔的問(wèn)題上展開(kāi)了論證。高頻腔的頻率物理上已確定為500 MHz,在國(guó)際上這個(gè)頻率的腔是主力腔型,這個(gè)頻率的高頻功率發(fā)射機(jī)也是商業(yè)產(chǎn)品。但當(dāng)時(shí)我們沒(méi)有接觸過(guò)任何超導(dǎo)高頻,可以說(shuō)一無(wú)所知,只是在國(guó)外的文章上看到一些介紹,略微了解皮毛而已,而使用超導(dǎo)高頻腔是國(guó)際上正在建設(shè)和正在規(guī)劃的大型加速器的首選,超導(dǎo)加速器的采用是未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)。在這種情況下,我們開(kāi)始了加速器高頻系統(tǒng)的論證,重點(diǎn)論證超導(dǎo)方案,不但論證超導(dǎo)腔本身,還有腔的高功率輸入耦合器及高次模耦合器的方案。經(jīng)過(guò)兩年的調(diào)研和方案討論,對(duì)超導(dǎo)高頻腔的國(guó)際發(fā)展動(dòng)態(tài)、研發(fā)的難點(diǎn)和挑戰(zhàn)、穩(wěn)定運(yùn)行以及運(yùn)行費(fèi)用和維護(hù)等問(wèn)題做了深入的調(diào)研,以便項(xiàng)目立項(xiàng)和實(shí)施后可開(kāi)展對(duì)撞機(jī)超導(dǎo)高頻腔的預(yù)研工作。
這項(xiàng)論證性研究工作約歷時(shí)兩年,后因陶-粲粒子工廠項(xiàng)目的研究終止,超導(dǎo)高頻腔的前期研究也隨之告一段落。后來(lái)便開(kāi)始北京正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)重大改造工程的可行性研究。
這里值得一提的是,在上個(gè)世紀(jì)末和本世紀(jì)初,我們就開(kāi)始了1.5 GHz單cell 超導(dǎo)腔的研發(fā),還投入了一批人力物力與北京大學(xué)聯(lián)合成立了射頻超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室,我們研發(fā)出了1.5 GHz的超導(dǎo)腔,為高能所后續(xù)超導(dǎo)腔的快速發(fā)展打下了一定的基礎(chǔ)。
二、跟跑
2000 年起隨著北京正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)重大改造工程(BEPCII)前期工作的開(kāi)始,我們也開(kāi)始了其中的高頻加速系統(tǒng)的論證。高頻系統(tǒng)無(wú)論是對(duì)于過(guò)去的北京正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)(BEPC)還是即將開(kāi)始建設(shè)的BEPCII,都是至關(guān)重要的系統(tǒng)。其重要性自不必說(shuō),從以往的經(jīng)歷來(lái)看,需要克服的困難和出現(xiàn)的問(wèn)題也比較多,因此從工程領(lǐng)導(dǎo)到研究人員都對(duì)其格外重視。當(dāng)時(shí)圍繞著是用超導(dǎo)高頻腔還是用常溫高頻腔的選擇問(wèn)題展開(kāi)論證研究。當(dāng)時(shí)的狀況是,超導(dǎo)腔是流行趨勢(shì),也是國(guó)際前沿技術(shù),我們沒(méi)有真正做過(guò),更沒(méi)有用過(guò)。專家們也在不斷提問(wèn):超導(dǎo)腔和常溫腔比較哪個(gè)更省功率?技術(shù)挑戰(zhàn)有哪些?你們能不能運(yùn)行好?等等。我們花了很多時(shí)間來(lái)做調(diào)研和超導(dǎo)高頻系統(tǒng)的預(yù)研工作,特別是超導(dǎo)高頻腔的系統(tǒng)工程設(shè)計(jì),深感責(zé)任重大、如履薄冰。最后,根據(jù)考慮論證結(jié)果,BEPCII 工程經(jīng)理部決定選擇超導(dǎo)高頻系統(tǒng),采用兩個(gè)超導(dǎo)高頻腔(如果采用常溫腔則需要六個(gè)腔)加速的方案,頻率為500 MHz,這也是國(guó)際上用得比較多的工作頻率。當(dāng)時(shí)高能所和日本高能加速器研究機(jī)構(gòu)(KEK)簽署了合作框架協(xié)議,日本幫助我們研發(fā)500 MHz超導(dǎo)腔,腔的研制交給日本三菱重工,我們不斷地派人去日本KEK學(xué)習(xí),重點(diǎn)是學(xué)習(xí)他們的508 MHz超導(dǎo)腔的設(shè)計(jì)和運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)。研制期間,我們經(jīng)常去日本三菱重工檢查和學(xué)習(xí)制造過(guò)程及調(diào)試方法。經(jīng)過(guò)兩年多的跟蹤學(xué)習(xí)和實(shí)踐,我們也基本掌握了超導(dǎo)腔的選材、加工、調(diào)諧、后處理和測(cè)試的過(guò)程及關(guān)鍵環(huán)節(jié)。2006年,BEPCII的兩套500 MHz超導(dǎo)腔系統(tǒng)完成了系統(tǒng)集成,并在高能所做了測(cè)試,結(jié)果滿足BEPCII 的要求。這是高能所第一次真正意義上合作研發(fā)出的用于實(shí)際工程的超導(dǎo)高頻腔,也是中國(guó)的第一套用于實(shí)際工程的超導(dǎo)腔系統(tǒng)。下面是中日合作的兩套高頻腔系統(tǒng)研發(fā)歷程:
? 2002年:完成了調(diào)研、技術(shù)設(shè)計(jì)和工程設(shè)計(jì);
? 2003年:完成了超導(dǎo)腔的招標(biāo);
? 2005年:完成了超導(dǎo)腔的垂直測(cè)試;
? 2006 年:完成了超導(dǎo)腔的整體組裝和水平測(cè)試——這是國(guó)內(nèi)首次;10 月首次投入BEPCII 運(yùn)行——國(guó)內(nèi)首次使用!
投入BEPCII 工程后,經(jīng)過(guò)半年左右的束流調(diào)試,終于達(dá)到了BEPCII 運(yùn)行要求。2009 年5 月,在1.89 GeV 能量下對(duì)撞亮度通過(guò)了國(guó)家驗(yàn)收。雖然這是和日本合作研發(fā)的超導(dǎo)腔,嚴(yán)格意義上說(shuō),更多的是日本幫助下完成的腔,但畢竟是中國(guó)第一個(gè)投入大科學(xué)裝置運(yùn)行的超導(dǎo)腔,有著重要的意義。
從世界上超導(dǎo)腔的運(yùn)行經(jīng)驗(yàn),特別是與BEPCII同類型的日本KEK 的B 介子工廠(KEKB)超導(dǎo)腔的運(yùn)行歷程看,超導(dǎo)高頻腔的故障帶有一定的突發(fā)性,發(fā)生幾率比較高,需要備用腔。因此,在BEPCII轉(zhuǎn)入運(yùn)行階段后,我們便開(kāi)始了500 MHz超導(dǎo)腔的自主研制。如前所述,超導(dǎo)高頻技術(shù)是加速器前沿技術(shù),掌握核心部件制造工藝和總體集成技術(shù)可突破國(guó)外壟斷,這也是我國(guó)獨(dú)立自主、掌握核心技術(shù)的必由之路。500 MHz 射頻超導(dǎo)腔系統(tǒng)包括:500 MHz 超導(dǎo)腔腔體、高功率輸入耦合器、高次模吸收器、恒溫器等關(guān)鍵部件。
圖 500 MHz超導(dǎo)高頻腔系統(tǒng)示意圖
經(jīng)過(guò)團(tuán)隊(duì)幾年的刻苦鉆研、拼搏奮進(jìn),終于自主完成了高頻腔系統(tǒng)的物理和工程設(shè)計(jì),攻克了許多關(guān)鍵技術(shù)難關(guān),如:旋壓成型、電子束焊接、化學(xué)拋光、高壓水噴淋、垂直測(cè)試等。取得了一系列突破性進(jìn)展:
1.完成了兩只500 MHz鈮腔旋壓成型、整腔焊接、表面處理、垂直測(cè)試、水平測(cè)試;
2. 自主研制的高功率輸入耦合器通過(guò)了420kW連續(xù)波高頻功率,達(dá)到了世界先進(jìn)水平;
3. 研制的高階模吸收器承載的高頻功率達(dá)到了4.4 kW,吸收效率超過(guò)60%,達(dá)到同類設(shè)備的世界水平;
4. 恒溫器完成研制。
2017 年10 月,500 MHz 國(guó)產(chǎn)超導(dǎo)腔正式投入BEPCII 運(yùn)行,在很短的時(shí)間內(nèi)便達(dá)到了束流要求,性能優(yōu)異。近五年過(guò)去了,故障率很低,運(yùn)行狀態(tài)良好。每套超導(dǎo)腔系統(tǒng)均可在1.5 MV電壓下900 mA束流運(yùn)行,高頻功率超過(guò)130 kW。“達(dá)到了國(guó)外同類設(shè)備的性能水平,這是國(guó)產(chǎn)超導(dǎo)腔首次代替進(jìn)口超導(dǎo)腔在大科學(xué)裝置上實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,標(biāo)志著我國(guó)500 MHz超導(dǎo)腔系統(tǒng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了突破,躋身于世界少數(shù)幾個(gè)能夠成功研制500 MHz超導(dǎo)腔系統(tǒng)的國(guó)家之列”——專家鑒定會(huì)結(jié)論。
三、創(chuàng)新
我國(guó)核電發(fā)展要解決燃料穩(wěn)定供應(yīng)和廢料安全處置兩大難題,后者也是尚未解決的國(guó)際難題。而加速器驅(qū)動(dòng)次臨界嬗變系統(tǒng)(ADS)被認(rèn)為是理想的長(zhǎng)壽命放射性廢物焚燒爐。ADS由加速器、散裂靶和反應(yīng)堆組成,其原理是利用加速器產(chǎn)生的高能離子轟擊散裂靶產(chǎn)生高通量、硬能譜中子驅(qū)動(dòng)次臨界堆芯運(yùn)行達(dá)到嬗變長(zhǎng)壽命核素的目的。
2011 年初,高能物理研究所和近代物理研究所共同擔(dān)負(fù)起中科院先導(dǎo)專項(xiàng)——ADS加速器的任務(wù),對(duì)于加速器來(lái)說(shuō),最大的難題是低能段連續(xù)波加速器。當(dāng)時(shí),有兩條技術(shù)路線可選擇:輪輻超導(dǎo)腔(spoke)加速器和半波長(zhǎng)超導(dǎo)腔(HWR)加速器。當(dāng)時(shí),國(guó)際上對(duì)HWR超導(dǎo)腔研究得比較多,有研發(fā)出來(lái)的腔。也有的國(guó)家研發(fā)過(guò)(β值比較高)spoke超導(dǎo)腔,相對(duì)來(lái)說(shuō),β值低的spoke 腔的技術(shù)難度較高,但前端由于能量不夠,必須采用β值很低的腔。一些國(guó)家后來(lái)因難度高改變了技術(shù)路線,但spoke腔的腔型和加速效率有比較大的優(yōu)勢(shì)。對(duì)于我們來(lái)說(shuō),這兩條技術(shù)路線都沒(méi)有基礎(chǔ),都有不同程度的技術(shù)風(fēng)險(xiǎn),而且先導(dǎo)專項(xiàng)的完成具有時(shí)間節(jié)點(diǎn)。最后,高能所承擔(dān)了spoke 腔的技術(shù)路線驗(yàn)證工作,近代物理所承擔(dān)了HWR的技術(shù)路線驗(yàn)證工作。當(dāng)時(shí)的起步是非常艱難的,spoke 腔的設(shè)計(jì)和研發(fā)難度很大。前面提到,它的β值必須很小(β=0.12),是國(guó)際上最小的,這意味著腔的縱向長(zhǎng)度很短,這會(huì)帶來(lái)腔的不穩(wěn)定等諸多問(wèn)題。當(dāng)時(shí),國(guó)際上已有的技術(shù)對(duì)我們是封鎖的。我們專項(xiàng)團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)近七年努力,成功研發(fā)了具有國(guó)際創(chuàng)新性的首個(gè)由14 個(gè)極低β值輪輻型射頻超導(dǎo)腔系統(tǒng)集成的毫安級(jí)連續(xù)波超導(dǎo)質(zhì)子直線加速器,成功實(shí)現(xiàn)了10 mA/10 MeV 的設(shè)計(jì)目標(biāo),掌握了系統(tǒng)設(shè)計(jì)理論和多系統(tǒng)集成及調(diào)試方法,成功驗(yàn)證了ADS輪輻型超導(dǎo)加速器的技術(shù)路線,在多項(xiàng)核心技術(shù)方面實(shí)現(xiàn)了國(guó)際性突破,是我國(guó)質(zhì)子超導(dǎo)加速器的一個(gè)重要里程碑。研發(fā)出的指標(biāo)領(lǐng)先的極低β值spoke 腔造價(jià)是國(guó)際報(bào)價(jià)的二十分之一。這一成果在國(guó)際上產(chǎn)生了重要影響,關(guān)鍵技術(shù)應(yīng)用于眾多項(xiàng)目上。
正在建設(shè)中的高能同步輻射光源是我國(guó)的第一個(gè)高能光源,也是目前世界最亮的光源,這對(duì)光源的高頻系統(tǒng)也提出了很高的要求。光源的高頻系統(tǒng)采用的是166.6 MHz 和500 MHz 的超導(dǎo)高頻腔。特別是166.6 MHz的超導(dǎo)腔,原本是只用于加速質(zhì)子,在光源里創(chuàng)新性地用于加速電子,做了許多改進(jìn),目前已研制成功。目前,首支166.6 MHz超導(dǎo)腔垂測(cè)達(dá)標(biāo);首批166.6 MHz 超導(dǎo)腔高功率耦合器也完成加工制造并測(cè)試達(dá)標(biāo)。
四、超越
1.3 GHz 9-cell 超導(dǎo)腔是國(guó)際上使用最多的超導(dǎo)腔,廣泛應(yīng)用于國(guó)際直線對(duì)撞機(jī)(ILC)、環(huán)形正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)(CEPC)、歐洲X射線自由電子激光(EXFEL)、美國(guó)直線加速器相干光源(LCLS-II)、上海硬X射線自由電子激光(SHINE)等加速器上。高性能(高品質(zhì)因數(shù)、高梯度)1.3 GHz 超導(dǎo)腔是國(guó)際前沿攻關(guān)課題,是國(guó)際上幾個(gè)大型實(shí)驗(yàn)室競(jìng)相發(fā)展的技術(shù)。
2010 年,高能所研制出了第一支1.3 GHz 9-cell超導(dǎo)腔,這是非常重要的一步,但由于當(dāng)時(shí)條件比較簡(jiǎn)陋,加速梯度剛剛達(dá)到20 MV/m,距離ILC 的加速梯度目標(biāo)(31.5 MV/m)還有一定差距。此后,研究人員在先進(jìn)光源研發(fā)與測(cè)試平臺(tái)(PAPS)、CEPC預(yù)研項(xiàng)目等經(jīng)費(fèi)的支持下,研制了電拋光(國(guó)內(nèi)首臺(tái)正式投入使用的實(shí)用型超導(dǎo)腔電拋光設(shè)備)、預(yù)調(diào)諧機(jī)、光學(xué)內(nèi)窺鏡等多臺(tái)關(guān)鍵設(shè)備,并新建了超導(dǎo)腔測(cè)試系統(tǒng)、大型潔凈間等基礎(chǔ)設(shè)施,持續(xù)改進(jìn)腔加工和表面處理技術(shù),使得腔加速梯度不斷提高。2020 年,1.3 GHz 9-cell 超導(dǎo)腔經(jīng)過(guò)電拋光處理后,加速梯度達(dá)到了35.9 MV/m,達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平,單cell腔的梯度更是接近了理論極限。
在提高加速梯度的同時(shí),我們也在采用各種技術(shù)手段提高1.3 GHz 9- cell 超導(dǎo)腔的Q0 值。2013年,美國(guó)費(fèi)米實(shí)驗(yàn)室首先提出了采用氮摻雜(nitrogen doping)的方法提高超導(dǎo)腔Q0 值,并應(yīng)用于LCLS-II 的1.3 GHz 9-cell 超導(dǎo)腔上。高能所緊隨其后,也開(kāi)展了氮摻雜技術(shù)的研究,在1.3 GHz 1-cell 超導(dǎo)腔上取得了不錯(cuò)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果:Q0值最高達(dá)到了4.5×1010@16 MV/m。與國(guó)內(nèi)外很多實(shí)驗(yàn)室一樣,經(jīng)過(guò)氮摻雜處理后的1.3 GHz 1-cell 超導(dǎo)腔,Q0雖然提高了,但Eacc下降了很多,而且穩(wěn)定性差、成品率不高。因此,氮摻雜工藝不敢輕易用在1.3GHz 9-cell腔上。
怎么辦?正當(dāng)我們?yōu)槿绾翁岣?.3 GHz 9-cell超導(dǎo)腔的品質(zhì)因數(shù)而感到彷徨時(shí),得知日本的高能加速器研究機(jī)構(gòu)(KEK)的1.3 GHz 1-cell 超導(dǎo)腔經(jīng)過(guò)中溫退火處理后,Q0得到了大幅提升,同時(shí)Eacc下降也不多。于是,我們也立即開(kāi)始摸索著開(kāi)展了1.3 GHz 1-cell 超導(dǎo)腔的中溫退火實(shí)驗(yàn),并取得了成功。在此基礎(chǔ)上,我們快馬加鞭、創(chuàng)新工藝,將中溫退火方法創(chuàng)新性地應(yīng)用于9-cell 超導(dǎo)腔上,取得了巨大的成功,在國(guó)際上首次成功實(shí)現(xiàn)了1.3 GHz 9-cell 超導(dǎo)腔的中溫退火工藝和小批量超導(dǎo)腔的試制,超導(dǎo)腔的品質(zhì)因數(shù)((3.6-4.2)×1010@16 MV/m)達(dá)到了1.3 GHz 9-cell 超導(dǎo)腔的國(guó)際領(lǐng)先水平。這項(xiàng)成果發(fā)表在國(guó)際學(xué)術(shù)期刊《超導(dǎo)科技》上。腔的水平測(cè)試也取得了成功,取得了出色的結(jié)果?;诖?,大連化物所的1.3 GHz 超導(dǎo)腔模組委托了高能所研發(fā)。
此外,環(huán)形正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)(CEPC)的650MHz超導(dǎo)腔采用電拋光處理后,最高加速梯度達(dá)到了41.6 MV/m,而經(jīng)過(guò)中溫退火處理后,在22 MV/m的加速梯度下,品質(zhì)因數(shù)超過(guò)了8×1010,達(dá)到了P 波段(0.23~1 GHz)超導(dǎo)腔的國(guó)際領(lǐng)先水平。
高能所在1.3 GHz和650 MHz超導(dǎo)腔上開(kāi)展的高加速梯度和高品質(zhì)因數(shù)關(guān)鍵技術(shù)研究,為我國(guó)自主建設(shè)CEPC和X射線自由電子激光(XFEL)裝置、參與國(guó)際直線對(duì)撞機(jī)(ILC)和未來(lái)環(huán)形對(duì)撞機(jī)(FCC)等國(guó)際大科學(xué)工程合作奠定了重要基礎(chǔ)。特別是,在國(guó)際上首次創(chuàng)新使用中溫退火工藝于1.3 GHz 9-cell 腔,取得了重大突破,腔的品質(zhì)因數(shù)大幅提升,一躍達(dá)到和超過(guò)了國(guó)際最好水平,“性能均超過(guò)了上海硬X射線自由電子激光裝置(SHINE)、美國(guó)直線相干光源二期能量升級(jí)項(xiàng)目(LCLS-II-HE)的超導(dǎo)腔設(shè)計(jì)指標(biāo),平均品質(zhì)因數(shù)優(yōu)于LCLS-II-HE摻氮超導(dǎo)腔。該成果為我國(guó)高Q值1.3 GHz 9-cell 超導(dǎo)腔的批量制造奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),也為我國(guó)建設(shè)國(guó)際領(lǐng)先的高重頻自由電子激光裝置和未來(lái)高能正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)提供了新的工藝方案”(鑒定會(huì)專家意見(jiàn))。成果已轉(zhuǎn)入正式批量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)大型超導(dǎo)加速器。
圖 高能所1.3 GHz 9-cell超導(dǎo)腔測(cè)試結(jié)果(左)、美國(guó)1.3 GHz 9-cell超導(dǎo)腔測(cè)試結(jié)果(右)
五、結(jié)束語(yǔ)
在陳和生所長(zhǎng)、王貽芳所長(zhǎng)以及老一輩科學(xué)家的關(guān)懷和領(lǐng)導(dǎo)下,高能物理研究所射頻超導(dǎo)走過(guò)了二十多年的風(fēng)風(fēng)雨雨,從剛開(kāi)始的白手起家、跌宕起伏,經(jīng)歷了從無(wú)到有、由弱到強(qiáng),到后來(lái)的蓬勃興起、發(fā)展壯大——成立了射頻超導(dǎo)與低溫研究中心,由實(shí)驗(yàn)室摸索到整套技術(shù)掌握,再到整個(gè)射頻超導(dǎo)模組集成,投入大科學(xué)裝置使用,趕超世界一流水平,最后到成果支撐于國(guó)家基于加速器的大科學(xué)裝置。盡管如此,我們深知,這是暫時(shí)的領(lǐng)先,前面還有很長(zhǎng)的路,還有更多的創(chuàng)新,我們不敢懈怠,仍在努力,想著在國(guó)際賽道上跑得更快、更遠(yuǎn)。
審核編輯:湯梓紅
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超導(dǎo)技術(shù)
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原文標(biāo)題:什么是射頻超導(dǎo)技術(shù)?
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