直線電機(jī)模組的精度主要涉及到分辨率、定位精度和重復(fù)定位精度三個參數(shù)。它們之間相互關(guān)聯(lián),而且都是直線電機(jī)模組精度的重要指標(biāo)。只有全面理解直線電機(jī)模組精度的三個參數(shù),才能更好地實現(xiàn)直線電機(jī)模組的高精度運動控制。
1.直線電機(jī)模組分辨率
分辨率是指系統(tǒng)能夠產(chǎn)生的最小運動步距,及系統(tǒng)發(fā)出一個脈沖運動軸能夠行走的最小距離。系統(tǒng)的分辨率不僅取決于反饋系統(tǒng)的分辨率(如光柵尺),還與傳動系統(tǒng)有關(guān)。如果使用滾珠絲杠傳動,在沒有預(yù)壓的情況下會存在傳動間隙,從而導(dǎo)致分辨率下降。而直線電機(jī)模組采用“零間隙”直接驅(qū)動,使得系統(tǒng)分辨率接近反饋系統(tǒng)的分辨率。但是,這也與機(jī)械系統(tǒng)的連接剛性、阻尼以及驅(qū)動器參數(shù)調(diào)試的“軟硬”程度等因素有關(guān)。
2.直線電機(jī)模組定位精度
定位精度是指程序指定移動量與實際移動量之間的誤差。比如一個單軸移動100mm,結(jié)果實際上它走了100.01mm,多出來的0.01就是定位精度。
當(dāng)然直線電機(jī)模組不僅僅只有單軸,還有十字、龍門等多軸組合結(jié)構(gòu)。在多軸系統(tǒng)中,各軸需要協(xié)同運動才能到達(dá)目標(biāo)位置,因此定位精度不僅與各軸的定位精度有關(guān),還與機(jī)械系統(tǒng)的連接剛性、反饋系統(tǒng)的精度、分辨率以及驅(qū)控系統(tǒng)的精度等因素有關(guān)。
3.直線電機(jī)模組重復(fù)定位精度
重復(fù)定位精度是指在定位精度這個理想值上,每一次往復(fù)的工作精度差異。比如要求單軸移動200mm,結(jié)果第一次實際走到200.01mm,重復(fù)一次同樣的動作,又走到199.99mm,這之間的誤差200.01-199.99=0.02mm即重復(fù)定位精度,通常用±表示為±0.01mm。
通常情況下,重復(fù)定位精度,比定位精度要高得多,比如2~3倍,最多不超過10倍,而定位精度,介于分辨率和重復(fù)定位精度之間。
比如一個軸,其光柵尺分辨率(位移分辨率)為0.1微米,那么這個軸的重復(fù)定位精度,數(shù)值上大于0.1微米,比如可能會是0.15um,0.2um。
因為系統(tǒng)的重復(fù)定位精度,除了和光柵尺(位移傳感器)的精度、分辨率有關(guān)外,還和機(jī)械系統(tǒng)誤差有關(guān)系,比如導(dǎo)向系統(tǒng),傳動系統(tǒng),結(jié)構(gòu)剛性等,會使得定位精度降低,也在一定程度上,影響了重復(fù)定位精度。
4.分辨率、定位精度和重復(fù)定位精度三者的關(guān)系
提高分辨率可以提高定位精度,當(dāng)然也可以提高重復(fù)精度。
通常情況下重復(fù)定位精度比定位精度要高得多。
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