長鑫存儲“半導體設備生產(chǎn)效率的評估方法及裝置”專利獲授權

長鑫存儲技術有限公司申請了“半導體設備生產(chǎn)效率的評估方法及裝置”的專利。申請公告日為9月8日，申請公告號為cn113673812b。

根據(jù)專利摘要，本申請?zhí)峁┤缦略u價半導體設備生產(chǎn)效率的方法及裝置：評價半導體設備生產(chǎn)效率的方法是：提供1個半導體設備，半導體設備至少包括1個制造單元。半導體設備獲得按順序生產(chǎn)多個晶圓的生產(chǎn)參數(shù)，并根據(jù)生產(chǎn)參數(shù)決定連續(xù)批次生產(chǎn)結束時間之間的時間間隔。每片配置的每片晶圓獲得進入每片生產(chǎn)單位的時間，每片配置的所有晶片決定每片生產(chǎn)單位的時間。為了測定半導體設備的生產(chǎn)效率，測定存在時間和存在時間之間的比率。

即，迅速找出瓶頸單元，并將限制設備生產(chǎn)效率的單元和其他單元能夠提高的范圍一眼就能反映出來。