而蔡司工業(yè)CT計算機斷層掃描能在前兩者的基礎(chǔ)上輸出清晰的幾何形狀比較，還有全尺寸量測、虛擬裝配檢驗、孔隙率及探傷分析、材料檢驗等功能，同時還可以用于逆向工程。
可以簡單概括為，一般型蔡司工業(yè)CT不具有尺寸精度認(rèn)證，所以無法保證檢測精度，且多用于缺陷檢測，著重于2D影像缺陷識別。而工業(yè)CT具有尺寸精度認(rèn)證，能完整追溯尺寸精度，能應(yīng)用于尺寸測量、失效分析、各類缺陷檢測中，具有完整的定位與檢測功能。
蔡司工業(yè)CT內(nèi)部結(jié)構(gòu)缺陷分析檢測后會生成Volume data和STL三角網(wǎng)格資料兩個主要的檔案。前者主要應(yīng)用于失效分析，可以透過軟件來看切層影像, 能透過灰階切層影像來做缺陷分析。在檢測中常用于開發(fā)后段, 組裝相關(guān)問題分析, 模塊測試前后分析, 客訴件分析等。后者常見于單材料檢測，可以與CAD 做比對, 量測線性尺寸, GD&T 型位公差尺寸等。常用于開發(fā)前期，進(jìn)行單一零件問題解析與尺寸量測。
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