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      氦質(zhì)譜檢漏儀 EUV ***檢漏

      伯東企業(yè)（上海）有限公司 ? 2023-06-02 15:53 ? 次閱讀

      上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用***公司, ***真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空, 因為設(shè)備整體較大, 需要對構(gòu)成***的真空相關(guān)部件進行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.

      ***檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設(shè)定為 1x10-11pa m3/s.
      1. 通過波紋管與***真空系統(tǒng)連接
      2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過設(shè)定漏率值的狹縫, 檢漏儀會時時發(fā)出聲光報警, 同時在屏幕上顯示漏率值.

      氦質(zhì)譜檢漏儀***檢漏


      便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要技術(shù)參數(shù)：

      對氦氣的最小檢測漏率

      真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s

      檢測模式

      真空模式和吸槍模式
      檢漏方法>>

      氦質(zhì)譜檢漏儀無油前級泵抽速

      1.7 m3/h

      檢測氣體

      4He , 3He, H2

      響應(yīng)時間

      <1s

      對氦氣的抽氣速度

      1.1 l/s

      氦質(zhì)譜檢漏儀進氣法蘭

      DN 25 ISO-KF

      進氣口最大壓力

      15 hPa

      通訊接口

      RS-232

      工作溫度

      10-40 °C

      噪音水平

      < 45 dB (A)

      尺寸

      350 X 245 X 141 mm

      重量

      21 kg (46 lb)

      鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解***檢漏, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 分機 107


      現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉女士
      上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！

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        EUV
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      • EUV光刻機
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