氦質(zhì)譜檢漏儀電子束***檢漏

上海伯東客戶某***生產(chǎn)商, 生產(chǎn)的電子束*** Electron Beam Lithography System 最大能容納 300mmφ 的晶圓片和 6英寸的掩模版, 適合納米壓印, 光子器件, 通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn). 經(jīng)過(guò)伯東推薦采購(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 用于電子束***腔體檢漏.

電子束***腔體需要檢漏
電子束***內(nèi)部腔體使用分子泵, 離子泵抽真空, 通過(guò)全量程真空計(jì) PKR 251 監(jiān)測(cè)真空度, 腔體需要維持真空度在 10-9 Pa 至 10-11 Pa, 如果腔體有漏導(dǎo)致真空度不夠, 會(huì)影響設(shè)備性能, 因此需要對(duì)整個(gè)腔體進(jìn)行泄漏檢測(cè).

電子束***腔體檢漏方法
上海伯東推薦客戶使用前級(jí)泵為干泵的便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 進(jìn)行泄漏檢測(cè).
當(dāng)真空度達(dá)到 15 hPa 時(shí), 在腔體周圍懷疑有漏的位置吹掃一定量的氦氣, 同時(shí)啟動(dòng)便攜式檢漏儀 ASM 310 開始檢漏, 真空模式下, 設(shè)置漏率值 1x10-13 Pa m3/s, 若有檢測(cè)到實(shí)際漏率大于設(shè)定值, 檢漏儀會(huì)報(bào)警提醒同時(shí)操作界面顯示漏率值, 從而可以定位定量判斷腔體泄漏位置, 完成整個(gè)腔體的泄漏檢測(cè).
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 是目前市場(chǎng)上同類型檢漏儀最輕便緊湊的產(chǎn)品
對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率
真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式 1E-8 Pa m3/s
對(duì)氦氣的抽氣速度 1.1 l/s

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解電子束***檢漏, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 分機(jī) 107

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