高真空排氣臺(tái)密封性泄露檢測(cè)

上海伯東某客戶生產(chǎn)研發(fā)多工位高真空和超高真空排氣臺(tái), 實(shí)現(xiàn)多工位同時(shí)抽真空的效果, 真空度需要穩(wěn)定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系統(tǒng)在內(nèi)的多個(gè)組件, 均需要進(jìn)行密封性泄露測(cè)試, 以保證高真空性能. 經(jīng)過上海伯東推薦真空系統(tǒng)核心組件分子泵選用德國(guó) Pfeiffer HiPace 系列, 并使用無油干式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340D 對(duì)整個(gè)排氣臺(tái)進(jìn)行密封性檢漏.

高真空排氣臺(tái)真空系統(tǒng)組成
* 渦輪分子泵 HiPace 80, HiPace 300, Hicube 80 ECO

分子泵型號(hào)	HiPace 80	HiPace 300	Hicube 80 ECO (分子泵組, 集成前級(jí)泵)
圖片
氮?dú)獬樗?L/S	67	260	67
極限真空 mbar	＜5X10-10	＜5X10-10	＜1X10-8

* 真空規(guī): PKR 251, CMR 361

超高真空排氣臺(tái)檢漏方法
排氣臺(tái)管路預(yù)留 KF 25 法蘭(或在分子泵和前級(jí)泵間預(yù)留), 通過波紋管與氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340D 連接, 真空模式下, 漏率值設(shè)定為 10-7 mbar l/s. 用噴槍在懷疑有漏的部位進(jìn)行吹掃. 如果超過設(shè)定的漏率值, 檢漏儀會(huì)時(shí)時(shí)報(bào)警并顯示當(dāng)前漏率.

上海伯東銷售維修無油干式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340D 與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無損快速檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 1X10-12 mbar l/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn).

	型號(hào)	ASM 340D
	對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率	1X10-12 mbar l/s
	檢測(cè)模式	真空模式和吸槍模式
	檢測(cè)氣體	4He, 3He, H2
	啟動(dòng)時(shí)間 min	3
	對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s	2.5
	進(jìn)氣口最大壓力 hPa	25
	前級(jí)泵抽速 m3/h	無油隔膜泵 3.4
	45	45

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用.氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn).氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解氦質(zhì)譜檢漏儀, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 分機(jī)107


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