如何設(shè)計一個傾斜表面浮雕光柵呢？

01 說明

在本例中設(shè)計了一個傾斜表面浮雕光柵(SRG, Slanted Surface Relief Grating) 將光耦合到單色增強現(xiàn)實(AR)系統(tǒng)的波導(dǎo)中。光柵的幾何結(jié)構(gòu)經(jīng)過優(yōu)化將垂直入射光引導(dǎo)至光柵的-1級中，然后將光柵特性導(dǎo)出為Lumerical 亞波長模型(LSWM, Lumerical Sub-Wavelength Model) JSON格式，以便在Speos中對該SRG進行系統(tǒng)級模擬。

02 綜述

SRG所設(shè)計的幾何參數(shù)為其傾斜角度、填充因子和高度，如下圖所示:

光柵和襯底的折射率為1.8，光柵被空氣包圍，周期為393nm。光柵將被優(yōu)化為將550nm波長的光傳輸?shù)焦鈻诺?1級。我們將使用RCWA求解器來定義仿真參數(shù)并運行和優(yōu)化仿真。

步驟1：內(nèi)耦合光柵的優(yōu)化

該步驟將使用Lumerical內(nèi)置的粒子群優(yōu)化（PSO）算法對SRG的傾斜角、填充因子和光柵高度進行了優(yōu)化，以最大限度地將550nm波長的S偏振傳輸?shù)?1光柵級。

初始設(shè)計的仿真結(jié)果顯示大約56%垂直入射的S偏振光被傳輸?shù)焦鈻诺?1級。然后將使用軟件的優(yōu)化功能優(yōu)化光柵幾何結(jié)構(gòu)以提升該數(shù)值?！皁ptimization”對象包括SRG的傾斜角度、填充因子和光柵高度，傳輸?shù)絊偏振的光柵-1級的能量被用作品質(zhì)因數(shù)（FOM）。設(shè)定如下所示：

優(yōu)化后的幾何結(jié)構(gòu)中光柵-1級的衍射效率約為94.7%。需要注意的是，這種類型的光柵的FOM[1]可以具有多個局部最大值。雖然內(nèi)置的PSO工具是一種方便的快速優(yōu)化方法，但可以使用更先進的優(yōu)化方法來充分探索參數(shù)空間。

步驟2：完整表征和數(shù)據(jù)導(dǎo)出

光柵優(yōu)化是利用來自光柵上方的垂直入射光來進行。然而，一旦選定了優(yōu)化的幾何結(jié)構(gòu)，就必須針對光線追跡仿真中預(yù)期的入射角范圍以及前后方向計算完整的光柵特性。

首先，在RCWA中做如下參數(shù)設(shè)置：

propagation direction: both

incident angle: range

minimum theta: 0

maximum theta: 85

theta points: 18

minimum phi: 0

maximum phi: 360

phi points: 37

如上設(shè)置，針對前向和后向的指定入射角范圍計算了優(yōu)化的SRG的S參數(shù)。然后，這些結(jié)果被導(dǎo)出為LSWM JSON格式，該文件適合使用腳本文件導(dǎo)入到Speos或Zemax中。

審核編輯：劉清