有關(guān)PTFE風(fēng)囊泵的一些問(wèn)題

PTFE材料的特性和規(guī)格

PTFE材料的化學(xué)名為聚四氟乙烯 ，這是一種具備許多極佳特性的半結(jié)晶含氟聚合物。這種含氟聚合物具備極高的熱穩(wěn)定性和化學(xué)抗性， 以及高熔點(diǎn)（-200℃至正260度，短期可達(dá)300℃）。此外，PTFE 產(chǎn)品 也具備絕佳的滑動(dòng)特性、極佳的電氣抗性以及非黏結(jié)表面。與其他塑料相比，機(jī)械強(qiáng)度較低，但比重則較高。為了強(qiáng)化機(jī)械特性，PTFE 塑料可用下列添加物強(qiáng)化。聚四氟乙烯通常利用壓縮成型制程做成半成品，之后再利用切割／機(jī)修工具加工。

PTFE材料具備下列的特性 :

極高的化學(xué)抗性

極佳的耐溫（-200℃至260℃，短期 可達(dá)300℃）

極低的摩擦系數(shù)

極低的表面張力（PTFE 通常不會(huì)使材料黏結(jié)，也難以黏合或焊接）

高熱膨脹系數(shù)

相當(dāng)?shù)偷膹?qiáng)度／剛性

低介電常數(shù)

耐燃性

華林科納風(fēng)囊泵采用環(huán)境溫度、超純?cè)傺h(huán)和輸送應(yīng)用的理想解決方案。這些 PTFE 和 PFA 泵完全不含金屬，并通過(guò)獨(dú)特的梭閥運(yùn)行，無(wú)需復(fù)雜的制動(dòng)裝置和手動(dòng)重置。它們?cè)趦赡瓯Ｐ奁趦?nèi)持續(xù)安全可靠地運(yùn)行。它們提供高達(dá) 7 Bar (100 psi) 的供氣壓力，并在流體溫度高達(dá) 100°C (212°F) 的熱循環(huán)應(yīng)用中運(yùn)行。該泵有 CSE30、CSE60 、 CSE120和CSE140 四種型號(hào)，最大流量分別為 30、60 、120 和140 lpm。

在泵內(nèi)部，波紋管承受著工作負(fù)荷的沖擊。 華林科納獨(dú)有的長(zhǎng)壽命波紋管設(shè)計(jì)和多年成熟的制造經(jīng)驗(yàn)。 該泵是由100%的PTFE粉末壓制而成，這使它們非常適合用于處理苛刻的化學(xué)品使用的晶圓制造工藝。

華林科納風(fēng)囊泵產(chǎn)品參數(shù)：

1、無(wú)金屬、無(wú)腐蝕

2、無(wú)彈性O(shè)型圈，無(wú)泄漏

3、沒(méi)有電動(dòng)機(jī)，沒(méi)有熱量上升

4、無(wú)葉輪，無(wú)微泡

5、可靠、安全的運(yùn)行

6、流量≤140 lpm(37gpm)

7、排放壓力≤150psi

8、壓差≤69psi

9、各種配件選項(xiàng)

10、PEP涂層電纜

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：

1、磁懸浮驅(qū)動(dòng)葉輪

2、電機(jī)旋轉(zhuǎn)葉輪獨(dú)立于穩(wěn)定功能

3、用于高純度化學(xué)品和DIW的工藝安全PTFE、PFA流路

4、無(wú)泄漏舌槽密封

5、低顆粒生成和低剪切可提高工藝產(chǎn)量并延長(zhǎng)CMP再循環(huán)中的過(guò)濾器生命

6、沒(méi)有閥門(mén)、軸承、旋轉(zhuǎn)密封件或機(jī)械接觸部件

7、減少磨損可增加正常運(yùn)行時(shí)間并最大限度地降低維護(hù)成本

8、100%不含金屬

9、過(guò)程安全的PTFE和PFA流路

10、防漏，機(jī)加工設(shè)計(jì)

11、無(wú)彈性O(shè)型圈、無(wú)泄漏、永不重新擰緊

CSE30、CSE60、CSE120 和CSE140分別經(jīng)過(guò) 400、300 或 2 億次以上循環(huán)的驗(yàn)證，具有可靠性。

風(fēng)囊泵工作原理：壓縮空氣進(jìn)入泵的氣相工作腔后，壓縮風(fēng)囊變形移動(dòng)，通過(guò)換向閥控制壓縮空氣依次進(jìn)入兩個(gè)氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實(shí)現(xiàn)對(duì)液體的輸送。

圖解：這是一種無(wú)制動(dòng)梭閥設(shè)計(jì)，可通過(guò)最大限度地減少振動(dòng)、脈動(dòng)和磨損來(lái)提高性能和可靠性。

溫度限制

操作安裝：請(qǐng)勿通過(guò)梭閥組件或空氣管提升泵

l 安裝方向：必須安裝在直立位置。止回閥由重力和/或流量驅(qū)動(dòng)，如果泵不直立，則不會(huì)座。

l 計(jì)時(shí)器方式：泵需要結(jié)束行程檢測(cè)機(jī)構(gòu)（壓力開(kāi)關(guān)）以防止在定時(shí)模式下過(guò)行程。在沒(méi)有行程檢測(cè)的定時(shí)器模式下操作將取消泵保修

l 所需的空氣流量（穿梭閥）：需要1/4英寸的最小孔口和不受限制的氣流。

l 所需的氣流（電磁閥）：需要一個(gè)1.5 Cv的電磁閥。使用減少的Cv將降低流量。使用Cv大于20%的閥門(mén)將改變操作參數(shù)，減少泵的壽命并使保修無(wú)效。

l 空氣供應(yīng)不足：在供氣不足時(shí)運(yùn)行不正?；蛳ɑ?。確保使用的供氣壓力高于性能圖表中的平均空氣消耗線。供氣管道和配件必須滿足安裝說(shuō)明中顯示的最小內(nèi)徑要求。

l 供氣壓力：低于最大氣壓35%可以顯著延長(zhǎng)泵的壽命。泵要求最低空氣壓力為20 psi。超過(guò)7巴（100 psi）的操作可能會(huì)損壞泵并使保修失效

l 液體入口/出口連接：液體端口不是NPT或任何其他標(biāo)準(zhǔn)。使用非華林科納提供的連接器將損壞泵和保修無(wú)效。

l 液體管線限制：可以通過(guò)關(guān)閉液體出口管線來(lái)進(jìn)行控制。然而，限制液體供應(yīng)線會(huì)增加磨損，并應(yīng)避免。請(qǐng)勿吸入封閉的液體入口。它會(huì)損壞泵，使保修失效。

l 帶有穿梭閥的脈沖減振器：當(dāng)使用脈動(dòng)減振器時(shí)，對(duì)泵的空氣供應(yīng)壓力應(yīng)至少比液體管道壓力高出10psi。如果不這樣做，可能會(huì)導(dǎo)致操作不穩(wěn)定。

壓力開(kāi)關(guān)行程檢測(cè)電氣連接：

華林科納風(fēng)囊泵配件包括儀表、過(guò)濾器、控制器、高純閉環(huán)控制系統(tǒng)、循環(huán)率轉(zhuǎn)換器等。

為更好的服務(wù)客戶，華林科納特別成立了監(jiān)理團(tuán)隊(duì)，團(tuán)隊(duì)成員擁有多年半導(dǎo)體行業(yè)項(xiàng)目實(shí)施、監(jiān)督、控制、檢查經(jīng)驗(yàn)，可對(duì)項(xiàng)目建設(shè)全過(guò)程或分階段進(jìn)行專業(yè)化管理與服務(wù)，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量監(jiān)理，降本增效。利用仿真技術(shù)可對(duì)未來(lái)可能發(fā)生的情況進(jìn)行系統(tǒng)的、科學(xué)的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪費(fèi)，助科研人員和技術(shù)工作者做出正確的決策，助力工程師應(yīng)對(duì)物理機(jī)械設(shè)計(jì)和耐受性制造中遇到的難題。

審核編輯 黃宇