重大突破!我國(guó)實(shí)現(xiàn)12英寸二維半導(dǎo)體晶圓規(guī)?；苽浼夹g(shù)

我國(guó)在二維半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破!

近日，來(lái)自松山湖材料實(shí)驗(yàn)室/北京大學(xué)教授劉開輝、中國(guó)科學(xué)院院士王恩哥團(tuán)隊(duì)，以及松山湖材料實(shí)驗(yàn)室/中國(guó)科學(xué)院物理研究所研究員張廣宇團(tuán)隊(duì)的最新研究成果在Science Bulletin(科學(xué)通報(bào))在線發(fā)表。該研究題為《模塊化局域元素供應(yīng)技術(shù)批量制備12英寸過(guò)渡金屬硫族化合物》。

Science Bulletin是由中科院、國(guó)自然基金委、Elsevier聯(lián)合出版的自然科學(xué)綜合性期刊，其前身是Chinese Science Bulletin。

論文表示，該團(tuán)隊(duì)采用局域元素供應(yīng)技術(shù)，成功地將過(guò)渡金屬硫族化合物晶圓尺寸從2英寸擴(kuò)展至與現(xiàn)代半導(dǎo)體材料接軌的12英寸，并通過(guò)垂直堆疊多個(gè)模塊層的策略，成功實(shí)現(xiàn)其大規(guī)模批量化生產(chǎn)的能力。

隨著晶體管尺寸接近其物理極限，摩爾定律步伐減緩，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展亟需探索新型材料。

二維半導(dǎo)體材料由于其本身物理結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)及電學(xué)性質(zhì)特點(diǎn)，在半導(dǎo)體的發(fā)展中具有巨大潛力。

與傳統(tǒng)半導(dǎo)體類似，二維半導(dǎo)體的低成本、大規(guī)模、批量制備是其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用所面臨的難題。該研究成果為實(shí)現(xiàn)二維半導(dǎo)體規(guī)?；苽涮峁┝诵碌募夹g(shù)方案，有望推動(dòng)二維半導(dǎo)體材料從實(shí)驗(yàn)研究向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用過(guò)渡。

審核編輯 黃宇