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小面元探測(cè)器在紅外整機(jī)應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)

MEMS ? 來(lái)源:紅外芯聞 ? 2023-07-14 10:10 ? 次閱讀

小面元紅外探測(cè)器具有成本低、體積輕、功耗小等優(yōu)勢(shì),更利于紅外整機(jī)實(shí)現(xiàn)工程指標(biāo)提升,對(duì)于進(jìn)一步推廣紅外行業(yè)低成本量產(chǎn)的發(fā)展十分有幫助。未來(lái),小面元探測(cè)器如何在紅外整機(jī)中應(yīng)用是持續(xù)關(guān)注的重點(diǎn)。

據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,中電科光電科技有限公司的科研團(tuán)隊(duì)在《激光與紅外》期刊上發(fā)表了以“小面元探測(cè)器在紅外整機(jī)應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)分析”為主題的文章。該文章第一作者為何松。

本文將針對(duì)小面元探測(cè)器在紅外整機(jī)應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行整機(jī)實(shí)驗(yàn)和數(shù)據(jù)仿真,為后續(xù)的工程化應(yīng)用提供思路。

理論分析

面元尺寸對(duì)熱像儀總體設(shè)計(jì)的影響

紅外熱像儀是典型的光學(xué)設(shè)備,屬于角分辨率探測(cè)裝置。由幾何光學(xué)原理可知,作用距離指標(biāo)受瞬時(shí)視場(chǎng)角和目標(biāo)能量?jī)蓚€(gè)方面共同影響。探測(cè)器面元尺寸一定時(shí),影響瞬時(shí)視場(chǎng)角最直接的指標(biāo)為焦距,焦距越長(zhǎng),則瞬時(shí)視場(chǎng)角越小,越有利于提升系統(tǒng)作用距離;影響能量最直接的指標(biāo)為F數(shù),F數(shù)越小,能量越強(qiáng),越有利于提升系統(tǒng)作用距離。然而,選用長(zhǎng)焦和?。茢?shù)作為整機(jī)設(shè)計(jì)輸入都會(huì)引起光學(xué)設(shè)計(jì)和加工難度增大、系統(tǒng)體積重量增大、成本提升等問(wèn)題,因此在工程研發(fā)中,當(dāng)通光口徑一定時(shí),通常選擇長(zhǎng)焦、大F數(shù)或者短焦、?。茢?shù)作為設(shè)計(jì)前提,但是焦距和F數(shù)又同時(shí)受到面元尺寸的影響,因?yàn)榻咕嘁欢〞r(shí),面元尺寸越小,瞬時(shí)視場(chǎng)角越??;由瑞利判據(jù)可知,面元尺寸減小時(shí),F數(shù)也應(yīng)相應(yīng)減小,以避免光學(xué)超衍射限的問(wèn)題發(fā)生。由此可見(jiàn),面元尺寸的選擇對(duì)熱像儀焦距、F數(shù)、體積、重量、成本等多個(gè)方面影響甚大?;诖耍跓嵯駜x方案選擇上,應(yīng)優(yōu)先選擇小面元尺寸的的探測(cè)器,然后選擇合適的?。茢?shù)與較長(zhǎng)的焦距,以滿(mǎn)足分辨率高、能量強(qiáng)、作用距離遠(yuǎn)、體積小、重量輕、成本低的整機(jī)工業(yè)化發(fā)展需求。

由于超光學(xué)衍射極限后熱像儀的光學(xué)艾利斑將發(fā)生混疊,降低系統(tǒng)分辨率,故在確定采用小面元探測(cè)器后,整機(jī)設(shè)計(jì)的F數(shù)選取范圍通常以瑞利判據(jù)為標(biāo)準(zhǔn);為分析艾利斑混疊在整機(jī)應(yīng)用中的具體影響程度,針對(duì)小面元整機(jī)在光學(xué)設(shè)計(jì)、圖像處理算法等方面做進(jìn)一步突破匹配,以選擇合適的F數(shù),進(jìn)行相應(yīng)的仿真實(shí)驗(yàn)。

光學(xué)系統(tǒng)的艾里斑光強(qiáng)仿真

點(diǎn)光源通過(guò)衍射受限透鏡成像時(shí),由于衍射而在焦點(diǎn)處形成的光斑稱(chēng)為艾里斑,光學(xué)系統(tǒng)的分辨率通常以艾里斑的大小進(jìn)行描述。根據(jù)瑞利判據(jù),成像光學(xué)系統(tǒng)的分辨能力是衡量分開(kāi)相鄰兩個(gè)物點(diǎn)的像的能力,傳統(tǒng)設(shè)計(jì)依據(jù)是光學(xué)系統(tǒng)的艾里斑直徑2.44λF≤面元尺寸,在衍射極限位置,圖像中心亮斑包含84%的輻射通量。為了分析更貼近系統(tǒng)工程的數(shù)據(jù)指標(biāo),選取實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行仿真試驗(yàn),對(duì)于中波紅外探測(cè)器(3~5 μm,F3,7.5 μm面元尺寸),分別采樣3.6 μm、4 μm、4.8 μm波段下的艾里光斑成像效果,具體如圖1。

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圖1 不同波段下艾里光斑及采樣效果

觀(guān)察實(shí)驗(yàn)結(jié)果易得,在4 μm波長(zhǎng)時(shí),成像并非完全無(wú)法分辨,通過(guò)圖像處理和增強(qiáng)可以實(shí)現(xiàn)分辨;但波長(zhǎng)更長(zhǎng)時(shí),甚至形成中間比兩邊更亮的情形,此時(shí)探測(cè)器采樣將完全無(wú)法分辨兩個(gè)點(diǎn)。基于以上仿真,在整機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中,當(dāng)艾里斑半徑小于兩倍面元尺寸時(shí),即作為對(duì)探測(cè)器的有效采樣位置。

小面元熱像儀的工程化應(yīng)用

為了分析小面元探測(cè)器在整機(jī)工程化應(yīng)用中的具體表現(xiàn),采用數(shù)據(jù)收集、指標(biāo)分析、總結(jié)歸納的方法,探索小面元熱像儀的指標(biāo)設(shè)計(jì)體系。

為了保證數(shù)據(jù)收集、分析的全面性與合理性,我們將采用小面元探測(cè)器的整機(jī)總體設(shè)計(jì)分為相對(duì)小面元和絕對(duì)小面元兩種情況討論。當(dāng)波長(zhǎng)一定時(shí),相對(duì)小面元是指面元物理尺寸相同時(shí),絕對(duì)小面元是指波長(zhǎng)及F數(shù)一定時(shí),即艾里斑尺寸相同,而2a的數(shù)值隨面元物理尺寸減小,且面元尺寸a小于15 μm主流探測(cè)器的情況。

相對(duì)小面元成像研究

相對(duì)小面元下國(guó)外光學(xué)鏡頭的設(shè)計(jì)分析

為開(kāi)展相對(duì)小面元下整機(jī)的實(shí)際應(yīng)用分析,調(diào)研了國(guó)內(nèi)外熱成像鏡頭廠(chǎng)商產(chǎn)品資料,選用國(guó)外某系列化制冷型中波15 μm,NETD在23 mK,探測(cè)、識(shí)別、辨認(rèn)概率在50%時(shí)的光學(xué)鏡頭進(jìn)行數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),結(jié)果如圖2所示。

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圖2 不同焦距下對(duì)車(chē)輛識(shí)別、探測(cè)、辨認(rèn)所需像素?cái)?shù)

通過(guò)數(shù)據(jù)分析發(fā)現(xiàn),衡量固定目標(biāo)所需的有效像素?cái)?shù)隨F數(shù)和焦距長(zhǎng)短發(fā)生變化,F5.5所需像素?cái)?shù)整體大于F4,長(zhǎng)焦所需像素?cái)?shù)整體大于短焦,且焦距越短越明顯,部分?jǐn)?shù)據(jù)顯著高于約翰遜準(zhǔn)則。

由以上數(shù)據(jù)分析可知,在通光口徑相同時(shí),由于F數(shù)為5.5的整機(jī)(即采用相對(duì)小面元探測(cè)器的整機(jī))比F數(shù)為4的整機(jī)接收的能量更弱,尤其在遠(yuǎn)距離工作,受大氣透過(guò)率影響,信噪比不足時(shí),需要更多的像素以彌補(bǔ)其不足。該結(jié)論可用于以相對(duì)小面元探測(cè)器的整機(jī)在確定面元尺寸和作用距離時(shí),F數(shù)與焦距選擇的參考(考慮到國(guó)內(nèi)外光學(xué)鏡頭的性能差異,此數(shù)據(jù)可能需要修正)。

相對(duì)小面元下國(guó)內(nèi)整機(jī)的NNETD、MRTD及成像分析

為分析采用相對(duì)小面元探測(cè)器的整機(jī)系統(tǒng)指標(biāo),本試驗(yàn)選擇了90 mm焦距,F2的光學(xué)鏡頭,分別搭配10 μm,15 μm不同F數(shù)的探測(cè)器在不同積分時(shí)間下進(jìn)行了NETD和MRTD數(shù)據(jù)收集分析,結(jié)果見(jiàn)表1和圖3。

表1 NETD測(cè)試結(jié)果

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圖3 不同探測(cè)器在相同光學(xué)系統(tǒng)下的MRTD測(cè)試曲線(xiàn)

由上可知,該曲線(xiàn)在低頻靶標(biāo)下的測(cè)試結(jié)果近似等同于NETD值,在系統(tǒng)截止頻率上測(cè)試指標(biāo)趨于無(wú)窮大;在同樣的光學(xué)鏡頭和信號(hào)處理電路下,搭配10 μm,F2探測(cè)器時(shí),特征靶下的MRTD基本達(dá)到0.3 K左右,符合理論值,分辨能力較好,此時(shí)探測(cè)器采樣未超光學(xué)衍射極限;搭配10 μm,F4探測(cè)器時(shí),MRTD較F2略差,此時(shí)處于衍射極限狀態(tài);搭配10 μm,F5.5探測(cè)器時(shí),無(wú)法分清特征靶,且低頻的MRTD也較差,此時(shí)超出衍射極限。同理15 μm,F5.5的整機(jī)MRTD曲線(xiàn)差于15 μm,F4。

同時(shí)可得,當(dāng)探測(cè)器采樣超衍射極限較多且NETD較小能量較弱、MRTD曲線(xiàn)較差時(shí),通過(guò)提高積分時(shí)間可顯著提升NETD和MRTD測(cè)試值,提高作用距離指標(biāo)。

另外,通過(guò)對(duì)相同口徑不同焦距熱像儀的指標(biāo)測(cè)試發(fā)現(xiàn),由于部分長(zhǎng)焦大F數(shù)熱像儀受光學(xué)截止頻率影響嚴(yán)重,其極限特征頻率與焦距稍短的?。茢?shù)熱像儀基本相同,對(duì)這種情況下目標(biāo)的信息量是否可以隨光學(xué)焦距的增加而加大存有疑問(wèn);如果此時(shí)長(zhǎng)焦熱像儀不能增加信息量,則其目標(biāo)識(shí)別效果應(yīng)與短焦熱像儀電子放大后基本相當(dāng),為分析此問(wèn)題進(jìn)行如下試驗(yàn):

本試驗(yàn)采用一臺(tái)15 μm,F4整機(jī),一臺(tái)15 μm,F5.5整機(jī),通光口徑均設(shè)為190 mm,此時(shí)兩臺(tái)熱像儀實(shí)測(cè)MRTD截止頻率和指標(biāo)基本相當(dāng);白天對(duì)距離2.5 km的無(wú)人機(jī)進(jìn)行識(shí)別對(duì)比驗(yàn)證,短焦熱像儀通過(guò)電子放大使其視場(chǎng)與長(zhǎng)焦熱像儀相當(dāng),目標(biāo)細(xì)節(jié)如圖4所示。

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圖4 不同焦距的目標(biāo)細(xì)節(jié)圖

由上可知,長(zhǎng)焦大F數(shù)熱像儀的分辨率顯著優(yōu)于短焦小F數(shù)熱像儀電子放大后的效果,因此判斷,即使受物理光學(xué)影響,在相同口徑下長(zhǎng)短焦熱像儀空間截止頻率相同,長(zhǎng)焦大F數(shù)熱像儀,即艾里斑尺寸更大,面元尺寸相對(duì)小時(shí),依然可以提高目標(biāo)空間分辨能力,提高作用距離。

此外,本次實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)長(zhǎng)焦、大F數(shù)整機(jī)由于最小視場(chǎng)時(shí)的分辨能力更高,積分時(shí)間較小F數(shù)整機(jī)更長(zhǎng),目標(biāo)觀(guān)測(cè)過(guò)程中圖像上可明顯看出由于大氣湍流引起的空氣流動(dòng)現(xiàn)象。眾所周知,大氣湍流(大氣層中空氣密度的無(wú)規(guī)則起伏)一直存在,且湍流對(duì)光束傳輸?shù)挠绊懗蔀橥牧餍?yīng),其主要表現(xiàn)為光束強(qiáng)度、相位、方向等變量的不規(guī)則變化。紅外熱像儀是通過(guò)選擇與大氣窗口對(duì)應(yīng)的不同波段探測(cè)器,通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)目標(biāo)進(jìn)行信息收集及顯示成像的過(guò)程,因此,光束的持續(xù)變化對(duì)熱像儀接收成像較為不利,后續(xù)可通過(guò)時(shí)域?yàn)V波、抗擾動(dòng)算法等手段提升熱像儀成像質(zhì)量。

面元尺寸絕對(duì)小

絕對(duì)小面元下的探測(cè)器采樣仿真

為了剖析絕對(duì)小面元探測(cè)器對(duì)整機(jī)成像質(zhì)量的影響,通過(guò)仿真目標(biāo)經(jīng)理想光學(xué)系統(tǒng)衍射成像后,探測(cè)器對(duì)其采樣的過(guò)程,探究采樣相位是否可能對(duì)成像質(zhì)量造成影響。

在理想光學(xué)系統(tǒng)(波段7.7~9.0 μm,F3,焦距255 mm)下,用10 μm和15 μm面元尺寸探測(cè)器對(duì)15 μm對(duì)應(yīng)四桿靶圖像采樣,每次移動(dòng)1/4相位,得到實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖5所示。

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圖5 移相實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖

圖5從左到右分別是四桿靶,10 μm探測(cè)器對(duì)其進(jìn)行采樣,15 μm探測(cè)器對(duì)其進(jìn)行采樣。從仿真結(jié)果中可以看出,當(dāng)使用10 μm面元尺寸探測(cè)器對(duì)四桿靶圖像進(jìn)行采樣時(shí),不同相位成像略有差異,但都能完全分辨四桿靶;而使用15 μm面元尺寸探測(cè)器對(duì)四桿靶圖像進(jìn)行采樣時(shí),在個(gè)別相位無(wú)法分辨四根靶標(biāo),即產(chǎn)生了摩爾紋現(xiàn)象;該實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明采用絕對(duì)小面元探測(cè)器的整機(jī),通過(guò)調(diào)整采樣相位能夠明顯減小摩爾紋對(duì)成像質(zhì)量的影響,改善圖像分辨率,提升作用距離,該結(jié)果同時(shí)證實(shí)了上述采用絕對(duì)小面元探測(cè)器時(shí)采樣相位是否可能對(duì)整機(jī)成像質(zhì)量造成影響的可能性是存在的。

絕對(duì)小面元下國(guó)外探測(cè)器的設(shè)計(jì)分析

雖然絕對(duì)小面元探測(cè)器具備體積小、重量輕、成本低、在探測(cè)器受限時(shí)能顯著提升系統(tǒng)分辨率及增大面陣規(guī)格等諸多優(yōu)點(diǎn),但是面元尺寸會(huì)受到孔徑衍射效應(yīng)的限制,并不能無(wú)限制地減小,減小至超出光學(xué)衍射極限后,會(huì)降低系統(tǒng)分辨率。針對(duì)此問(wèn)題,美國(guó)DRS公司開(kāi)展了大量的分析及實(shí)驗(yàn),確認(rèn)了將探測(cè)器面元尺寸降低到近衍射極限甚至超衍射極限的可能性。本文通過(guò)查閱相關(guān)國(guó)外資料,得出部分結(jié)論,具體如圖6、7所示。

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圖6 中波F數(shù)及面元尺寸匹配關(guān)系圖

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圖7 長(zhǎng)波F數(shù)及面元尺寸匹配關(guān)系圖

以上曲線(xiàn)綜合考慮了光學(xué)系統(tǒng)和探測(cè)器的截止頻率、采樣頻率以及中、長(zhǎng)波探測(cè)器信噪比差異等因素,從探測(cè)距離、衍射受限等角度為整機(jī)F數(shù)和面元尺寸的匹配、探測(cè)器面元尺寸的進(jìn)一步研究提供了數(shù)據(jù)參考。同時(shí)可得,對(duì)于F1的制冷型中、長(zhǎng)波探測(cè)器,其最小面元尺寸應(yīng)分別為3 μm和5 μm左右。

絕對(duì)小面元下國(guó)內(nèi)整機(jī)的NETD、MRTD及成像分析

為分析采用絕對(duì)小面元探測(cè)器的整機(jī)系統(tǒng)指標(biāo),本次實(shí)驗(yàn)選取兩臺(tái)整機(jī)分別匹配10 μm和15 μm規(guī)格的探測(cè)器,進(jìn)行了整機(jī)室內(nèi)NETD、MRTD指標(biāo)測(cè)試,室外場(chǎng)景觀(guān)測(cè)對(duì)比,包含近距離、遠(yuǎn)距離、晴天、陰天等多距離、多氣候條件下的作用距離試驗(yàn),NETD的測(cè)試結(jié)果見(jiàn)表2,MRTD的測(cè)試結(jié)果如圖8所示。

根據(jù)測(cè)試結(jié)果分析,可得出結(jié)論,從MRTD及NETD的測(cè)試結(jié)果來(lái)看,搭配10 μm探測(cè)器時(shí)的指標(biāo)較搭配15 μm探測(cè)器的指標(biāo)更差,由于10 μm探測(cè)器噪聲大,非均勻性較差,測(cè)試效果不佳。雖然在近距離時(shí),10 μm整機(jī)的分辨能力略好于15 μm整機(jī),但在遠(yuǎn)距離上兩者的分辨率差異不大且10 μm的作用距離不如15 μm熱像儀,因?yàn)?0 μm整機(jī)噪聲及非均勻性較差,導(dǎo)致整機(jī)的信噪比及信雜比下降明顯,不利于遠(yuǎn)距離探測(cè)。

表2 NETD測(cè)試結(jié)果

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圖8 不同熱像儀MRTD指標(biāo)曲線(xiàn)

10 μm整機(jī)與15 μm整機(jī)同視場(chǎng)下的室外觀(guān)測(cè)情況如圖9所示。

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圖9 不同面元尺寸熱像儀近距離和遠(yuǎn)距離成像對(duì)比圖

另外,通過(guò)10 μm,F5.5和15 μm,F5.5整機(jī)成像的比較,可以發(fā)現(xiàn)絕對(duì)小面元成像能夠避免摩爾紋現(xiàn)象的出現(xiàn),與探測(cè)器采樣仿真結(jié)果一致,如圖10所示。

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圖10 不同熱像儀成像效果對(duì)比

結(jié)合目前多種采用小面元探測(cè)器的整機(jī)應(yīng)用結(jié)果可知,整機(jī)NETD由于小面元探測(cè)器的噪聲較大,測(cè)試結(jié)果不佳,后續(xù)應(yīng)著重優(yōu)化。整機(jī)MRTD嘗試按傳統(tǒng)測(cè)試方法和按衍射極限所能達(dá)到的空間頻率綜合選取特征靶。

結(jié)語(yǔ)

小面元成像技術(shù)的實(shí)質(zhì)是打破熱像儀現(xiàn)有設(shè)計(jì)思維,熱像儀整機(jī)不再是各單元最優(yōu)指標(biāo)的集合,而是根據(jù)應(yīng)用需求多方面權(quán)衡和取舍的設(shè)計(jì)結(jié)果。本文結(jié)合仿真分析及工程實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),從理論分析提出小面元的定義,針對(duì)定義分別進(jìn)行數(shù)據(jù)測(cè)試與工程仿真,對(duì)小面元的優(yōu)勢(shì)及對(duì)紅外整機(jī)的成像影響進(jìn)行分析,最終得到經(jīng)驗(yàn)公式,希望對(duì)小面元整機(jī)設(shè)計(jì)提供指導(dǎo)思路。

然而,本文的數(shù)據(jù)樣本收集相對(duì)單一,相關(guān)關(guān)聯(lián)因素排除不徹底,后續(xù)仍然需要進(jìn)一步擴(kuò)大數(shù)據(jù)樣本的收集范圍,并從超分辨率下的圖像復(fù)原及計(jì)算成像等方法上尋求進(jìn)一步突破。




審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:中電科分析小面元探測(cè)器在紅外整機(jī)應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)

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