7月6日消息，據(jù)臺(tái)媒報(bào)道，ASML試圖規(guī)避荷蘭新銷售許可禁令，面向中國大陸市場(chǎng)推出特別版DUV ***。
消息稱如果該項(xiàng)目繼續(xù)推進(jìn)，中芯國際、華虹等半導(dǎo)體企業(yè)可以繼續(xù)使用ASML的設(shè)備生產(chǎn) 28 納米及更成熟工藝的芯片。
消息稱該特別版 DUV ***基于 Twinscan NXT: 1980Di 光刻系統(tǒng)改造，而 1980Di 是 10 年前推出的舊型號(hào)，不在本次官方禁令范圍內(nèi)。1980Di 是 ASML 現(xiàn)有效率比較低的***，支持 NA 1.35 光學(xué)器件、分辨率可以達(dá)到 <38 nm，理論上可以支持 7nm 工藝。大多數(shù)晶圓廠使用 1980Di ***，主要生產(chǎn) 14nm 及以上工藝芯片，很少使用其生產(chǎn) 7nm 芯片。
不過，ASML對(duì)此最新回應(yīng)表示：一直以來ASML都遵守所適用的法律條例，我們并沒有面向中國市場(chǎng)推出特別版的***。
但行業(yè)人士表示，報(bào)道指出的特別版DUV***是基于Twinscan NXT:1980Di光刻系統(tǒng)改造，作為10年前就已經(jīng)推出的型號(hào)，因?yàn)榧夹g(shù)已經(jīng)嚴(yán)重退檔，所以不在新的和舊有的禁令中。雖然這類***理論上可以支持7nm芯片的制造，但因其生產(chǎn)效率極低，良品率太差，很少半導(dǎo)體公司在使用。
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原文標(biāo)題：ASML向中國推出“特供版”光刻機(jī)？
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