擬推中國特供版DUV？ASML最新回應(yīng)

被美國要求限制對華出售半導(dǎo)體設(shè)備后，ASML進(jìn)退兩難。

此前據(jù)DigiTimes報道，ASML正在考慮發(fā)布其深紫外光刻（DUV）設(shè)備的特殊版本，該設(shè)備將符合最新的美國出口規(guī)則，并且可以在沒有許可證的情況下出售給中國大陸客戶。該設(shè)備將使中芯國際和華虹等公司能夠在28nm節(jié)點(diǎn)上制造芯片，但不允許他們使用更先進(jìn)的制程節(jié)點(diǎn)。

7 月 6 日午后，ASML 辟謠稱：一直以來 ASML 都遵守所適用的法律條例，公司并沒有面向中國市場推出特別版的***。

有問題的光刻設(shè)備是Twinscan NXT：1980Di，目前這是臺積電仍在使用的最先進(jìn)的浸入式掃描儀。該機(jī)器具有1.35數(shù)值孔徑光學(xué)組件，能夠?qū)崿F(xiàn)<38 nm的分辨率，這對于7nm甚至更高級的節(jié)點(diǎn)來說已經(jīng)足夠了。事實(shí)上，這款掃描儀最初于2016年發(fā)布，臺積電曾使用它來開發(fā)其7nm制程工藝技術(shù)。

從理論上講，削減該設(shè)備并提高其最低支持分辨率以防止中芯國際和其它中國大陸芯片制造商創(chuàng)造28nm以下的工藝技術(shù)是可能的。中芯國際的大部分收入來自超過28nm的制程節(jié)點(diǎn)，中國大陸公司可能仍然有興趣采購此類工具。

最新的出口法規(guī)要求美國公司和個人獲得出口設(shè)備和技術(shù)的許可證，這些設(shè)備和技術(shù)能夠制造14nm/ 16nm節(jié)點(diǎn)上的非平面晶體管邏輯芯片，3層或更多層的128DNAND閃存，以及18nm半間距或更小的DRAM存儲芯片。同樣的規(guī)則也適用于從美國出口組件的非美國公司，ASML及其Twinscan NXT：1980Di就是這種情況。

荷蘭最新的出口規(guī)則要求ASML獲得出口許可證才能向中國大陸公司出售其Twinscan NXT：2000i掃描儀。ASML尚未正式創(chuàng)建限量版Twinscan NXT，但如果出口法規(guī)繼續(xù)限制向中國大陸銷售先進(jìn)技術(shù)，此舉似乎很有可能。

受限制的DUV有哪些？

6月30日，荷蘭政府頒布關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備出口管制的最新條例，部分媒體將此理解為針對中國的***管制再次升級至所有DUV，實(shí)際上這些新的出口管制條例針對對象為先進(jìn)的45nm及以下芯片制造技術(shù)，包括最先進(jìn)的ALD原子沉積設(shè)備、外延生長設(shè)備、等離子體沉積設(shè)備和浸潤式光刻系統(tǒng)，以及用于使用和開發(fā)這類先進(jìn)設(shè)備的技術(shù)、軟件。

ASML表示，荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及部分最新DUV型號，包括 TWINSCAN NXT:2000i 及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)。EUV***在此前已經(jīng)受到限制，其它系統(tǒng)的發(fā)運(yùn)未受荷蘭政府管控。根據(jù)ASML官網(wǎng)信息，DUV浸潤式光刻系統(tǒng)，包含：TWINSCAN NXT:2050i、NXT:2050i、NXT:1980Di 三種***，這些能夠進(jìn)行38nm~45nm制程的晶圓加工。

此外，能夠進(jìn)行45nm以上晶圓加工，如65nm~220nm制程的干式DUV***如：TWINSCAN XT:400L、XT:1460K、NXT:870等，均不在荷蘭制裁清單內(nèi)。

荷蘭外貿(mào)和發(fā)展合作部部長頒布的MinBuza.2023.15246-27 號條例規(guī)定，對此前第2021/821 號條例附件一中未提及的半導(dǎo)體先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備的出口實(shí)行許可要求（有關(guān)先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備）

第二條：本條例規(guī)定，未經(jīng)部長許可，禁止從荷蘭出口先進(jìn)的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。

第三條：

1、第二條所述的許可申請，應(yīng)由出口商提出并向檢察官提交。

2、在任何情況下，申請均應(yīng)包含：

a出口商名稱和地址

b先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備的收貨人和最終用戶名稱和地址

c先進(jìn)半導(dǎo)體制造設(shè)備的接受者和最終用戶名稱和地址

3、在任何情況下，檢察官都有權(quán)要求出口商提供有關(guān)出口的合同，和有關(guān)最終使用用途的聲明。

第四條：

第二條所述的許可證，可以附加條件和規(guī)定

第二條所述許可的授予，可以存在限定條件。

第五條：

第二條中提到的許可證，可以在以下情況下被撤銷：

a許可證是根據(jù)不正確或不完整信息頒發(fā)的；

b未遵循許可證的規(guī)定、條件和限制；

c出于國家外交和安全政策的考慮。

中國回應(yīng)

6月30日，對于ASML出臺的對華半導(dǎo)體設(shè)備銷售新規(guī)，中國外交部發(fā)言人毛寧在例行記者會上表示，中方堅決反對美方泛化國家安全概念，濫用出口管制，以各種借口拉攏脅迫其他國家對華搞科技封鎖，以行政手段干預(yù)企業(yè)之間的正常經(jīng)貿(mào)往來，嚴(yán)重破壞市場規(guī)則和國際經(jīng)貿(mào)秩序，沖擊全球產(chǎn)供鏈的穩(wěn)定，不符合任何一方的利益。中方將密切關(guān)注有關(guān)動向，堅決維護(hù)自身的合法權(quán)益。

不止于此，今年1月31日，針對ASML停止向中國大陸企業(yè)銷售EUV***一事，毛寧就表示，1月30日，秦剛外長同荷蘭副首相兼外交大臣胡克斯特拉通電話，就雙邊關(guān)系等問題深入交換了意見。秦剛外長指出，開放務(wù)實(shí)是中荷關(guān)系的最大特色，雙方要共同維護(hù)國際產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定，維護(hù)開放而非分裂、有序而非混亂的國際貿(mào)易環(huán)境。

胡克斯特拉副首相兼外交大臣表示，荷方愿推動兩國開放務(wù)實(shí)的全面合作伙伴關(guān)系不斷發(fā)展，將繼續(xù)以負(fù)責(zé)任的方式處理對華經(jīng)貿(mào)事宜。

“我想再次強(qiáng)調(diào)的是，個別國家出于一己私利，不惜損友自肥，惡意封鎖和打壓中國企業(yè)，人為推動產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移脫鉤，有關(guān)霸凌霸道行徑嚴(yán)重破壞市場規(guī)則和國際經(jīng)貿(mào)秩序，不僅損害中國企業(yè)的合法權(quán)益，也沖擊全球產(chǎn)供應(yīng)鏈的穩(wěn)定?！泵珜幷f，我們希望各方秉持客觀公正立場，從自身長遠(yuǎn)利益和公平公正市場原則出發(fā)，獨(dú)立自主地作出決定。





審核編輯：劉清