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消光比雖然不是濱松出廠的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試參數(shù)，但是通過消光比我們可以間接的得到SLM相位性能水平(相位調(diào)制準(zhǔn)確度，SLM表面平整度)如何，此外由于消光比測(cè)試的光路比較簡單，也方便客戶長時(shí)間觀察SLM性能變化，進(jìn)行故障排除等工作。下面我們將介紹濱松標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量消光比的方法。測(cè)量消光比的光路如圖所示:

以測(cè)量x10468-01為例。起偏器和檢偏器使用USP-25.4C0.4-38 工作波長是400-700nm。半反半透鏡(half mirror)使用是PSCH-60C10-10W-550 。起偏器檢偏器與半反半透鏡使用類似性能的即可。

激光器發(fā)出的激光首先經(jīng)過透鏡組進(jìn)行擴(kuò)束，再經(jīng)過一個(gè)光闌，保證入射到SLM上的光斑直徑為10mm。然后光不任何波片，直接入射到偏振偏振角度45度擺放的起偏器上(迎著光前進(jìn)方向觀察，相對(duì)于y順時(shí)針旋轉(zhuǎn)45度)。然后放置SLM，讓入射光原路返回，從而保證入射光是垂直入射到SLM上。再放置半反半透鏡，讓經(jīng)過SLM反射的光經(jīng)過半反半透鏡反射以后，與入射的光方向垂直，從而保證光在半反半透鏡上是45度入射。然后放置檢偏器，旋轉(zhuǎn)檢偏器角度，讓其偏振角度為-45度 (迎著光前進(jìn)方向觀察，相對(duì)于y逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)45度)。然后測(cè)量光強(qiáng)隨著施加相位的變化。得到的曲線大概如下圖：

消光比計(jì)算是最小的強(qiáng)度比上最大的強(qiáng)度。

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審核編輯：湯梓紅

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