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      晶圓鍵合機(jī)中的無(wú)油真空系統(tǒng)

      伯東企業(yè)（上海）有限公司 ? 2023-05-25 15:58 ? 次閱讀

      晶圓鍵合機(jī)主要用于將晶圓通過(guò)真空環(huán)境, 加熱, 加壓等指定的工藝過(guò)程鍵合在一起, 滿足微電子材料, 光電材料及其納米等級(jí)微機(jī)電元件的制作和封裝需求. 晶圓鍵合機(jī)需要清潔干燥的高真空工藝環(huán)境, 真空度一般要求 5E-4 mbar 至 5E-8 mbar, 因?yàn)槿绻麉㈦s了其他氣體雜雜質(zhì), 會(huì)影響到器件的性能. 無(wú)油干式真空泵搭配分子泵是晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置.

      上海伯東推薦適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的無(wú)油渦旋干泵, 抽速 6-20 m3/h, 低振動(dòng), 低噪音, 低能耗, 方便系統(tǒng)集成.

      普發(fā)渦旋干泵

      型號(hào)

      HiScroll 6

      HiScroll 12

      HiScroll 18

      進(jìn)氣口

      DN 25 ISO-KF

      DN 25 ISO-KF

      DN 25 ISO-KF

      抽速 m3/h

      6.1

      12.1

      18.1

      極限真空度 hPa
      氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉

      1.5 X 10-2

      6 X 10-3

      6 X 10-3

      功耗 W

      170

      210…280

      210…280

      噪音 dB(A)

      48

      47

      47

      轉(zhuǎn)速 RPM

      42Hz / 2,500 min-1

      26Hz / 1,560 min-1

      26Hz / 1,560 min-1

      Gasballast-flow

      (stage1/2)

      8,000 sccm
      11,000 sccm

      12,000 sccm
      20,000 sccm

      12,000 sccm
      20,000 sccm

      尺寸 mm

      380 x 227 x 257

      419 x 265 x 304

      419 x 265 x 304

      重量 kg

      19

      24

      23

      適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的渦輪分子泵, 抽速 10-1900 l/s, 高氣流量, 高抽速, 占用空間小, 方便系統(tǒng)集成.

      普發(fā)分子泵

      型號(hào)

      HiPace 80

      HiPace 300

      HiPace 700

      進(jìn)氣口

      DN 63 ISO-K
      DN 63 CF-F
      DN 40 ISO-K

      DN 100 ISO-K
      DN 100 CF-F
      DN 100 ISO-F

      DN 160 ISO-K
      DN 160 CF-F
      DN 160 ISO-F

      氮?dú)獬樗?l/s

      67

      260

      685

      最大極限真空度 hPa

      ＜5X10-10

      ＜5X10-10

      ＜5X10-10

      電壓 ± 5 %, VDC

      24

      24

      48

      噪音 dB(A)

      ≤48

      ≤50

      ≤50

      轉(zhuǎn)速 RPM ± 2 %

      90000

      60000

      49200

      最大預(yù)抽真空 hPa

      22

      15-22

      11

      重量 kg

      2.4-3.8

      5.8-8.7

      10.6-16.5


      上海伯東Pfeiffer德國(guó)普發(fā)真空產(chǎn)品授權(quán)代理商, 銷售維修普發(fā) Pfeiffer真空產(chǎn)品 20余年. 可協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù). 擁有100% 原裝進(jìn)口維修設(shè)備和備品配件, 提供快速維修服務(wù).

      若您需要進(jìn)一步的了解 Pfeiffer 真空泵詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士,分機(jī)107


      現(xiàn)部分品牌誠(chéng)招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉女士
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