半導(dǎo)體領(lǐng)域集成微多孔透氣膜材料應(yīng)用介紹

近日，深圳國際半導(dǎo)體展覽會在深圳會展中心舉行，展示以芯片設(shè)計及制造、集成電路、封測、材料及設(shè)備、5G新應(yīng)用、新型顯示為主的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。有眾多***、晶圓制造、半導(dǎo)體制造、顯示面板制造等設(shè)備廠商都集成了POD無塵拖鏈護(hù)套、部分設(shè)備真空吸附平臺集成了透氣多孔膜材料等。

1、POD無塵拖鏈護(hù)套

POD無塵拖鏈護(hù)套采用高分子PU與e-PTFE基膜（PD014\PD011）復(fù)合制成。POD無塵拖鏈護(hù)套專用e-PTFE基膜（PD014\PD011）具有低介電常數(shù)、耐摩擦、拉伸強度高、防塵阻液、抗酸堿及耐老化等特性。作為線束中的隔離帶，其重量輕、一致性好。符合RoHS、REACH、鹵素認(rèn)證。

2、透氣多孔膜（超高分子量聚乙烯多孔膜）

多孔透氣膜是采用超高分子量聚乙烯（UHMWPE）粉末經(jīng)特殊工藝制作而成，形成一種多孔性透氣膜（VLC502\VLC503\VLC505等）。它具有透氣性和低摩擦系數(shù)，同時保持了超高分子量聚乙烯的耐化學(xué)性、耐磨性和黏性消除等特性。

3、防水透氣膜（微孔過濾膜）

防水透氣膜是一種高分子防水透氣材料，采用ptfe樹脂經(jīng)特殊工藝制作而成多微孔性過濾薄膜（ES681\ES682\ES672等），由于孔徑小于水分子直徑，而又大于氣體分子直徑，所以它能過濾氣體中的雜質(zhì)、使氣液分離，殼體內(nèi)外壓力平衡、防水透氣、微孔過濾排氣。同時還具有ptfe本身的特性、疏水、耐高低溫、防腐蝕等。在從多半導(dǎo)體制造設(shè)備中的傳感器中比較常見。

此外，微爾斯新材料事業(yè)部（VONM）作為專注于eptfe膜材料的開發(fā)與應(yīng)用，依托掌握的密封防水防塵、微孔泄壓排氣、氣壓平衡等功能技術(shù)，還在半導(dǎo)體其他領(lǐng)域中提供防護(hù)產(chǎn)品，例如：柔性管狀透氣膜、微孔過濾膜、防水透氣閥等。