如何驗(yàn)證白光干涉儀精度丨科普篇

粗糙度、臺(tái)階高度是白光干涉儀最擅長的測(cè)量工作。

小優(yōu)博士也重點(diǎn)說明過在此類測(cè)量應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)。

白光干涉的超高精度，會(huì)讓很多評(píng)估者無從下手。

怎么驗(yàn)證一臺(tái)白光干涉儀的高度測(cè)量能力？

小優(yōu)博士給您支招。

非常簡(jiǎn)單！

只需準(zhǔn)備“SiC硅片” 和 “標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊”

15分鐘驗(yàn)證3大參數(shù)即可！

a、RMS重復(fù)性

b、臺(tái)階重復(fù)性、臺(tái)階準(zhǔn)度

c、掃描量程、掃描速度

一、RMS重復(fù)性

RMS重復(fù)性：ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)下，測(cè)量?jī)纱蜸iC表面粗糙度Sq；

取Sq/√2 的差值，或30取1σ的平均偏差。

（圖1 SiC晶圓）

二、臺(tái)階重復(fù)性、準(zhǔn)度

臺(tái)階重復(fù)性：測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階高度的重復(fù)偏差；

一般測(cè)量30次，取1σ的極值偏差/平均值。

臺(tái)階準(zhǔn)度：測(cè)量值相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)值的偏差；

一般測(cè)量30次，取1σ的標(biāo)準(zhǔn)偏差/標(biāo)準(zhǔn)值。

（圖2 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊）

三、掃描量程、速度

硬件“壓電陶瓷“直接決定了量程和速度；

驗(yàn)證方法:實(shí)測(cè)樣品確定量程，使用秒表計(jì)算時(shí)間。

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普通實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下

小優(yōu)博士使用優(yōu)可測(cè)Atometrics白光干涉儀ER-230進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。

↓ ↓

（圖3 對(duì)SiC標(biāo)準(zhǔn)片進(jìn)行30次粗糙度Sq，取1σ的標(biāo)準(zhǔn)偏差）

RMS重復(fù)性0.005nm

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（圖4 對(duì)12μm馬爾標(biāo)準(zhǔn)塊進(jìn)行30次高度測(cè)量）

取1σ的極值偏差/平均值，臺(tái)階高度重復(fù)性0.07%

取1σ的平均值/標(biāo)準(zhǔn)值，臺(tái)階高度準(zhǔn)確性0.3%

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（圖5 對(duì)接近5000μm的產(chǎn)品進(jìn)行掃描）

高度 4815μm

（圖5 記錄掃描時(shí)間）

掃描速度400μm/s

15分鐘驗(yàn)證完畢，此技巧你掌握了么