如何驗證白光干涉儀精度丨科普篇

粗糙度、臺階高度是白光干涉儀最擅長的測量工作。

小優(yōu)博士也重點(diǎn)說明過在此類測量應(yīng)用的優(yōu)勢。

白光干涉的超高精度，會讓很多評估者無從下手。

怎么驗證一臺白光干涉儀的高度測量能力？

小優(yōu)博士給您支招。

非常簡單！

只需準(zhǔn)備“SiC硅片” 和 “標(biāo)準(zhǔn)臺階塊”

15分鐘驗證3大參數(shù)即可！

a、RMS重復(fù)性

b、臺階重復(fù)性、臺階準(zhǔn)度

c、掃描量程、掃描速度

一、RMS重復(fù)性

RMS重復(fù)性：ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)下，測量兩次SiC表面粗糙度Sq；

取Sq/√2 的差值，或30取1σ的平均偏差。

（圖1 SiC晶圓）

二、臺階重復(fù)性、準(zhǔn)度

臺階重復(fù)性：測量標(biāo)準(zhǔn)臺階高度的重復(fù)偏差；

一般測量30次，取1σ的極值偏差/平均值。

臺階準(zhǔn)度：測量值相對標(biāo)準(zhǔn)值的偏差；

一般測量30次，取1σ的標(biāo)準(zhǔn)偏差/標(biāo)準(zhǔn)值。

（圖2 標(biāo)準(zhǔn)臺階塊）

三、掃描量程、速度

硬件“壓電陶瓷“直接決定了量程和速度；

驗證方法:實測樣品確定量程，使用秒表計算時間。

====

普通實驗室環(huán)境下

小優(yōu)博士使用優(yōu)可測Atometrics白光干涉儀ER-230進(jìn)行實驗。

↓ ↓

（圖3 對SiC標(biāo)準(zhǔn)片進(jìn)行30次粗糙度Sq，取1σ的標(biāo)準(zhǔn)偏差）

RMS重復(fù)性0.005nm

--

（圖4 對12μm馬爾標(biāo)準(zhǔn)塊進(jìn)行30次高度測量）

取1σ的極值偏差/平均值，臺階高度重復(fù)性0.07%

取1σ的平均值/標(biāo)準(zhǔn)值，臺階高度準(zhǔn)確性0.3%

--

（圖5 對接近5000μm的產(chǎn)品進(jìn)行掃描）

高度 4815μm

（圖5 記錄掃描時間）

掃描速度400μm/s

15分鐘驗證完畢，此技巧你掌握了么