三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x和激光干涉儀不是同一類型的東西,功能完全不一樣。
首先說(shuō)一下三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x,三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x主要是用來(lái)測(cè)量各類大小工件的輪廓尺寸,有固定式的,也有關(guān)節(jié)臂式的,其中移動(dòng)橋式是三坐標(biāo)最為廣泛的一種結(jié)構(gòu)形式。這種結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是開(kāi)敞性好,視野開(kāi)闊,上下零件方便,運(yùn)動(dòng)速度快,精度高。Mars移動(dòng)橋式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)配備高精度的導(dǎo)軌、測(cè)頭和控制系統(tǒng),并結(jié)合計(jì)算機(jī)程序來(lái)自動(dòng)控制檢測(cè)流程,從而計(jì)算輸出測(cè)量結(jié)果,支持測(cè)頭更換架以及影像相機(jī),同時(shí)支持精密轉(zhuǎn)臺(tái)等,能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測(cè),也可以對(duì)軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測(cè)量。
激光干涉儀它不是測(cè)工件尺寸的,它主要是測(cè)量機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備的定位精度和重復(fù)定位精度,目前代表品牌是chotest。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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測(cè)量?jī)x
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干涉儀
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