硅片電阻率測試儀TS1700電量輸出/測量:內(nèi)置直流穩(wěn)壓電源和精密電流測量單元,測量不確定度達0.1%。
硅片電阻率測試儀TS1700每次測量時電壓值均可穩(wěn)定在500 mV,并同步測量回路電流,范圍:0~1.2 A。
觸頭執(zhí)行結(jié)構(gòu):由2根螺旋鉆頭、10根帶觸頭的金屬桿、施壓裝置等組成。
標(biāo)配觸頭(標(biāo)準(zhǔn)推薦):單個觸頭面積約為64.5 mm2, 10個總面積達645 mm2。
選配觸頭(選配件):單個觸頭面積約為100 mm2, 10個總面積達1000 mm2。
導(dǎo)電橡膠觸頭(TS1700-B):該觸頭為面積為645 mm2的導(dǎo)電橡膠,可實現(xiàn)觸頭與樣品軟接觸。與富蘭克林法相比具有更高的重復(fù)性和可比性。
鉆頭具有很好的銳度,可在一定壓力下輕易刺破電工鋼表面涂層。
鉆頭、觸頭金屬桿均由電動缸驅(qū)動,在垂直方向同步移動,以接觸樣品進行測試。
測試時,單個觸頭表面壓力約2 N/mm2,配壓力傳感器實時監(jiān)控所施加的壓力。
樣品托盤:由電機驅(qū)動,可帶動樣品前后移動,以尋找多個不同的測試區(qū)域,獲取多組測試數(shù)據(jù)。通過軟件可設(shè)置1~5組測試點。
系統(tǒng)驗證標(biāo)準(zhǔn)器:配備標(biāo)準(zhǔn)電阻線路板,用于系統(tǒng)的日常驗證。
移動式測控臺:通過液晶觸摸屏設(shè)置測試參數(shù),觀察測試狀態(tài)及結(jié)果,使用便捷。
專業(yè)測試軟件:設(shè)置參數(shù)和放置樣品外,其他測試過程可通過軟件自動完成。
軟件可實時顯示測試的電壓值、電流值、壓力值,并記錄每組測試數(shù)據(jù)。
硅片電阻率測試儀TS1700硅片電阻率測試儀TS17005. 硅片電阻率測試儀TS1700試樣要求
樣品尺寸:( 300 mm~500 mm ) × ( 200 mm ) (長×寬)
樣品厚度:0.1 mm~1.0 mm
其他要求:試樣表面應(yīng)清潔、平整、無斑痕、劃痕
6. 硅片電阻率測試儀TS1700一般技術(shù)規(guī)格
供電電源 AC ( 220 ± 22 ) V,( 50 ± 2 ) Hz
溫度性能 工作溫度:0°C~40°C;儲存溫度:-20°C~70°C
濕度性能 工作濕度:40%~80% R·H不結(jié)露
儲存濕度:< 95% R·H,不結(jié)露
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