案例分享第六期：鉭酸鋰晶圓切割實例

鉭酸鋰的材料特性

鉭酸鋰(LiTaO3，簡稱LT)是一種重要的多功能晶體材料，它具有壓電性、介電性、熱釋電性以及電光效應(yīng)、非線性光學(xué)效應(yīng)和聲光效應(yīng)等重要特性。鉭酸鋰晶體晶片主要原料是高純氧化鉭和碳酸鋰，是微波聲學(xué)器件用的良好材料。

鉭酸鋰晶圓，直徑通常為100±0.2mm，厚度為0.2~0.25mm。

鉭酸鋰的應(yīng)用

經(jīng)過拋光的LT晶片廣泛用于諧振器、濾波器、換能器等電子通訊器件的制造，尤其以它良好的機電耦合、溫度系數(shù)等綜合性能而被用于制造高頻聲表面波器件，并應(yīng)用在手機、對講機、衛(wèi)星通訊、航空航天等許多高端通訊領(lǐng)域。

鉭酸鋰晶圓的切割要點

鉭酸鋰(LiTaO3)晶圓，具有硬脆的明顯特征，受到外力碰撞時容易產(chǎn)生應(yīng)力而導(dǎo)致裂片，在薄片晶圓上表現(xiàn)尤為明顯，所以切割鉭酸鋰晶圓適合采用較粗的金剛石尺寸和較低的金剛石濃度。

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