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10.1.1 柵極全環(huán)繞器件∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-03-18 10:59 ? 次閱讀

Gate-all-around(GAA)Device

撰稿人:清華大學(xué) 許軍 梁仁榮

https://www.tsinghua.edu.cn

審稿人:北京大學(xué) 張興 蔡一茂

https://www.pku.edu.cn

10.1 非傳統(tǒng)新結(jié)構(gòu)器件

第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展

《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊

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