9.6.8 化學(xué)機(jī)械拋光墊和化學(xué)機(jī)械修整盤∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》
Chemical Mechanical Polishing Pad and Conditioning Disc
http://page.anjimicro.com
審稿人：浙江大學(xué) 余學(xué)功
https://www.zju.edu.cn
9.6 工藝輔助材料
第9章 集成電路專用材料
《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊(cè)
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