基于MEMS技術(shù)的流量傳感器，越早了解越好！

溫度、壓力、流量是工業(yè)中3大檢測參數(shù)，其中，流量測量有很長的歷史。早在古代，由于水利和農(nóng)業(yè)灌溉的需要，人們就開始關(guān)注流量測量。

近年來，隨著對微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的深入研究和取得的進(jìn)展，傳統(tǒng)的工業(yè)和流體力學(xué)研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發(fā)展，微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方向。

煒盛科技自主研發(fā)的微流量傳感器于2012年即研發(fā)成功并取得相關(guān)專利，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠，符合我司參與起草的《JB/T 13111-2017 熱式質(zhì)量流量傳感器》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)

精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好

可精確測量極小流量

經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測，具有很好的精度與重復(fù)性。在工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)、產(chǎn)品質(zhì)量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節(jié)約等方面發(fā)揮著重要作用。

流量傳感器在醫(yī)療領(lǐng)域，如：醫(yī)院病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機(jī)、制氧機(jī)、麻醉機(jī)中有廣泛的應(yīng)用。

在儀器儀表領(lǐng)域，原子分光光度計(jì)、氣相色譜、氣密檢漏儀、風(fēng)速計(jì)等設(shè)備中，也會用到流量傳感器。