陸芯精密切割機解說UVLED解膠機在晶圓芯片行業(yè)的應(yīng)用及原理

UVLED解膠機是用來解除UV膠膜和切割膜膠帶之間粘結(jié)的全自動解膠設(shè)備。許多晶圓半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過程中，需要先把晶圓切片用劃片膠固定起來，然后進行劃片加工處理，最后通過UVLED光源對固定好的晶圓切片進行照射，使晶元切片上的UV膠膜發(fā)生硬化，從而降低與切割膜膠帶之間的粘性，從而達到輕松將膠帶從晶圓切片上取下來，UVLED解膠機完美的解決了晶圓行業(yè)、玻璃制品和陶瓷切割上的解膠工序。

UVLED解膠機采用箱體式結(jié)構(gòu)，機器內(nèi)部配有UVLED紫外光固化設(shè)備，可根據(jù)客戶的使用需求，定制波段大小、照射面積、光照強度等參數(shù)。采用智能顯示屏控制系統(tǒng)，可隨意調(diào)節(jié)功率大小、照射時長，使用非常方便！同時UV脫膠機箱口采用手拉式結(jié)構(gòu)，方便晶圓切片的放置和取出；另配有門禁感應(yīng)裝置，拉動箱口門把手時，UVLED光源設(shè)備會自動停止，避免紫外光源的外溢。

UVLED解膠機還有哪些優(yōu)勢之處呢？UVLED紫外光是單波段“冷光源”設(shè)備，被照射基材表面升溫小，有效解決了晶圓行業(yè)在加工處理時產(chǎn)生的熱損害現(xiàn)象。UVLED解膠機的光源設(shè)備使用壽命比較長，平均使用壽命大約在20000h左右，遠超傳統(tǒng)UV汞燈的使用時長。UVLED光源是單波段紫外光，通過電能向光能的轉(zhuǎn)換，光電轉(zhuǎn)換有效率高，可有效節(jié)約電量的使用。不含“汞”污染，工作時不會產(chǎn)生臭氧，影響工作環(huán)境！

陸芯精密劃片機于2022年3月24日下線了公司首臺6寸晶圓尺寸的專用劃片機：XL3252，目前已經(jīng)開始接受全球預(yù)定。

此次陸芯推出的6寸專用精密劃片機，在軟件方面繼承和優(yōu)化了公司最新的軟件技術(shù)，如：工件形狀的識別和功能，更友好人機界面。由于機械結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu)相對最先進的XL-6366要簡單。所以，在設(shè)備后期的維護成本上會更低，這對于只需要用到6寸劃片機的廠商來講無疑是個巨大的福音，并且陸芯在設(shè)備的交貨周期上，也比最先進的設(shè)備交期提前不少。