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      9.5.13 抗反射涂層ARC∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

      深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-02-18 10:12 ? 次閱讀

      Antireflection Coating

      撰稿人：北京科華微電子材料有限公司 陳昕

      http://www.kempur.com

      審稿人：復旦大學 鄧海

      https://www.fudan.edu.cn

      9.5 光掩模和光刻膠材料

      第9章 集成電路專用材料

      《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊

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      • 集成電路
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