硅片切割過程中，別忘了超純水和CO2起泡器的影響力

本篇文章討論超純水和CO2起泡器對硬刀的影響。我們生產(chǎn)過程中為了防止硅IC加工時產(chǎn)生靜電，通常使用CO2起泡器去除靜電。 根據(jù)CO2起泡器的電阻率，切割水有時會對刀刃（接合部）產(chǎn)生腐蝕，導(dǎo)致無法進(jìn)行穩(wěn)定的加工。

下面將通過三組實驗，對比超純水和CO2起泡器對刀片的影響。

三組實驗

實驗條件的設(shè)定

實驗條件

實驗觀察對象

不同條件下的實驗結(jié)果

實驗前刀片的情況

實驗一 72小時空轉(zhuǎn)使用超純水

實驗結(jié)果：

鋁（輪轂）被腐蝕，溶出的鋁粘附在刀刃上。刀刃的機(jī)器側(cè)被輕微腐蝕。刀片的操作側(cè)沒有被腐蝕，因為它被氧化鋁覆蓋。

PS：超純水（16MΩ.cm 或更高，雜質(zhì)為 1ppb 級）被稱為饑餓水，接觸材料會發(fā)生 ppb 級的洗脫。

實驗二 72小時空轉(zhuǎn) 使用超純水+CO2起泡器

實驗結(jié)果：

鋁（輪轂）被腐蝕，刀刃（機(jī)器側(cè)+操作側(cè)）都被腐蝕。

PS: PH值4-8之間鋁（輪轂）不會被腐蝕，但是鎳基體在PH值低于6（含）就會被腐蝕。

實驗三 72小時持續(xù)切割 使用超純水+CO2起泡器

實驗結(jié)果：

鋁（輪轂）和刀刃（機(jī)器側(cè)+操作側(cè)）都沒有被腐蝕。

原因：

加工硅時產(chǎn)生的污染物（切削粉塵）粘附在刀片上，刀片被 SiO2薄膜覆蓋。

實驗結(jié)論

如果長時間不進(jìn)行加工，請停止切割水。 尤其是當(dāng)使用輔助起泡器時，即使pH值在6左右，刀片在空轉(zhuǎn)過程中也可能被腐蝕。因此，長時間等待過程中，應(yīng)關(guān)閉切割水。

補(bǔ)充說明：

空轉(zhuǎn)狀態(tài)指的是在實際開始加工之前，同時開啟主軸和切割水大約 30 分鐘的待機(jī)狀態(tài)。 這樣做是為了能夠以穩(wěn)定的精度操作機(jī)器（暖機(jī)）。

更換刀片后，請務(wù)必在安裝前將主軸空轉(zhuǎn) 10 分鐘。 如果空轉(zhuǎn)（暖機(jī)時間）不足，安裝位置可能會有偏差。

西斯特科技

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