1. 理想成像和像差從幾何光學的角度看,光學系統(tǒng)只對被成像物體進行放大或縮小,物平面上的一點經過透鏡的作用,變成像平面上的一點,稱為“點點成像”,或“理想成像”,像和物具有等同的清晰度,分辨率為無限高,相應的系統(tǒng)稱為理想光學系統(tǒng)。
圖1. 理想成像和衍射受限
像差和彌散圓:一個物點經過實際成像鏡頭形成的像不再是點像,具有彌散,稱為“像差”。像差的主要原因為:
?鏡頭有限孔徑光欄( F 數)限制,稱為“衍射受限”(diffraction-limited);
?單色光照射,由設計、材料、加工、調試不完善形成的像差(單色光像差);
?寬波段光波(多色光)照射形成的像差(色差)。
?在像差不太嚴重時,彌散斑近似為圓形,稱彌散圓。光學設計軟件ZEMAX給出彌散圓的半徑( RRMS :RMS radius)
圖.2 實際光學系統(tǒng)的彌散斑
2. 衍射受限成像(diffraction limited imaging)
?從物面上任意一點發(fā)出的光波,攜帶著該物點的信息,本來是向著所有方向發(fā)射的,但成像鏡頭都有孔徑光欄,限制了物點發(fā)出的光束,只接收孔徑角2u 范圍內的光束進入系統(tǒng)并傳遞,參與成像。超出該孔徑的光束通不過透鏡。
?從信息論的觀點看,有限孔徑形成信息的損失,光波在透鏡邊緣的衍射(又稱“繞射”)使波面邊緣發(fā)生畸變。孔徑角2u越小,信息的損失越大。
圖3. 衍射受限圖示
?一個設計、材料、加工、裝配調試都完美的鏡頭(無像差鏡頭),僅由于孔徑限制形成的像差稱“衍射受限”像差。其彌散斑半徑為:
其中n為折射率,F為F數,F=f/D , D是入射孔徑大小, f為焦距,u為孔徑角,相關圖形稱艾里斑(Airy disk)。該系統(tǒng)稱為“衍射受限光學系統(tǒng)”,是實際光學系統(tǒng)的極限。
圖.4 艾里斑 ?我們注意到:即使設計加工都完美,透鏡仍然實現不了“點點成像”,物點的像是一個艾里斑(圖4)。 ?也正由于設計、材料、加工、裝配調試的誤差,實際鏡頭的彌散斑大于甚至遠大于艾里斑。只有精密顯微物鏡、望遠物鏡、高級光刻制版鏡頭中心視場(0視場)的彌散圓接近艾里斑。3. 彌散圓和像質評價?彌散斑表示實際光學系統(tǒng)(像差光學系統(tǒng))對于衍射受限系統(tǒng)的偏離,常用彌散斑來評價實際光學系統(tǒng)。 ?對彌散斑的要求是盡可能高的能量集中度,具體來講,要求: □RRMS 盡量??; □彌散斑盡量接近圓(旋轉對稱),參見圖5。
圖5. CCD鏡頭不同視場的彌
?RRMS 、最小分辨長度、CCD/CMOS像素 □設為探測圖像的CCD/CMOS相機的像素尺寸,經驗表明:
□在能量相對集中,彌散圓比較對稱的情況下,最小分辨長度(偏緊估計)
□相應的傳遞函數為
□例如,當像素尺寸時,高性能鏡頭要求。中等性能鏡頭,相應傳遞函數值為50/mm(每毫米50線對)。?
□不同視場的彌散圓大小一般不相同,應分別考慮。例如圖5。
4. 影響成像質量的因素 ?影響因素為:設計、材料、加工、裝配調試。 ?設計: □光學設計人員首先必須了解客戶提出的技術指標,主要為使用波段、焦距值、孔徑、視場、最近物距、放大率、景深、畸變、分辨率等。 □在實際使用過程中對一個光學系統(tǒng)的評價是非常廣泛的,不但要求它有理想的成像質量,還需考慮體積、重量、外形、適應性、牢固度、工藝性能、材料選用、造價等等。 □體積、重量等要求,有時直接地影響著實際使用價值。過分追求某一指標而忽略其它指標都是片面的。 □在滿足技術指標的前提下,要求盡可能簡單、元件數要盡量少,結構要緊湊,采用膠合鏡,盡量使用常用玻璃。 □盡量采用已有的典型設計,或略作修改,例如CCD/CMOS鏡頭:雙膠合、三片式、天賽、雙高斯及其變形;顯微物鏡一般就是李斯特型、阿貝型等。一般不鼓勵創(chuàng)新。
圖5. 典型CCD/CMOS物鏡
圖6.典型顯微物鏡
□最好的設計指標,如果在工藝上,材料的物理、化學性能上無法保證,也無法批量生產。
□以上要求都不是絕對的,必要時可采用非球面、特種玻璃、大像差等特殊設計。
?加工:
□近年來,機加工設備自動化程度、加工水平普遍提高,加工達不到指標的情況不多。
□先進光學加工設備雖已使用,但仍有較多傳統(tǒng)老設備在使用。在一些小廠,和一些小批加工訂單,傳統(tǒng)工藝仍在大量使用,檢驗不嚴格。
□機加工的公差帶已提升1到2級,光學加工仍在沿用原來的公差帶。
□對鏡頭成像質量影響,依次為:鏡框跳動、鏡片安裝傾斜、外 圓 直 徑 (外圓和鏡框的間隙)、透鏡中心偏(concentricity)、厚度、光圈、光潔度。
?裝配調試:
□裝配調試是鏡頭生產的最后一道工序,要求:
☆環(huán)境潔凈;
☆裝配工具工裝(旋轉臺、鏡片承載臺、小鏡片的吸盤、自動改錐、壓圈旋緊器);
☆近代批量裝配的概念為:鏡片、鏡框公差恰當,原則上鏡頭不需調試,只需檢測;
☆裝配用膠軟硬恰到好處、不產生應力。
□目前的問題為:
☆缺少合理的裝配工藝,缺乏裝配工藝工程師。
☆裝配的一致性較差;
☆鏡片松緊程度不一致,過松不能用,過緊產生應力。
☆裝配用膠不一定合適;
☆潔凈度差距大。
□目前水平,基本上不能承擔偏振要求高的產品裝配,以及高分辨率鏡頭,例如:
☆偏振顯微鏡物鏡;
☆的CCD/CMOS物鏡;?
☆半導體檢測鏡頭(光刻、制版鏡頭)。
?材料:折射率、阿貝數偏差
□折射率誤差引起焦距相對誤差:
在折射率低的玻璃、鏡片數較多時這個問題相對突出。
5. 高品質成像:
分辨率足夠高、反差適中、層次豐富、雜光少、彩色還原正確、畸變符合要求(一般≤5%,高性能≤1%)、畫面中各處照度均勻、畫面的“調子”軟硬恰當、景深夠用、景物質感強,適合批量生產,就是高品質的成像物鏡。
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原文標題:光學成像質量評價
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