MEMS VC（可變電容）加速度計的功能和操作

為了發(fā)揮DC響應(yīng)的可變電容MEMS加速度計的優(yōu)勢，輸出顯示設(shè)備必須處于DC直流耦合狀態(tài)。如果使用調(diào)理器供電，調(diào)理器也應(yīng)該為DC直流耦合。請咨詢制造商或查看產(chǎn)品手冊的具體細節(jié)。因為PCB?大多數(shù)VC MEMS加速度計包括內(nèi)置的電壓調(diào)節(jié)器，它們也可以用任何6-30V電源供電，無任何不良影響。

由于VC MEMS加速度可以測量靜態(tài)（恒定）加速度，DC偏置電壓會由于傳感器安裝位置沒有相對于地球重力對齊而受影響。當(dāng)加速度計的敏感軸與地球重力垂直，輸出等于PCB?出廠校準證書上面標注的0g的偏置電壓。如果加速度計的敏感軸與地心重力對齊，輸出就等于偏置電壓﹢1g的輸出。

VC MEMS 傳感器內(nèi)部電路包括電壓調(diào)節(jié)器。這樣允許傳感器可以由任何DC恒壓源供電。PCB?提供型號482C27（4通道）483C28（8通道）VC MEMS調(diào)理器。其他可接受的電源單元包括汽車或船舶用的電池，和直流電壓實驗室用品和低壓PC板電壓電源。

電纜屏蔽需要在一端終止以確保地回路不會被誘導(dǎo)。通常，電纜的屏蔽連接到傳感器的外殼。如果傳感器安裝到隔離墊（或者其他形式的電氣隔離）將它與被測結(jié)構(gòu)分開，則屏蔽可以連接到信號調(diào)理器的信號地或者數(shù)據(jù)采集的終端。否則，電纜屏蔽應(yīng)該在儀器終端懸?。ú贿B接）。

MEMS VC加速度靈敏度的驗證

由于這些傳感器用于關(guān)鍵測量,應(yīng)該驗證下它的靈敏度以確保在規(guī)格范圍內(nèi)。使用地球重力加速度作為參考加速度可以進行一個精確的靜態(tài)校準。首先，為使加速度計放置在+1g的方向，所以將基座/底座放置在安裝平面上，型號朝上（如圖3所示）。此時方向，加速度計正在經(jīng)歷+1g的加速度。使用萬用表DVM記錄DC直流電壓輸出。將傳感器180翻轉(zhuǎn)。基座/底座朝上，傳感器型號朝下（如圖3所示）。在此方向傳感器受到-1g的加速度。記錄DC直流電壓輸出。使用下面的公式計算加速度計的靈敏度。靈敏度= [(+1g) – (-1g)] / 2

審核編輯：郭婷