電子行業(yè)應(yīng)該怎樣對(duì)靜電壓進(jìn)行檢測(cè)？

如今，許多類型的微電子行業(yè)需要有效控制生產(chǎn)不良率和質(zhì)量可靠性問題，包括集成電路制造（晶圓制造和芯片密封測(cè)試）、平板顯示制造（前段TFTFab、中段LCD成盒組裝/OLED組裝后顯示模塊，MEMS（前段晶圓制造與后段器件封裝）等等。

以工廠人體靜電引起的微電子設(shè)備問題為例（HumanBodyModel，人體靜電放電模型)，讓我們檢查人體靜電分析與人體靜電相關(guān)的技術(shù)認(rèn)知和實(shí)踐方法。

基于這種情況LED靜電失效機(jī)理(正向?qū)o電放電)，人體放電產(chǎn)生的放電電流范圍越大，這SMDLED電性失效的風(fēng)險(xiǎn)越高(通常SMDLED工作電流幅值幾毫安)（LCD屏幕模組工廠中LED靜電損傷常稱為壞燈—即通低電流不再發(fā)光)；

因此，要有效保護(hù)SMDLED不會(huì)被工作人員身體上的靜電放電“擊穿”，就必須將工作中操作人員的人體靜電壓管控得足夠低（由LED承載電流*確定人體皮膚電阻)。

因此，在工廠的靜電保護(hù)實(shí)踐中，必須做的是檢測(cè)人體靜電帶電的真實(shí)水平，即檢測(cè)人體靜電的有效方法，以確認(rèn)工廠當(dāng)前的人體靜電控制措施是否足夠有效。如果您不知道怎樣檢測(cè)，可以來看看深圳斯泰科微的靜電壓傳感器和人體行走電壓測(cè)試儀，多款產(chǎn)品皆可滿足您的需求。

現(xiàn)實(shí)情況是，相當(dāng)多的電子制造工廠采用基于國(guó)際工業(yè)的人體靜電壓檢測(cè)方法ESD標(biāo)準(zhǔn)（美標(biāo)ANSI/ESDS20.20、歐標(biāo)IEC61340-5-1)測(cè)試方法，即借助CPM設(shè)備（Charged Plate Monitor，靜電充電板測(cè)試儀）。

那么，這種檢測(cè)人體靜電（靜電壓）的方法真的能反映人體靜電帶電量嗎？如果人體靜電檢測(cè)方法失真，會(huì)對(duì)工廠人體靜電控制的技術(shù)分析和判斷造成一定的干擾或誤差。

只要你了解CPM基于基本的物理分析，可以明確判斷設(shè)備測(cè)量靜電壓及其充電板的電容參數(shù)：

CPM通過其充電板與人體串聯(lián)，人體靜電并聯(lián)20pF由此產(chǎn)生的人體靜電壓必須明顯低于人體原有的靜電壓(人體靜電荷/人體對(duì)地電容)(人體對(duì)地電容一般為100pF左右)，即，CPM通過測(cè)量人體靜電壓獲得的數(shù)據(jù)顯偏小失真。

那么，如何實(shí)現(xiàn)無(wú)失真檢測(cè)人體靜電帶電的目的呢？

其實(shí)有CPM方法檢測(cè)人體靜電壓，即消除靜電壓測(cè)量?jī)x器并聯(lián)電容的影響，即用非接觸式靜電壓計(jì)測(cè)量人體皮膚（如手掌）的靜電壓。

因此，通過上述人體靜電對(duì)SMDLED根據(jù)對(duì)放電機(jī)制和人體靜電壓檢測(cè)方法的分析，電子工廠靜電保護(hù)實(shí)踐中還有許多其他內(nèi)容需要重新檢測(cè)工廠目前的做法是否合理，是否存在偏差。

審核編輯：湯梓紅