激光功率計(jì)是用來測試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時間的平均功率的儀器。常用到激光能量計(jì),用來探測重復(fù)脈沖激光的單發(fā)能量和單脈沖激光的能量。Ophir 的熱電堆型激光功率計(jì)通過熱電堆結(jié)構(gòu)將光能轉(zhuǎn)換成熱量,再轉(zhuǎn)換為電信號輸出,通過校準(zhǔn)來精確測量激光功率的大小。
激光功率計(jì)一般由探頭和顯示設(shè)備組成,激光功率計(jì)探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型(thermal)、光電二極管型(PD:Photodiode)、以及包含兩種傳感器的綜合探頭(RP),激光能量計(jì)則有熱釋電傳感器(PE:Pyroelectric)和熱電堆(Thermal)傳感器探頭。
激光探頭是一個涂有熱電材料的吸收體,熱電材料吸收大部分的光能量并轉(zhuǎn)化成熱量,只有少部分反射。吸收與反射比例與材料的光譜響應(yīng)曲線有關(guān),吸收體的儲熱體和它的厚度決定了熱量傳輸?shù)教筋^的速度和反應(yīng)時間。探頭溫度變化,能夠產(chǎn)生電流,電流通過薄片環(huán)形電阻轉(zhuǎn)變成電壓信號傳輸出來。
功率計(jì)標(biāo)定的目的,是校準(zhǔn)自身測量精度,保證測量數(shù)值在功率計(jì)使用報告的誤差范圍內(nèi),從而保證功率計(jì)正常的使用精度。功率計(jì)標(biāo)定采用第三方功率計(jì)來測量,根據(jù)出廠標(biāo)定報告,采用不同的功率,在不損壞功率計(jì)的前提下,檢驗(yàn)功率計(jì)實(shí)際標(biāo)定的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
功率測量,是考慮系統(tǒng)和隨機(jī)誤差基礎(chǔ)上,獲取功率真實(shí)值的一個過程,存在一定的功率不確定性。對于功率測量,存在兩種功率,一種是準(zhǔn)確度,即實(shí)測值與真實(shí)值之間的偏差;另一種是功率穩(wěn)定性,即反復(fù)同一條件測量的功率波動范圍。
激光功率和能量計(jì)主要用來測量光源的輸出。無論光發(fā)射是來源于弱光源(如熒光),還是來源于高能量的脈沖激光器,功率和能量計(jì)都是實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)部門或是工作現(xiàn)場等多種應(yīng)用環(huán)境中必不可少的工具。
雖然功率計(jì)和能量計(jì)是分別提供的,但隨著能夠適用大量不同類型的光學(xué)傳感器的通用型儀表盤或顯示裝置的發(fā)展,它們也被合起來稱作單獨(dú)的一類儀器——功率和能量計(jì),或PEM。儀器所采用的光學(xué)傳感器的類型,決定了其能測量光功率還是光能量,通常單位分別瓦特(W)或焦耳(J)。
具體來講,功率計(jì)能夠測量連續(xù)波(CW)或者重復(fù)脈沖光源,其所使用的傳感器通常是熱電堆或光電二極管。能量計(jì)則通常用于測量脈沖激光,即單脈沖或者重復(fù)脈沖光源,其所使用的傳感器包括熱釋電、熱電堆,或者帶有專門為測量脈沖光源而設(shè)計(jì)的電路的光電二極管。
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