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上海技物所在超大面陣紅外探測(cè)器冷平臺(tái)支撐結(jié)構(gòu)方面取得進(jìn)展

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-03-21 13:58 ? 次閱讀

為滿足拼接式超大面陣型紅外探測(cè)器的空間應(yīng)用需求,超大冷平臺(tái)支撐的設(shè)計(jì)需要足夠的剛度以滿足超大面陣紅外探測(cè)器組件的力學(xué)環(huán)境振動(dòng)要求,同時(shí)支撐結(jié)構(gòu)需要具有較高的熱阻值,減少冷平臺(tái)通過支撐的傳導(dǎo)漏熱量,以滿足冷平臺(tái)的高溫度均勻性要求。這些難點(diǎn)都對(duì)超大面陣?yán)淦脚_(tái)的支撐結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)提出了新的挑戰(zhàn)。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所研究團(tuán)隊(duì)在《紅外與激光工程》期刊上發(fā)表了以“超大面陣紅外探測(cè)器冷平臺(tái)支撐結(jié)構(gòu)研究”為主題的文章。該文章第一作者為張陽,主要從事探測(cè)器低溫封裝技術(shù)方面的研究;通訊作者為李雪研究員,主要從事新型短波紅外探測(cè)器組件以及紅外組件集成技術(shù)方面的研究。

該文章根據(jù)超大規(guī)模的面陣紅外探測(cè)器的冷平臺(tái)力學(xué)和熱學(xué)性能要求,提出了一種對(duì)稱式八桿的冷平臺(tái)支撐結(jié)構(gòu),并對(duì)支撐結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,利用氧化鋯陶瓷的低熱導(dǎo)率、高剛度等優(yōu)點(diǎn),解決了超大冷平臺(tái)組件的高力學(xué)性能需求和低漏熱要求的問題,設(shè)計(jì)出了可適用于各種類型的超大規(guī)模冷平臺(tái)的支撐結(jié)構(gòu)。

冷平臺(tái)支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

某航天項(xiàng)目的探測(cè)器焦面規(guī)模達(dá)到6 k×6 k,冷平臺(tái)面積達(dá)到40000 mm2,雖然冷平臺(tái)采用新型的陶瓷材料,但是最終的冷平臺(tái)以及冷平臺(tái)上探測(cè)器模塊、輻射屏等結(jié)構(gòu)的總質(zhì)量依然達(dá)到3 kg。超大規(guī)模面陣紅外探測(cè)器的冷平臺(tái)組件結(jié)構(gòu)如圖1所示,主要由探測(cè)器模塊、冷平臺(tái)、支撐結(jié)構(gòu)、底板等結(jié)構(gòu)組成。

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圖1 超大規(guī)模面陣焦平面冷平臺(tái)組件結(jié)構(gòu)示意圖

隨著冷平臺(tái)面積、質(zhì)量的增加,支撐結(jié)構(gòu)的剛度也需要提高,因此其橫截面積不可避免地增加,但是支撐結(jié)構(gòu)的兩端,一端為100 K以下溫度的冷平臺(tái),另一端則為室溫端。兩端溫差較大,因此會(huì)產(chǎn)生不小的通過支撐的傳導(dǎo)漏熱。因此在對(duì)支撐機(jī)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí),既需要考慮組件的結(jié)構(gòu)剛度,也不能忽視因此產(chǎn)生的漏熱量增加?;陧?xiàng)目的杜瓦漏熱要求,通過支撐的傳導(dǎo)漏熱要求在室溫條件下小于0.5 W的漏熱量。其次超大規(guī)模面陣紅外焦平面組件需要具有較高的環(huán)境適應(yīng)性,根據(jù)工程經(jīng)驗(yàn),冷平臺(tái)組件的力學(xué)性能要求,組件的共振頻率要求300 Hz以上,需要通過30 g的空間力學(xué)載荷測(cè)試、總均方根為9 g RMS的XYZ三個(gè)方向的隨機(jī)振動(dòng)等力學(xué)環(huán)境試驗(yàn)。

文中采用有限元仿真分析的方法,對(duì)不同支撐結(jié)構(gòu)的冷平臺(tái)組件進(jìn)行模態(tài)分析、30 g靜力學(xué)載荷分析、隨機(jī)振動(dòng)分析。并根據(jù)組件的模態(tài)基頻,靜力學(xué)載荷下的最大應(yīng)力,支撐結(jié)構(gòu)的熱阻等,綜合評(píng)價(jià)各組件的力學(xué)性能和熱學(xué)性能。為支撐結(jié)構(gòu)的參數(shù)選擇提供依據(jù)。支撐結(jié)構(gòu)的初步設(shè)計(jì)如圖2所示。可優(yōu)化的參數(shù)分別有支撐的高度H、寬度M、厚度N,支撐的安裝傾角θ以及支撐結(jié)構(gòu)的材料。

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圖2 冷平臺(tái)組件支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)圖

為增大支撐結(jié)構(gòu)的熱阻,一是可以增大支撐結(jié)構(gòu)的傳熱路徑L或是減小支撐結(jié)構(gòu)的橫截面積A(傳熱面積),但是這會(huì)降低支撐的結(jié)構(gòu)剛度,不利于組件的力學(xué)性能;二是可以選擇低導(dǎo)熱、高剛度的材料作為支撐材料。表1為幾種常見的封裝材料和新型氧化鋯材料的性能參數(shù)。其中熱導(dǎo)率為300~77 K之間的平均值。文中的仿真材料參數(shù)也采用表1的數(shù)據(jù)。

表1 杜瓦封裝材料參數(shù)

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由上述分析可知,系統(tǒng)的固有頻率與支撐結(jié)構(gòu)的長度L,寬度M和厚度N,支撐與XOY面(安裝板)的傾角θ以及支撐的高度H有關(guān),支撐的導(dǎo)熱特性與支撐的導(dǎo)熱路徑L,支撐的截面積A有關(guān)。因此下文將基于有限元分析,通過改變支撐的這些參數(shù),并對(duì)仿真結(jié)果進(jìn)行對(duì)比分析,為支撐結(jié)構(gòu)的參數(shù)選擇提供依據(jù)。

支撐結(jié)構(gòu)參數(shù)變化對(duì)組件的影響

圖3匯總了支撐結(jié)構(gòu)的四項(xiàng)參數(shù)對(duì)于冷平臺(tái)組件的影響。圖3(a)為材料和支撐寬厚比對(duì)于組件的影響,控制支撐的橫截面積為7.5 mm2,寬厚比范圍為從1.875~12,選取7個(gè)對(duì)比組。仿真分析結(jié)果如圖所示,可以發(fā)現(xiàn),隨著寬厚比增大,冷平臺(tái)組件的最大靜力學(xué)應(yīng)力也逐漸增大,然后趨于平穩(wěn),存在一個(gè)最大值,應(yīng)力最小值為40.54 MPa,最大值為50.16 MPa,應(yīng)力值增幅為23.7%。隨著寬厚比的增大,冷平臺(tái)組件的模態(tài)基頻也從546.23 Hz增加至569.8 Hz,增幅為4.3%。對(duì)于冷平臺(tái)組件的力學(xué)性能而言,組件的最大靜力學(xué)應(yīng)力越小越好,模態(tài)基頻越大越好,這兩個(gè)參數(shù)隨著支撐橫截面的寬厚比增加,呈現(xiàn)相同的增長趨勢(shì),但是靜力學(xué)應(yīng)力的增幅較大,而組件模態(tài)基頻的增幅較小,甚至可以忽略。因此在考慮支撐的可加工性的基礎(chǔ)上,橫截面的選取低寬厚比的方案,對(duì)于組件的力學(xué)性能優(yōu)化更好。

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圖3 支撐結(jié)構(gòu)寬厚比(a)、高度(b)、安裝傾角(c)、材料(d)對(duì)于組件的影響

由圖3(b)、(c)可以看出,隨著支撐安裝高度的增加,支撐結(jié)構(gòu)的熱阻從196 K/W增大至337 K/W,隨著安裝支撐傾角從30°增大到60°,支撐結(jié)構(gòu)的熱阻從317.47 K/W降低到183.29 K/W,這是因?yàn)樵诓煌陌惭b高度下,隨著高度增加,支撐結(jié)構(gòu)的長度會(huì)增加;在相同的安裝高度情況下,隨之支撐傾角的減小,支撐的長度也隨之增大,支撐結(jié)構(gòu)的傳熱路徑增長,從而導(dǎo)致熱阻增大,使冷平臺(tái)組件的傳導(dǎo)漏熱減小,有利于冷平臺(tái)上各個(gè)探測(cè)器模塊的高溫度均勻性。但是在相同傾角下,隨著支撐結(jié)構(gòu)的安裝高度增加,冷平臺(tái)組件的模態(tài)基頻從590 Hz降低到437 Hz,降低幅度約為25%。并且隨著支撐結(jié)構(gòu)安裝高度的增加,冷平臺(tái)組件的整體結(jié)構(gòu)尺寸也會(huì)隨之增加,導(dǎo)致最終的探測(cè)器杜瓦組件的尺寸也會(huì)變大,最終整體重量會(huì)增加。在相同的支撐高度下,冷平臺(tái)組件的模態(tài)基頻隨著支撐傾角的增大,呈現(xiàn)出先增大后減小的趨勢(shì),在傾角為40°左右的位置存在一個(gè)最大值。因此,對(duì)于大規(guī)模冷平臺(tái)的支撐傾角的設(shè)計(jì)時(shí),傾角為40°時(shí),可以使冷平臺(tái)組件的模態(tài)基頻最大。若是需要降低組件的傳導(dǎo)漏熱,則可以通過減小支撐傾角的方式來實(shí)現(xiàn),但是考慮組件的尺寸限制,傾角存在一個(gè)最低值。因此支撐結(jié)構(gòu)的安裝高度、安裝傾角,首先需要在滿足探測(cè)器組件的空間力學(xué)要求的基礎(chǔ)上,綜合冷平臺(tái)組件的模態(tài)基頻、傳導(dǎo)漏熱、組件的輕量化設(shè)計(jì)、組件尺寸等方面考慮,優(yōu)化選擇合適的安裝高度和傾角。

圖3(d)顯示了不同的材料對(duì)于組件的影響,可以發(fā)現(xiàn)采用kovar和TC4材質(zhì)支撐的冷平臺(tái)組件的模態(tài)基頻相近,而采用了氧化鋯材質(zhì)支撐結(jié)構(gòu)的冷平臺(tái)組件的模態(tài)基頻相較于kovar和TC4材質(zhì)提高了22%。相較于kovar材料,TC4和氧化鋯材料的低溫?zé)釋?dǎo)率值較低,因此這兩種材料的支撐結(jié)構(gòu)的熱阻值較大,帶來的漏熱量會(huì)更小。因此不論從力學(xué)性能,還是結(jié)構(gòu)熱阻來看,氧化鋯材料均要優(yōu)于其他兩種材料。

圖4為不同參數(shù)組別的組件基頻、應(yīng)力以及結(jié)構(gòu)熱阻的綜合對(duì)比,圖中每一點(diǎn)代表一組不同參數(shù)的結(jié)構(gòu),X軸表示30 g靜力學(xué)載荷下的組件的最大應(yīng)力,Y軸代表組件的模態(tài)基頻,Z軸代表支撐結(jié)構(gòu)的熱阻值。為了達(dá)到三個(gè)指標(biāo)的最佳設(shè)計(jì)值,結(jié)構(gòu)的代表點(diǎn)須在圖中的立體框內(nèi):基頻>530 Hz、應(yīng)力值<50 MPa、熱阻值>200 K/W。從圖中可以看出一共有四組結(jié)構(gòu)符合要求,從中選取一組作為代表組進(jìn)行實(shí)物驗(yàn)證。

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圖4 不同參數(shù)組別的組件基頻、應(yīng)力以及結(jié)構(gòu)熱阻的綜合分析圖

試驗(yàn)驗(yàn)證

基于以上分析結(jié)果,優(yōu)選一組合適的支撐結(jié)構(gòu)參數(shù),如表2所示。并設(shè)計(jì)實(shí)際的冷平臺(tái)組件結(jié)構(gòu),對(duì)組件進(jìn)行5~2 000 Hz的正弦掃頻試驗(yàn)、總均方根為9 g RMS的XYZ三個(gè)方向的隨機(jī)振動(dòng)試驗(yàn),并與仿真結(jié)果進(jìn)行比較,用以驗(yàn)證仿真方法的準(zhǔn)確性和冷平臺(tái)組件的力學(xué)設(shè)計(jì)與力學(xué)可靠性。

表2 實(shí)際冷平臺(tái)組件的支撐結(jié)構(gòu)參數(shù)

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圖5為冷平臺(tái)組件模態(tài)分析前6階振型圖。冷平臺(tái)組件的第1、2階振型沿水平面的平移振型;第3階振型為冷平臺(tái)沿Z方向平移振型;第4階表示沿Z軸旋轉(zhuǎn)振型;第5、6階表示沿水平面翻轉(zhuǎn)振型。

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圖5 超大規(guī)模冷平臺(tái)組件前六階模態(tài)振型圖

力學(xué)試驗(yàn)裝置如圖6所示。冷平臺(tái)組件分別進(jìn)行了三個(gè)方向的掃頻測(cè)試,X、Y、Z三個(gè)方向的響應(yīng)頻率分別為557、577.12、764 Hz。仿真與測(cè)試結(jié)果對(duì)比如圖7(a)所示,以試驗(yàn)值為基準(zhǔn),可以得出三個(gè)方向的仿真結(jié)果與試驗(yàn)測(cè)試值的誤差為10.6%、6.8%、15%。由于仿真時(shí)約束是在設(shè)置在底板處的固定約束,而實(shí)際測(cè)試時(shí),并無完美的固定約束,因此仿真結(jié)果的組件基頻略微偏大。試驗(yàn)結(jié)果表明,仿真模型可以有效的預(yù)測(cè)實(shí)際結(jié)構(gòu)的模態(tài)頻率。

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圖6 超大規(guī)模冷平臺(tái)組件振動(dòng)測(cè)試過程照片

隨機(jī)振動(dòng)試驗(yàn)的關(guān)鍵測(cè)點(diǎn)的加速度響應(yīng)的放大倍數(shù)的仿真與測(cè)試對(duì)比見圖7(b),分別進(jìn)行了X、Y、Z三個(gè)方向的隨機(jī)振動(dòng)試驗(yàn)。取兩個(gè)典型測(cè)點(diǎn)進(jìn)行仿真和測(cè)試數(shù)據(jù)的對(duì)比,結(jié)果如圖7(b)所示。以試驗(yàn)測(cè)試值為基準(zhǔn),可以得出三個(gè)方向的隨機(jī)振動(dòng)加速度響應(yīng)的放大倍數(shù)的仿真數(shù)據(jù)與試驗(yàn)值的誤差最大為37.8%,最小誤差為3%。X方向的隨機(jī)振動(dòng)測(cè)試時(shí),兩測(cè)點(diǎn)加速度響應(yīng)的放大倍數(shù)分別為4.46、4.35。Y方向的隨機(jī)振動(dòng)測(cè)試時(shí),兩測(cè)點(diǎn)的加速度響應(yīng)分別為4.94、5.16。Z方向的隨機(jī)振動(dòng)測(cè)試時(shí),兩測(cè)點(diǎn)的加速度響應(yīng)分別為3.25、3.53。三個(gè)方向的加速度響應(yīng)倍數(shù)均小于10,表明冷平臺(tái)組件在隨機(jī)載荷的激勵(lì)下,結(jié)構(gòu)的可靠性能夠滿足要求。并且經(jīng)仿真分析驗(yàn)證,支撐結(jié)構(gòu)在100 g的強(qiáng)沖擊響應(yīng)譜作用下,三個(gè)方向的最大應(yīng)力為230 MPa,而氧化鋯陶瓷的屈服極限為650 MPa,能夠通過100 g沖擊試驗(yàn)。

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圖7 超大規(guī)模冷平臺(tái)組件仿真分析及振動(dòng)試驗(yàn)結(jié)果比較

結(jié)論

對(duì)超大規(guī)模面陣紅外探測(cè)器的冷平臺(tái)組件的支撐結(jié)構(gòu)采用了高強(qiáng)度、低熱導(dǎo)率的新型氧化鋯材料并對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),對(duì)支撐結(jié)構(gòu)的參數(shù)進(jìn)行了全方面的仿真對(duì)比分析,通過優(yōu)化支撐結(jié)構(gòu)的寬厚比、高度、傾角以及材料,對(duì)結(jié)構(gòu)的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行取舍,以此平衡超大規(guī)模冷平臺(tái)組件既需要高力學(xué)可靠性,又需要低漏熱,高溫度均勻性的需求。同時(shí),采用文中支撐結(jié)構(gòu)的冷平臺(tái)組件通過了正弦振動(dòng)試驗(yàn)和總均方根為9 g RMS的隨機(jī)振動(dòng)試驗(yàn),且試驗(yàn)結(jié)果與仿真結(jié)果吻合較好,驗(yàn)證了該結(jié)構(gòu)的可行性。為超大規(guī)模紅外探測(cè)器組件的支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提供了指導(dǎo)。

該項(xiàng)研究獲得了中國科學(xué)院重點(diǎn)部署項(xiàng)目(ZDRW-CN-2019-3)和中國科學(xué)院青年促進(jìn)會(huì)項(xiàng)目(2018274)的資助和支持。

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:上海技物所在超大面陣紅外探測(cè)器冷平臺(tái)支撐結(jié)構(gòu)方面取得進(jìn)展

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    北京空間機(jī)電研究所探究超長線列<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測(cè)器</b>拼接<b class='flag-5'>結(jié)構(gòu)</b>

    紅外探測(cè)器的分類

    探測(cè)器都發(fā)揮著越來越重要的作用。本文將為你詳細(xì)介紹紅外探測(cè)器類型。紅外探測(cè)器種類有很多,主要可分為兩大類——熱
    的頭像 發(fā)表于 07-11 16:57 ?2249次閱讀
    <b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測(cè)器</b>的分類

    紅外探測(cè)器:熱探測(cè)器與光子探測(cè)器

    紅外探測(cè)器紅外熱成像技術(shù)領(lǐng)域的核心器件,其主要用于檢測(cè)物體發(fā)出的紅外輻射。按照探測(cè)器原理不同,紅外
    的頭像 發(fā)表于 07-19 17:12 ?2163次閱讀
    <b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測(cè)器</b>:熱<b class='flag-5'>探測(cè)器</b>與光子<b class='flag-5'>探測(cè)器</b>

    紅外探測(cè)器有幾種?如何劃分?

    紅外探測(cè)器的研發(fā)取得了蓬勃的進(jìn)展,各大廠商已經(jīng)生產(chǎn)出了多種類型的紅外探測(cè)器,并且根據(jù)其不同的特性
    的頭像 發(fā)表于 08-02 15:14 ?2419次閱讀
    <b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測(cè)器</b>有幾種?如何劃分?

    華北光電技術(shù)研究所研究不同像元間距紅外探測(cè)器的銦柱生長

    由于大面探測(cè)器的制造難度很大,減小像元間距是實(shí)現(xiàn)大面、超大面
    的頭像 發(fā)表于 08-07 15:01 ?1294次閱讀
    華北光電技術(shù)研究所研究不同像元間距<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測(cè)器</b>的銦柱生長

    北理工在室溫運(yùn)行中波紅外探測(cè)器研究方面取得突破性進(jìn)展

    北京理工大學(xué)郝群教授團(tuán)隊(duì)在室溫運(yùn)行中波紅外探測(cè)器研究方面取得突破性的進(jìn)展,相關(guān)論文于2023年1月發(fā)表于光學(xué)頂刊Light:Science
    的頭像 發(fā)表于 11-14 09:43 ?660次閱讀
    北理工在室溫運(yùn)行中波<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測(cè)器</b>研究<b class='flag-5'>方面</b><b class='flag-5'>取得</b>突破性<b class='flag-5'>進(jìn)展</b>

    銻化物超晶格紅外探測(cè)器研究進(jìn)展與發(fā)展趨勢(shì)綜述

    銻化物超晶格紅外探測(cè)器具有均勻性好、暗電流低和量子效率較高等優(yōu)點(diǎn),其探測(cè)波長靈活可調(diào),可以覆蓋短波至甚長波整個(gè)紅外譜段,是實(shí)現(xiàn)高均勻大面
    的頭像 發(fā)表于 04-19 09:13 ?1140次閱讀
    銻化物超晶格<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測(cè)器</b>研究<b class='flag-5'>進(jìn)展</b>與發(fā)展趨勢(shì)綜述

    被動(dòng)紅外探測(cè)器和主動(dòng)紅外探測(cè)器的區(qū)別

    被動(dòng)紅外探測(cè)器和主動(dòng)紅外探測(cè)器是兩種常見的安全監(jiān)控設(shè)備,它們?cè)诜辣I、監(jiān)控、邊界防護(hù)等方面有著廣泛的應(yīng)用。這兩種
    的頭像 發(fā)表于 09-20 11:35 ?1175次閱讀

    上海光機(jī)所在二維材料偏振光電探測(cè)器研究方面取得進(jìn)展

    偏振光電探測(cè)器研究方面取得進(jìn)展。相關(guān)研究成果以“High Performance Balanced Linear Polarization Photodetector Based on
    的頭像 發(fā)表于 12-11 06:31 ?151次閱讀
    <b class='flag-5'>上海</b>光機(jī)<b class='flag-5'>所在</b>二維材料偏振光電<b class='flag-5'>探測(cè)器</b>研究<b class='flag-5'>方面</b><b class='flag-5'>取得</b><b class='flag-5'>進(jìn)展</b>