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不太可能全面禁止DUV設(shè)備銷往大陸，過度打壓適得其反

電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/吳子鵬）根據(jù)日本媒體的最新報道，自2022年10月份以來，日本半導(dǎo)體設(shè)備的銷量已經(jīng)持續(xù)下滑。日本半導(dǎo)體設(shè)備協(xié)會（SEAJ）的統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2022年12月日本制造的半導(dǎo)體設(shè)備銷售額環(huán)比下降幅度達(dá)到了8.6%。日本半導(dǎo)體行業(yè)專家認(rèn)為，參與對華半導(dǎo)體設(shè)備出口管制，有可能讓日本半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)陷入持續(xù)下滑的糟糕局面。

針對近期變化莫測的全球半導(dǎo)體設(shè)備市場，尤其是大幅度擴(kuò)產(chǎn)、急需設(shè)備的中國半導(dǎo)體制造市場。投資銀行顧問公司Evercore ISI表示，不太可能全面限制DUV設(shè)備銷往大陸。

大陸是日本半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵市場

從相關(guān)數(shù)據(jù)能夠看出，日本半導(dǎo)體設(shè)備廠商和大陸市場的關(guān)聯(lián)是非常密切的，從測試設(shè)備到制造設(shè)備都是如此。

在測試設(shè)備方面，日本測試設(shè)備供應(yīng)商愛德萬測試是全球最大的半導(dǎo)體測試設(shè)備廠商。在市調(diào)機(jī)構(gòu)TechInsights發(fā)布的2022年十大半導(dǎo)體設(shè)備商評分排名中，該公司力壓ASML位列全球半導(dǎo)體設(shè)備廠商的榜首，也是唯一一家五星認(rèn)證的ATE供應(yīng)商。2018年市場份額數(shù)據(jù)顯示，愛德萬測試在大陸測試設(shè)備市場的份額高達(dá)40%。在2020年的統(tǒng)計數(shù)據(jù)中，愛德萬測試和泰瑞達(dá)也是大陸半導(dǎo)體測試設(shè)備市場排名前二的廠商，兩家公司在高端測試機(jī)和分選機(jī)方面具有壟斷性地位。而在整個大陸半導(dǎo)體測試設(shè)備市場，測試機(jī)和分選機(jī)合計的市場份額占比高達(dá)80%。

截止到2022年底的統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，中國大陸占全球半導(dǎo)體測試設(shè)備的比例超過了四分之一，中國大陸和韓國一直以來都是需求最大的兩個市場。綜合上述數(shù)據(jù)來看，大陸市場是愛德萬測試的關(guān)鍵市場。然而，隨著日本半導(dǎo)體政策傾向于美國一側(cè)，導(dǎo)致很多大陸廠商在購買測試設(shè)備時將優(yōu)先考慮長川科技、華峰數(shù)控、聯(lián)動科技和金海通等國產(chǎn)半導(dǎo)體測試設(shè)備廠商。原本，愛德萬測試、泰瑞達(dá)和科休2020年在中國大陸半導(dǎo)體測試設(shè)備市場的份額曾高達(dá)92%。然而，相關(guān)政策倒逼大陸半導(dǎo)體測試設(shè)備廠商積極自研，使得這一數(shù)據(jù)持續(xù)降低，并拖累日本半導(dǎo)體測試設(shè)備向大陸的出口。

同樣受到政策影響的日本半導(dǎo)體設(shè)備廠商還有東京電子。東京電子也是全球前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商，2021年的財報數(shù)據(jù)顯示，中國大陸是東京電子最大的銷售市場，銷售占比高達(dá)28.3%。針對每一次美政府對華芯片管制措施的公布，東京電子都曾公開表示擔(dān)憂，并解釋稱，存在中國大陸客戶延遲購買設(shè)備，以及通過國產(chǎn)設(shè)備替代影響銷售的風(fēng)險，如果管制措施進(jìn)一步加強(qiáng)，“我們的中國（大陸）客戶可能無法生產(chǎn)芯片，我們非常擔(dān)心這種情況。”

日本媒體綜合分析東京電子近些年的季度性財報后發(fā)現(xiàn)，在整個2020年和2021年里，中國大陸市場都是東京電子最大的銷售市場。然而隨著2022年第四季度相關(guān)政策進(jìn)一步收緊，在2023年第一季度東京電子在中國大陸市場的銷售額將出現(xiàn)大幅下滑，不敵中國臺灣市場。更糟糕的情況是，在大陸市場下滑的同時，其他市場的銷售額預(yù)期并沒有出現(xiàn)增長抵消這部分消極影響。

日本半導(dǎo)體制造設(shè)備協(xié)會預(yù)測，2023年日本半導(dǎo)體設(shè)備的銷售額將出現(xiàn)近四年來的首次下降。包括東京電子在內(nèi)的多家日本半導(dǎo)體廠商都已經(jīng)給出了恐慌性的預(yù)測，除了2023年Q1銷售額大幅下滑以外，后續(xù)的行業(yè)下滑程度有很大概率進(jìn)一步加重。

根據(jù)相關(guān)統(tǒng)計數(shù)據(jù)，日本目前在涂覆顯影設(shè)備、熱處理設(shè)備、單片式清洗設(shè)備、批量式清洗設(shè)備、光罩檢測設(shè)備、測長SEM等方面占據(jù)更高的份額，不過這些環(huán)節(jié)的整體市場規(guī)模都不超過50億美元，規(guī)模效應(yīng)并不強(qiáng)，容易出現(xiàn)替代情況。已經(jīng)有多篇日本媒體報道明確指出，參與美國對華芯片制裁，有可能導(dǎo)致日本半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)出現(xiàn)衰落。

事實上，很多美國半導(dǎo)體設(shè)備公司也不希望進(jìn)一步擴(kuò)大對華出口半導(dǎo)體設(shè)備的限制范圍。我們曾在過去的文章中提到過，在美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商泛林集團(tuán)的市場營收中，中國大陸地區(qū)貢獻(xiàn)了33%；在美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商科磊的營收里，中國大陸地區(qū)貢獻(xiàn)了31%；在應(yīng)用材料的營收里，中國大陸地區(qū)貢獻(xiàn)了32%。這些數(shù)據(jù)都表明，美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商也和中國市場有了很深的聯(lián)系，如果全面禁止半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備之一的***進(jìn)入中國大陸市場，那么將使得大陸廠商對其他配套設(shè)備的需求也出現(xiàn)下滑，最終由設(shè)備廠和客戶方共同買單。

這也是為什么Evercore ISI等機(jī)構(gòu)會預(yù)言，不太可能全面禁止DUV***進(jìn)入大陸市場。

大陸芯片制造的突圍

ASML首席執(zhí)行官溫彼得（Peter Wennink）此前曾公開表示，美國制定的出口管制政策將會促使中國大陸研發(fā)出屬于自己的先進(jìn)技術(shù)。確實，在目前EUV***確定無法進(jìn)入大陸市場的情況下，大陸并沒有放棄對先進(jìn)芯片的研發(fā)。數(shù)據(jù)顯示，2022年第一季度ASML曾一口氣向大陸市場出口了23臺DUV***，遠(yuǎn)超之前的出貨速度。一方面，ASML是為了顯示對大陸市場的重視；另一方面，也是希望搶在佳能和尼康的前面，盡可能多地占據(jù)市場，畢竟大陸目前在芯片制造方面，開始多方面的創(chuàng)新。

首先是在先進(jìn)封裝方面，對于產(chǎn)業(yè)而言，先進(jìn)封裝是延續(xù)摩爾定律的主要技術(shù)手段。不過，對于大陸半導(dǎo)體制造而言，先進(jìn)封裝有望成為一條突圍的道路。因此，我們可能看到，目前大陸在3D封裝、扇形封裝(FOWLP/PLP)、微間距焊線技術(shù)，以及系統(tǒng)封裝(SiP)等方面都進(jìn)行積極的投入。尤其是在Chiplet方案上，很多公司都將Chiplet方案定義為彌補(bǔ)大陸先進(jìn)制程產(chǎn)業(yè)鏈落后的有效手段，目前國內(nèi)領(lǐng)先的封裝廠商通富微電、長電科技、華天科技都在積極地布局Chiplet封裝技術(shù)。

另外，近日浙商證券在名為《2023半導(dǎo)體未來十大產(chǎn)業(yè)趨勢預(yù)測》的報告中也指出，F(xiàn)D-SOI可以為***制造開啟先進(jìn)制程的大門提供可能。報告中寫到，理論上，利用DUV***制造的FD-SOI產(chǎn)品，可以達(dá)到與采用EUV***制造的FinFET產(chǎn)品相當(dāng)?shù)男阅?。FD-SOI作為一項和FinFET并行發(fā)展的芯片制造技術(shù)，誕生于法國CEA-Leti實驗室。過往，由于缺乏產(chǎn)業(yè)生態(tài)支持，導(dǎo)致FD-SOI創(chuàng)新力不足。格芯曾嘗試研發(fā)7nm的FD-SOI工藝，不過最終放棄了。如果國內(nèi)公司能夠從意法半導(dǎo)體方面取得授權(quán)，重啟FD-SOI在先進(jìn)制程方面的研發(fā)，也不失為一條路。

此外，相信國內(nèi)公司也會明確關(guān)注納米壓印光刻(NIL)等相關(guān)技術(shù)的發(fā)展。NIL制造設(shè)備采用了一種模版技術(shù)，該技術(shù)涉及通過噴射技術(shù)在基底上沉積的低粘度抗蝕劑的逐場沉積和曝光。由于不需要寬直徑透鏡陣列和高級光刻設(shè)備所需的昂貴光源，NIL技術(shù)是擺脫EUV***的有效方法。目前，大陸在可預(yù)見的未來，基本都無法購買到EUV***，嘗試替代技術(shù)也是一種方案。相同的替代技術(shù)還有定向自組裝 (DSA) 和等離子激光等。

寫在最后

大陸在先進(jìn)制程方面被限制已經(jīng)成為既定的事情，并且短期來看這種局面是不會改觀的。但是，半導(dǎo)體設(shè)備廠商和大陸市場深入的綁定，以及國產(chǎn)化設(shè)備的快速進(jìn)展，都使得全面禁止DUV設(shè)備進(jìn)入大陸市場的阻力很大，但意義并不會很大。

不過，大陸的芯片制造產(chǎn)業(yè)也不會抱有僥幸的心理。除了持續(xù)研發(fā)更高端的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備以外，各公司必將在政策的支持下，投入重金研發(fā)替代性技術(shù)，尋求進(jìn)入先進(jìn)制程的方法。這也就是為什么國際上的半導(dǎo)體設(shè)備廠商直言，過度打壓反而會適得其反。

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