【應用案例】納米位移臺在白光干涉儀中的應用

納米位移臺的工作原理

納米位移臺主要采用超精密運動控制技術超精密技術是由光、機、電、控制軟件等多領域技術集成的運動控制技術。內部由一個或多個壓電陶瓷作為驅動，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動;通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對該運動進行修正、補償和控制;在對運動系統(tǒng)進行閉環(huán)控制時，可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

以納米運動平臺為代表的微操控系統(tǒng)日益成為諸多超精密加工/量測裝備等相關高科技產(chǎn)業(yè)及交叉學科領域的核心技術。納米和亞納米尺度表征/檢測和制備方法及高端科學儀器與裝備的研發(fā)，得到了世界范圍的高度關注，也是我國戰(zhàn)略層面重點支持的領域之一。白光干涉測量系統(tǒng)以及納米裝配系統(tǒng)半導體、超精密加工中發(fā)揮著重要作用。

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納米位移臺在白光干涉測量系統(tǒng)以及納米裝配系統(tǒng)中的應用：

在白光干涉儀中利用納米位移平臺可實現(xiàn)z向高精度定位，采集不同軸向位置被測樣品表面的白光干涉條紋，可重建檢測面的三維表面形貌

白光干涉測量系統(tǒng)結構示意圖

系統(tǒng)三維圖

系統(tǒng)實物圖

審核編輯：湯梓紅