0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評(píng)論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
电子发烧友
开通电子发烧友VIP会员 尊享10大特权
海量资料免费下载
精品直播免费看
优质内容免费畅学
课程9折专享价
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

「專利解密」開元通信聚焦射頻新紀(jì)元

jf_tyXxp1YG ? 來源:中科聚智 ? 作者:中科聚智 ? 2022-12-09 14:39 ? 次閱讀

集微網(wǎng)消息,開元通信聚焦先進(jìn)濾波器射頻模組芯片能力建設(shè),依托自主創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)合作,實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)濾波器及模組的若干重要突破。近日開元通信實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)濾波器及模組的重要突破且榮獲中國(guó)科學(xué)家論壇中兩項(xiàng)提名。

無論是聲表面波濾波器還是體聲波濾波器,為了保持良好的射頻性能指標(biāo),對(duì)其工作環(huán)境有一定的要求,需要制備一個(gè)相對(duì)密閉空腔,用以隔絕外部的水氣,顆粒,玷污等對(duì)器件的影響。然而現(xiàn)有的保護(hù)性基體的使用,決定了射頻濾波器的整個(gè)制備工藝流程較長(zhǎng),工藝實(shí)現(xiàn)難度較高,同時(shí)材料、工藝和設(shè)備的應(yīng)用導(dǎo)致BAW器件的單顆制備成本昂貴,直接影響產(chǎn)品規(guī)?;瘧?yīng)用和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

為此,開元通信于2020年1月20日申請(qǐng)了一項(xiàng)名為“射頻濾波器”的發(fā)明專利(申請(qǐng)?zhí)? 202010066784.3),申請(qǐng)人為開元通信技術(shù)(廈門)有限公司。

7f7933c2-7755-11ed-8abf-dac502259ad0.jpg

圖1 具備背電極的射頻濾波器結(jié)構(gòu)剖面示意圖

圖1為具備背電極的射頻濾波器的結(jié)構(gòu)剖面示意圖,包括:基體110、支撐電極200和薄膜結(jié)構(gòu)300。其中支撐電極相對(duì)基體向外凸設(shè)于基體的正表面;薄膜結(jié)構(gòu)間隔支撐電極形成于基體上,支撐電極的頂端的端面與薄膜結(jié)構(gòu)的正表面密封接觸?;w還可以提供支撐電極的形成襯底,同時(shí)為對(duì)應(yīng)的射頻濾波器的諧振結(jié)構(gòu)形成保護(hù)空間。

為將基體進(jìn)行有效密封,同時(shí)形成對(duì)射頻濾波器的諧振結(jié)構(gòu)的保護(hù)作用,提供形成于基體正表面上的支撐電極,該支撐電極相對(duì)基體向外凸設(shè)于基體的正表面,可以與基體一體成型。由于薄膜結(jié)構(gòu)的采用,支撐電極材料可以采用銅、或類銅材料、類銅的合金材料等,極大地降低了成本。同時(shí)由于銅、類銅材料或類銅合金材料的電阻率比金更低,有利于減小器件的插入損耗,益于在高溫高壓下金屬原子的擴(kuò)散,使得接觸界面更加模糊,達(dá)到了比金材料接觸更好的結(jié)合強(qiáng)度,以及更好的諧振效應(yīng)和密封強(qiáng)度。

薄膜結(jié)構(gòu)至少具有一膜層,通過覆膜的工藝直接貼覆在具有支撐電極的基體上。支撐電極起到對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)的支撐作用,在薄膜結(jié)構(gòu)和基體之間形成諧振結(jié)構(gòu)的保護(hù)空間或諧振空間。為進(jìn)一步有效的密封器件,可以將密封結(jié)構(gòu)設(shè)置于支撐電極的頂端的端面上,與薄膜結(jié)構(gòu)的膜層的正表面進(jìn)行接觸密封。

7f9ecce0-7755-11ed-8abf-dac502259ad0.jpg

圖2 射頻濾波器制備流程示意圖

圖2為射頻濾波器制備流程示意圖,包括以下步驟:

首先在基體110的正表面上形成諧振結(jié)構(gòu)(S310);可以在基體的正表面上形成諧振結(jié)構(gòu)的壓電層130、下電極層120等。

然后基于諧振結(jié)構(gòu)在基體110的正表面上形成支撐電極200(S320);具體地,可以在基體的正表面上形成基于支撐電極的諧振結(jié)構(gòu)保護(hù)腔。該支撐電極的制備可以在基體的正表面上依據(jù)掩模圖案進(jìn)行電鍍來實(shí)現(xiàn),以加強(qiáng)支撐電極與基體正表面之間的接觸強(qiáng)度。

最后在基體110上形成以支撐電極200為間隔的薄膜結(jié)構(gòu)300,支撐電極200的頂端的端面與薄膜結(jié)構(gòu)300的正表面密封接觸(S330)。具體地,薄膜結(jié)構(gòu)的膜層可以通過貼覆-固化的工藝固定密封在支撐電極的頂端的端面上,實(shí)現(xiàn)器件的封裝。

簡(jiǎn)而言之,開元通信的射頻濾波器專利,通過薄膜結(jié)構(gòu)替代了傳統(tǒng)的保護(hù)性晶圓基體,使得射頻濾波器的封裝通過簡(jiǎn)單的覆膜即可實(shí)現(xiàn)對(duì)器件密封腔的有效封裝,制備流程大幅度縮短,生產(chǎn)效率提高,流程簡(jiǎn)單化。

審核編輯 :李倩

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
  • 濾波器
    +關(guān)注

    關(guān)注

    161

    文章

    7890

    瀏覽量

    179180
  • 通信技術(shù)
    +關(guān)注

    關(guān)注

    20

    文章

    1142

    瀏覽量

    92474
  • 電極
    +關(guān)注

    關(guān)注

    5

    文章

    831

    瀏覽量

    27348

原文標(biāo)題:「專利解密」開元通信聚焦射頻新紀(jì)元

文章出處:【微信號(hào):中科聚智,微信公眾號(hào):中科聚智】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

收藏 0人收藏

    評(píng)論

    相關(guān)推薦

    引領(lǐng)通信革新,開創(chuàng)網(wǎng)絡(luò)新紀(jì)元

    在全球電信行業(yè)向著「高性能可編程網(wǎng)絡(luò)」大步邁進(jìn)的當(dāng)下,每一項(xiàng)創(chuàng)新突破都如同璀璨星辰,照亮行業(yè)前行的道路。 愛立信,作為通信領(lǐng)域的巨擘,在 MWC25 前夕宣布推出了一系列創(chuàng)新型無線、天線產(chǎn)品以及
    的頭像 發(fā)表于 02-17 09:39 ?134次閱讀

    深藍(lán)汽車攜手華為開創(chuàng)全民智駕新紀(jì)元

    2月9日,深藍(lán)汽車與華為在重慶正式簽署全面深化業(yè)務(wù)合作協(xié)議。作為普及全民智駕的長(zhǎng)期戰(zhàn)略合作伙伴,雙方宣布將全面推動(dòng)智能網(wǎng)聯(lián)汽車領(lǐng)域的合作,共同研發(fā)前沿技術(shù),開創(chuàng)全民智駕新紀(jì)元,加速推動(dòng)智駕平權(quán),引領(lǐng)中國(guó)智能網(wǎng)聯(lián)汽車產(chǎn)業(yè)的未來。
    的頭像 發(fā)表于 02-10 10:28 ?131次閱讀

    中國(guó)信通院栗蔚:云計(jì)算與AI加速融合,如何開啟智算時(shí)代新紀(jì)元?

    中國(guó)信通院栗蔚:云計(jì)算與AI加速融合,如何開啟智算時(shí)代新紀(jì)元?
    的頭像 發(fā)表于 01-17 18:48 ?583次閱讀
    中國(guó)信通院栗蔚:云計(jì)算與AI加速融合,如何開啟智算時(shí)代<b class='flag-5'>新紀(jì)元</b>?

    工業(yè)網(wǎng)絡(luò)管理新紀(jì)元:揭秘五大“利器”,化繁為簡(jiǎn)的智慧轉(zhuǎn)型

    亟需解決的難題。本文將揭秘五大“秘密武器”, 助力工業(yè)網(wǎng)絡(luò)管理化繁為簡(jiǎn),邁向智能化、高效化 的新紀(jì)元。 秘密武器一 統(tǒng)一平臺(tái),集成管理(一站式解決方案,打破信息孤島) 在復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境中,不同品牌、不同類型的設(shè)備
    的頭像 發(fā)表于 12-21 17:51 ?203次閱讀
    工業(yè)網(wǎng)絡(luò)管理<b class='flag-5'>新紀(jì)元</b>:揭秘五大“利器”,化繁為簡(jiǎn)的智慧轉(zhuǎn)型

    智慧光伏:開啟電站運(yùn)維新紀(jì)元

    ?????? 智慧光伏:開啟電站運(yùn)維新紀(jì)元 ?????? 光伏電站進(jìn)入后運(yùn)維時(shí)代,運(yùn)營(yíng)效率已成為影響電站效益的關(guān)鍵。通過數(shù)字化技術(shù)實(shí)現(xiàn)智能化管理,正逐步成為行業(yè)發(fā)展的主旋律。 ?????? 當(dāng)前光伏
    的頭像 發(fā)表于 11-22 16:57 ?349次閱讀
    智慧光伏:開啟電站運(yùn)維<b class='flag-5'>新紀(jì)元</b>

    電梯物聯(lián)網(wǎng):重塑電梯行業(yè)的智能與安全新紀(jì)元

    在科技日新月異的今天,物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)已經(jīng)滲透至我們生活的方方面面,電梯物聯(lián)網(wǎng)便是其中的一個(gè)重要分支。電梯物聯(lián)網(wǎng),通過傳感器、網(wǎng)絡(luò)通信等先進(jìn)技術(shù),將電梯與互聯(lián)網(wǎng)緊密相連,實(shí)現(xiàn)了對(duì)電梯運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與管理,正逐步引領(lǐng)電梯行業(yè)走向智能、安全與高效的新紀(jì)元。
    的頭像 發(fā)表于 11-20 11:47 ?576次閱讀

    高精度3D Hall搖桿專用芯片,開啟操控新紀(jì)元

    在飛控領(lǐng)域中的3D霍爾搖桿,開啟操控新紀(jì)元!
    的頭像 發(fā)表于 10-30 09:29 ?428次閱讀
    高精度3D Hall搖桿專用芯片,開啟操控<b class='flag-5'>新紀(jì)元</b>

    倒計(jì)時(shí)1天 | 第三屆OpenHarmony技術(shù)大會(huì)——明天,上海見!

    技術(shù)引領(lǐng)筑生態(tài),萬物智聯(lián)創(chuàng)未來 OpenHarmony 開源生態(tài) 繁榮于各方共建,又賦能于千行百業(yè) 開創(chuàng)了萬物智聯(lián)的新紀(jì)元,開源盛事,亦是開源盛世!
    發(fā)表于 10-11 23:29

    跨越地理限制:動(dòng)態(tài)海外住宅IP技術(shù)引領(lǐng)全球化網(wǎng)絡(luò)新紀(jì)元

    跨越地理限制:動(dòng)態(tài)海外住宅IP技術(shù)引領(lǐng)全球化網(wǎng)絡(luò)新紀(jì)元這一主題,凸顯了動(dòng)態(tài)海外住宅IP技術(shù)在全球化網(wǎng)絡(luò)環(huán)境中的重要作用。
    的頭像 發(fā)表于 09-27 08:30 ?380次閱讀

    能耗管理系統(tǒng)新紀(jì)元:智能科技引領(lǐng)綠色生活風(fēng)尚

    能耗管理系統(tǒng)新紀(jì)元:智能科技引領(lǐng)綠色生活風(fēng)尚 在科技日新月異的今天,我們的生活正經(jīng)歷著前所未有的變革,而能耗管理系統(tǒng)作為連接環(huán)保與可持續(xù)發(fā)展的橋梁,正步入一個(gè)由智能科技引領(lǐng)的新紀(jì)元。這一變革不僅重塑
    的頭像 發(fā)表于 08-15 18:17 ?602次閱讀

    技嘉科技推出GIGABYTE AI TOP,引領(lǐng)本地AI訓(xùn)練新紀(jì)元

    技嘉科技在COMPUTEX 2024前夕推出GIGABYTE AI TOP,引領(lǐng)本地AI訓(xùn)練新紀(jì)元   在即將到來的COMPUTEX 2024科技盛會(huì)前夕,全球知名的計(jì)算機(jī)硬件制造商技嘉
    的頭像 發(fā)表于 06-11 14:11 ?1053次閱讀

    樂得瑞LDR6328 PD+QC通信芯片:賦能未來,智能互聯(lián)新紀(jì)元

    新紀(jì)元。 PD+QC通信芯片,是一款集高效能、低功耗、高穩(wěn)定性于一體的創(chuàng)新產(chǎn)品。它采用了先進(jìn)的制程技術(shù)和優(yōu)化算法,實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)傳輸速度的大幅提升和功耗的有效降低。在復(fù)雜多變的通信環(huán)境中,PD+QC芯片能夠保持穩(wěn)定的工作狀態(tài),為用
    的頭像 發(fā)表于 05-27 09:28 ?581次閱讀

    一圖看懂2024華為智能充電網(wǎng)絡(luò)開啟超充新紀(jì)元

    一圖看懂2024華為智能充電網(wǎng)絡(luò)開啟超充新紀(jì)元
    的頭像 發(fā)表于 04-29 10:27 ?737次閱讀
    一圖看懂2024華為智能充電網(wǎng)絡(luò)開啟超充<b class='flag-5'>新紀(jì)元</b>

    智能通信新紀(jì)元下的訊維融合通信系統(tǒng):探索與展望

    在智能通信新紀(jì)元下,訊維融合通信系統(tǒng)以其獨(dú)特的功能和優(yōu)勢(shì),正逐漸成為行業(yè)引領(lǐng)者和創(chuàng)新先鋒。該系統(tǒng)不僅集成了先進(jìn)的通信技術(shù),還融入了智能化管理、安全保障等多重功能,為企業(yè)和個(gè)人用戶帶來了
    的頭像 發(fā)表于 04-10 16:33 ?456次閱讀

    高通重磅發(fā)布第三代驍龍7+,引領(lǐng)AI與性能新紀(jì)元

    近日,科技界掀起一陣狂潮,高通技術(shù)公司盛大發(fā)布第三代驍龍7+移動(dòng)平臺(tái),此舉不僅將終端側(cè)生成式AI技術(shù)首次引入驍龍7系,更在性能上實(shí)現(xiàn)飛躍,CPU性能飆升15%,GPU性能更是驚人提升45%。這一革命性的移動(dòng)平臺(tái),無疑將引領(lǐng)智能手機(jī)行業(yè)進(jìn)入全新的AI與性能新紀(jì)元。
    的頭像 發(fā)表于 03-25 09:46 ?1551次閱讀

    電子發(fā)燒友

    中國(guó)電子工程師最喜歡的網(wǎng)站

    • 2931785位工程師會(huì)員交流學(xué)習(xí)
    • 獲取您個(gè)性化的科技前沿技術(shù)信息
    • 參加活動(dòng)獲取豐厚的禮品