HBM靜電測試機(jī)尾波的危害

1.HBM(Human Body Model) 驗(yàn)證測試已經(jīng)成為IC 防靜電等級的必測項目，一般是直接委外第三方實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行驗(yàn)證，但卻不知道自己的IC用的靜電測試機(jī)是否合適，是否會有問題，科普一個名詞叫ESD尾波(Trailing pulse)如圖(1)，其主要原因是水銀繼電器在高壓切換的過程中會產(chǎn)生離子化并在開關(guān)完全閉合前產(chǎn)生跳火現(xiàn)象如圖(2)，這就產(chǎn)生了當(dāng)靜電波形主波放電后產(chǎn)生了第二波形的輸出。

(圖1)

(圖2)

2.此尾波在一般的校準(zhǔn)中難以發(fā)現(xiàn)，比如終端短路電流波形或負(fù)載500Ω放電波形均難以發(fā)現(xiàn)，需要在終端并聯(lián)10K ohm電阻和齊納二極管(zener diode)才能抓取到，如圖(3)，此尾波特點(diǎn)經(jīng)圖(1)可以看出能量相對較高，時間較長。隨著集成電路的越來越高制程，很多IC很大可能會被此尾波造成失效而非抗靜電能力差。

(圖3)

3.市面上的靜電測試機(jī)，有此Bug 的一般是90年代之前的設(shè)備。目前比較主流的靜電測試機(jī)MK2/MK4 均已對此Bug修正到標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，實(shí)際波形如圖(4)，季豐電子所有的ESD認(rèn)證實(shí)驗(yàn)室(上海、杭州、深圳、成都、北京)配套的全部是最新的系列MK2/MK4如圖(5)，請放心使用。

圖(4)

審核編輯：湯梓紅