后端技術(shù)：時鐘網(wǎng)格（Clock Mesh）技術(shù)和信號完整性的考慮

1.時鐘樹綜合

在同步電路中，時鐘信號連接所有的寄存器和鎖存器，是整個電路工作的基本保障。然而從時鐘的根節(jié)點到每個寄存器時鐘端的延時，由于走的路徑不相同，到達(dá)的時間也不相同

對時鐘偏斜的要求

保持（Hold）時間約束

tclk1 + tcq + min(tlogic) > tclk2 + thold

建立（Setup）時間約束

T > tsetup + tcq + max(tlogic) - (tclk2 - tclk1)

在滿足保持時間約束時，越小越好。而要滿足建立時間約束時，越大越好，這樣可以降低時鐘周期，提高芯片頻率 。

如何平衡不同時鐘節(jié)點

時鐘樹方法的出現(xiàn)使得大型SoC中時鐘偏斜的問題得以解決在一個芯片上，沒有必要，也不可能完全消除時鐘偏斜，只要把時鐘偏斜控制在合理的范圍內(nèi)就可以了。

時鐘樹綜合（Clock Tree Synthesis）技術(shù)

時鐘樹綜合是指使用EDA工具自動生成時鐘樹，它包括時鐘緩沖器的插入與時鐘信號的布線。

時鐘緩沖器的插入：時鐘綜合工具根據(jù)寄存器的位置和數(shù)量，決定插入緩沖器的層數(shù)、驅(qū)動力的大小和插入位置

時鐘線的布線：由于時鐘線的優(yōu)先級高于一般信號線，所以應(yīng)先布時鐘線。這樣可以讓時鐘線以最短的路徑連接，避免延時過大，減少時鐘偏斜

時鐘網(wǎng)格（Clock Mesh）技術(shù)

時鐘網(wǎng)格技術(shù)就是預(yù)先在整個設(shè)計上搭建時鐘網(wǎng)格。

時鐘網(wǎng)格與時鐘樹的最顯著不同在于，網(wǎng)格類似于主干道，在設(shè)計中可以用更寬的金屬線去繪制時鐘網(wǎng)格，同時設(shè)計者可以用多個緩沖器去驅(qū)動網(wǎng)格 。

如何降低時鐘樹上的功耗

減少時鐘緩沖器的數(shù)量

時鐘緩沖器盡量插入到門控時鐘后面

門控時鐘的方法是將不需要時將時鐘關(guān)掉。在進(jìn)行時鐘樹綜合時為了降低功耗應(yīng)該盡量將時鐘信號緩沖器插在門控時鐘后

異步電路降低時鐘樹上的功耗

異步電路的工作模式是“事件驅(qū)動”，電路只在需要時工作，消除了速度浪費，由于不需同步，沒有全局時鐘，因此也消除了全局時鐘樹的功耗。

時鐘樹設(shè)計考慮因素

檢查是否在時鐘通路上有延遲器件。這種器件會造成時鐘樹為了平衡最長的時鐘節(jié)點加過多的時鐘緩沖器。

檢查是否在時鐘通路上存在設(shè)為不被優(yōu)化（dont_touch）的器件。這些器件可能會影響時鐘樹綜合工具對時鐘樹的優(yōu)化。

芯片布局是否可以被調(diào)整使之更加利于時鐘樹綜合。存在時鐘相關(guān)的不同模塊應(yīng)該盡量放的近些。

檢查是否可以創(chuàng)建新的時鐘使之對時鐘樹綜合有益。如果在整個芯片中只有一個時鐘源，因為這個時鐘源的負(fù)載太大，往往時鐘通路會很長。如能在某些節(jié)點上創(chuàng)建不同的時鐘，可以減少時鐘樹上的延遲，也就減少了時鐘樹上的緩沖器數(shù)量。

檢查是否時鐘樹結(jié)點都是需要同步的。一定要確保時鐘樹綜合時只同步那些需要同步的節(jié)點。

在使用時鐘綜合工具中應(yīng)該盡量設(shè)置插入延時（Insertion Delay）和時鐘偏斜為最符合實際的值，而非0。

盡量只使用時鐘反相器而非時鐘緩沖器進(jìn)行時鐘樹綜合。

2.布局規(guī)劃

一個好的、提前的布局規(guī)劃會使得深亞微米設(shè)計的物理實現(xiàn)在設(shè)計周期和設(shè)計質(zhì)量上都受益匪淺。

從具體內(nèi)容上看，布局規(guī)劃包括版圖上的電源規(guī)劃和模塊的布局規(guī)劃。

電源規(guī)劃可以幫助確保片上單元具有足夠的電源與地連接。在很多情況下，尤其對于復(fù)雜的SoC設(shè)計，設(shè)計規(guī)劃應(yīng)當(dāng)與源代碼開發(fā)并行進(jìn)行，布局和電源估計的優(yōu)化可以與代碼優(yōu)化一同完成。

布局規(guī)劃策略

在進(jìn)行布局規(guī)劃時，考慮一些制程工藝的基本特性是很重要的。

一個典型的基本單元庫定義的單元行是水平的，版圖上每層布線的方向遵循交互的圖案，第1層水平，第2層豎直等。由于第1層金屬常常用來在標(biāo)準(zhǔn)單元內(nèi)部布線，或者為單元行提供電源，所以它作為常規(guī)布線的能力是有限的。

當(dāng)為芯片和模塊建立金屬環(huán)（通常作為供電或噪聲隔離的需要）的時候，要給布線留下足夠的空間。將金屬線布進(jìn)模塊內(nèi)部的時候，設(shè)計者應(yīng)該留心模塊內(nèi)部的障礙情況，以避免模塊角落產(chǎn)生擁塞。

在任何物理設(shè)計工作中，理解目標(biāo)制程工藝的要求十分重要。例如，最大金屬線寬度的限制。電源環(huán)和地線環(huán)通常需要很寬，以滿足芯片各部分的供電需要。

為了避免最大金屬線寬度的限制，采用 “總線”式布線更可取。

應(yīng)用規(guī)劃步驟

芯片級布局規(guī)劃：從外圍的I/O開始做布局規(guī)劃具有一定的代表性（依賴于封裝設(shè)計）。

模塊級布局規(guī)劃 ：進(jìn)行初步的綜合以確定模塊中所有基本單元的面積。

電源預(yù)算：在貫穿設(shè)計的過程中計算模塊級的功率消耗以判斷設(shè)計是否滿足指定的功率預(yù)算是很重要的，而且在布局規(guī)劃中要估算電源網(wǎng)格的尺寸。

電源規(guī)劃和分析

3.布線

布線是在版圖上將已經(jīng)放好的單元連接在一起的過程。

布線工具根據(jù)布局的信息來連接單元。在通常情況下，布線工具需要縮短布線長度，均勻分布布線并滿足時序的要求。

布線是一個運算密集型的處理，需要大量的細(xì)節(jié)數(shù)據(jù)，并且在各種繞線策略間權(quán)衡。

布線流程

全局布線

通道分配

詳細(xì)布線

4.ECO技術(shù)

ECO（Engineering Change Order），主要是針對靜態(tài)時序分析和后仿真中出現(xiàn)的問題，對電路和單元布局進(jìn)行小范圍的改動。

ECO分為兩種：功能性的ECO和非功能性的ECO。

ECO技術(shù)的設(shè)計流程

ECO技術(shù)的優(yōu)點

設(shè)計時間縮短，對局部范圍的功能調(diào)整不需要重新做一遍后端設(shè)計流程；

調(diào)整結(jié)果具備預(yù)測性，相對于重新做一遍后端設(shè)計流程，ECO方案可以基本確保大部分功能與原先的方案的一致性，從而降低后端設(shè)計失敗的風(fēng)險。

詳情請查看:芯片設(shè)計中的ECO是什么？

5.功耗分析

功耗分析可以分成兩種：靜態(tài)功耗分析和動態(tài)功耗分析。

靜態(tài)功耗分析可以根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)單元及IP的靜態(tài)功耗參數(shù)估算出來。

動態(tài)功耗分析與所用的測試向量有關(guān)，需要在布線完成后進(jìn)行。

電壓降（IR Drop）分析

由于供電流在金屬線網(wǎng)上進(jìn)行傳導(dǎo)，而金屬線網(wǎng)本身存在電阻值，在電流通過金屬網(wǎng)絡(luò)時，必然帶來電壓降。

如果不進(jìn)行電壓降分析，若芯片某一個部分供電不足，將導(dǎo)致性能的惡化，從而導(dǎo)致整個芯片功能的錯誤。通過電壓降分析，可以了解到整個電源網(wǎng)絡(luò)的供電情況，從而進(jìn)行合理的供電網(wǎng)絡(luò)規(guī)劃，以保證芯片功能不會因為供電問題產(chǎn)生影響。

一般來說要把整個芯片的電壓降控制在電源電壓的10％以內(nèi)。

電遷移（Electromigration）分析

在決定供電網(wǎng)絡(luò)金屬線寬度的時候，需要滿足由代工廠工藝庫中提供的電流密度規(guī)則。

若電流密度過大，而金屬線寬過小，將導(dǎo)致電遷移現(xiàn)象出現(xiàn)。

而電遷移會導(dǎo)致金屬線的斷裂，損壞整個芯片，因此，對電遷移進(jìn)行分析，也是必須的一個步驟，對于不滿足EM規(guī)則的金屬線，需要加大線寬。

6.信號完整性的考慮

隨著先進(jìn)的深亞微米制程在不斷進(jìn)步，使得互連線上的耦合電容、電阻增大，同時更大的電流密度和更低的電壓引起的信號完整性問題成為新的挑戰(zhàn)。如果沒有得到充分重視，這些效應(yīng)會導(dǎo)致芯片功能失效和出現(xiàn)可靠性問題。

為了處理這些信號完整性的影響，在物理實現(xiàn)的每一個階段都需要引入大量的經(jīng)過優(yōu)化的物理互連拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)和驅(qū)動的模型。

串?dāng)_

兩條緊鄰線路的翻轉(zhuǎn)時間在時間域上重疊的話，會導(dǎo)致串?dāng)_引起的延時。躍遷的相對方向決定了路徑比預(yù)先的變快還是變慢。

串?dāng)_引起的噪聲會給相鄰的線路中注入電壓針刺型干擾。如果干擾電壓超過了翻轉(zhuǎn)閾值，將會引起錯誤的躍遷，造成潛在的錯誤行為。

串?dāng)_引起的延遲

由于電容性的耦合，發(fā)生在攻擊者上的躍遷會部分傳遞給“受害者”，這會使“受害者”的躍遷波形發(fā)生意外的扭曲，從而導(dǎo)致“受害者”測量得到的延時發(fā)生變化。

轉(zhuǎn)換方向相反，延時增加，導(dǎo)致建立時間的錯誤。

轉(zhuǎn)換方向相同，延時減小，導(dǎo)致保持時間的錯誤。

串?dāng)_引起的噪聲

除了影響時序，耦合性的電容還可以造成功能失效。當(dāng)攻擊者在“受害者”附近翻轉(zhuǎn)時，它會造成“受害者”上面意外的信號翻轉(zhuǎn)或者邏輯失效，這些被稱為串?dāng)_造成的噪聲

壓降和電遷移

壓降：電源網(wǎng)絡(luò)上的電阻和瞬間的電流抽取都會造成基本單元上的電壓下降。這種電壓上的降低會使單元的延時增大，潛在地造成建立時間錯誤。

電遷移：在大電流密度下會產(chǎn)生電動力，使電子在金屬晶格結(jié)構(gòu)中對原子產(chǎn)生很大的沖擊，產(chǎn)生電遷移現(xiàn)象。

7.物理驗證

在將芯片版圖正式交付代工廠之前，還需要經(jīng)過一個重要的步驟，這就是物理驗證。

通常所說的物理驗證是指檢查其設(shè)計是否滿足設(shè)計規(guī)則（DRC，Design Rule Check）及確定版圖與邏輯門網(wǎng)表之間的一致性（LVS，Layout Vs Schematics）。

設(shè)計規(guī)則檢查（DRC）

常見的金屬規(guī)則如下：

金屬的最小寬度

同層金屬之間的最小間距

金屬包圍多晶或通孔的最小面積

金屬包圍多晶或通孔的最小延伸長度

金屬本身的最小面積

同層金屬的最小密度

常見的通孔規(guī)則如下：

通孔的最小面積

同層通孔之間的最小間距

版圖與原理圖的一致性檢查（LVS）

LVS是驗證版圖與原理圖是否一致。工程師設(shè)計的版圖是根據(jù)原理圖在硅片上的具體幾何形狀的實現(xiàn)。在這里原理圖就是布線后導(dǎo)出的邏輯門網(wǎng)表，版圖就是同時導(dǎo)出的GDSII格式的版圖文件。

對于基于標(biāo)準(zhǔn)單元的設(shè)計，LVS主要驗證其中的單元有沒有供電，連接關(guān)系是否與邏輯網(wǎng)表一致。

8.可制造性設(shè)計/面向良品率的設(shè)計

DFM/DFY的基本概念

可制造性設(shè)計是指將工藝技術(shù)應(yīng)用于電路設(shè)計過程中，從而提高產(chǎn)品制造過程的可靠性，但可制造本身并不能保證高良品率。

面向良品率的設(shè)計是DFM的一部分，其解決方案是將良品率定義為一個設(shè)計指標(biāo)，主要在版圖設(shè)計前后考慮電路的功能質(zhì)量問題，

通過將設(shè)計和生產(chǎn)工藝相結(jié)合，保證產(chǎn)品的高良品率。

DFM/DFY方法

掩模綜合工具（Mask Synthesis Tools）實施分辨率增強技術(shù)（RET）

光學(xué)臨近修正（OPC）和移相掩模（PSM）

變化圖像

前提是我們了解印刷工藝會導(dǎo)致圖像失真，而且了解失真的方式，然后按照失真相反的方向使原圖失真

天線效應(yīng)

天線效應(yīng)主要是在互連線的制造過程中，產(chǎn)生負(fù)電荷的聚集，這些負(fù)電荷將傳到與其相連接的MOS管的氧化柵極擊穿使得MOS管的氧化柵極擊穿，影響到MOS管的工作。

解決天線效應(yīng)的方法

在違反規(guī)則的金屬所連接到的MOS管柵極上加一個二極管將制造過程中聚集到MOS的管柵極上的負(fù)電荷及時地釋放掉。

替換金屬層，即跳線，特別是要限制Metal1到MOS的管柵極的長度，以此來減少負(fù)電荷的聚集量。

化學(xué)/機械拋光的考慮

在硅片制作過程中，需要完成化學(xué)/機械拋光（CMP，Chemical Mechanical Polish）的步驟。在布局密度有較大差異的不同區(qū)域，拋光程度也會相應(yīng)有所差別。

金屬通孔（VIA）失效影響

由于130 nm以下工藝采用銅互連線技術(shù)，尺寸的進(jìn)一步減小，金屬導(dǎo)線上的空洞（Voids）在熱應(yīng)力的作用下會向金屬通孔（VIA）中流動，從而造成連接斷路。

多金屬通孔方法

用于加倍通孔而多出的金屬將會增加金屬的臨界面積，對于使用低介電常數(shù)材料的技術(shù)，這一工藝步驟可能會導(dǎo)致應(yīng)力增加并最終使介電層開裂，良率也會下降

編輯：黃飛