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一文詳解離子束工藝技術(shù)

二次離子質(zhì)譜（SIMS）是一種分析方法。具有高空間分辨率和高靈敏度的工具。它使用高度聚焦的離子束（通常是氧氣或（無(wú)機(jī)樣品用銫離子）“濺射”樣品表面上選定區(qū)域的材料。

噴射出的“二次離子”通過(guò)質(zhì)量。分光計(jì)，它將離子按照它們的質(zhì)量/電荷比，實(shí)際上提供了化學(xué)物質(zhì)分析一個(gè)很小的取樣量。

編輯：黃飛

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離子束

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原文標(biāo)題：聚焦離子束工藝技術(shù)詳解(178頁(yè)P(yáng)PT）

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