哪些部件與組件需要執(zhí)行SEMI F57的評估

什么是SEMI F57

SEMI Standard

SEMI是國際半導體產業(yè)協(xié)會，SEMI Standard主要是為半導體制程設備，提供一套實用的環(huán)保、安全和衛(wèi)生準則，SEMI F57規(guī)定了適用于在超純水系統(tǒng)中輸送超純水的超高純度聚合物材料和部件的最低性能要求，針對聚合物材料和組件的性能驗證。

超純水和濕化學品輸送系統(tǒng)

材料適用性評估

半導體先進制程要求工藝使用的超純水，超純化學品的純度越來越高，污染物水平越來越低，用于超純水，超純化學品運輸和儲藏的系統(tǒng)和部件不能帶入污染。雖然在超純水與化學品的質量都有相對應的標準與規(guī)范，大部分都是末端標準，對其各個組件的制造商來說，是無法直接應用的。目前在SEMI系列規(guī)范中，SEMI F57是直接從材料選擇、生產過程、產品結構設計等方面進行規(guī)范和建議的文件，讓超純水和濕化學品輸送系統(tǒng)材料的適用性評估有所參考依據(jù)。

· 哪些部件與組件需要執(zhí)行SEMI F57的評估

· SEMI F57離子污染標準

· SEMI F57金屬污染標準

· SEMI F57總有機碳 (TOC）標準

· SEMIF57表面粗糙度標準

SGS服務內容

SGS 協(xié)助聚合物材料及其組件制造商與化學品與超純水系統(tǒng)供貨商及各大光電半導體廠符合 SEMI F57 以下的測試要求。

Quantitative Measures of Compliance

定量要求

Particle Contribution Limits

顆粒限值

Metallic Contribution Limits

金屬元素限值

Ionic Contribution Limits

離子限值

Particle Contribution Limits

顆粒限值

Total Organic (Oxidizable) Carbon Contribution Limits

總有機碳限值

Surface Roughness Limits

表面粗糙度限值

Qualitative Measures of Compliance

定性要求

Mechanical Properties 機械性能

Physical Properties 物理性能

Chemical Resistance 耐化學性

Reliability,Traceability Requirements

可靠性、可追溯性要求

Packaging Requirements, Certification包裝要求、認證

審核編輯 ：李倩