Baw諧振器制備工藝

Baw 諧振器常見的結(jié)構(gòu)有體硅背刻蝕型、空氣腔型、固態(tài)裝配型、以及剪切模式等。視頻中僅僅是空氣腔型。

FBAR的多層膜性能的好壞關(guān)系到 FBAR 的機(jī)械穩(wěn)定性、頻率穩(wěn)定性、機(jī)電轉(zhuǎn)換的效率及寄生損耗。

根據(jù) Yole Développemen 機(jī)構(gòu)研究報(bào)告，在 2015 年平均每部手機(jī)要 50 顆濾波器，到 2020 年平均每部手機(jī)需要支持 30-40 個(gè)頻段，則每部手需要 100顆以上濾波器，因此未來(lái)手機(jī)射頻前端器件的增長(zhǎng)主要來(lái)自于濾波器、雙工器和多工器。

5G 時(shí)代需要支持的頻段數(shù)量將會(huì)是現(xiàn)在的一倍多，同時(shí)會(huì)新增多個(gè)通信頻段，未來(lái)全球 2G/3G/4G/5G 通信組網(wǎng)合計(jì)需要支持的頻段數(shù)量將達(dá)到 91 個(gè)以上，這將帶動(dòng)射頻濾波器產(chǎn)業(yè)大爆發(fā)。

理論上單個(gè)頻段的射頻信號(hào)處理需要 2顆濾波器，多個(gè)濾波器會(huì)集成到濾波器組中，手機(jī)配備的濾波器與頻段數(shù)量之間的關(guān)系并非簡(jiǎn)單線性比例。

但隨著通信頻段增多，濾波器的設(shè)計(jì)難度及需求數(shù)量將會(huì)大幅的增加，相應(yīng)的價(jià)值量和市場(chǎng)總量，都會(huì)遠(yuǎn)超過(guò)現(xiàn)有的市場(chǎng)規(guī)模。

審核編輯：劉清