上揚(yáng)軟件升級(jí)發(fā)布設(shè)備故障偵測(cè)和分類Terra FDC 2.0

近日，上揚(yáng)軟件升級(jí)發(fā)布設(shè)備故障偵測(cè)和分類Terra FDC 2.0，升級(jí)后的2.0版本能夠更有效地提高機(jī)臺(tái)設(shè)備的利用率，從而降低生產(chǎn)成本、提高工廠效率。

半導(dǎo)體加工設(shè)備投資成本巨大，晶圓廠建廠超過75%的成本用于設(shè)備采購(gòu)，因此，設(shè)備效率最大化是半導(dǎo)體廠降本提效的主要方式之一。因此，以故障監(jiān)測(cè)、分類和預(yù)測(cè)為主要功能的FDC正是提高設(shè)備利用率的利器。

FDC高頻次采集機(jī)臺(tái)生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵數(shù)據(jù)，利用算法和經(jīng)驗(yàn)?zāi)Ｐ停ńy(tǒng)計(jì)學(xué)算法、工藝模型的算法和人工智能算法，預(yù)配置參數(shù)的限制值，持續(xù)監(jiān)控設(shè)備參數(shù)，以對(duì)設(shè)備健康狀態(tài)提供主動(dòng)而快速的反饋，如偵測(cè)到設(shè)備故障，則采取相關(guān)警報(bào)和控制功能。

FDC通過對(duì)機(jī)臺(tái)運(yùn)行（生產(chǎn)，待機(jī)）實(shí)時(shí)監(jiān)控，包括整體機(jī)和子腔體，從而實(shí)現(xiàn)以下功能：一是避免設(shè)備故障造成的產(chǎn)品不良，提升產(chǎn)品良率；二是減少設(shè)備意外停機(jī)時(shí)間，提高產(chǎn)品周轉(zhuǎn)率。三是減少測(cè)試晶片運(yùn)用，達(dá)到降低成本的目的。

作為半導(dǎo)體智能制造軟件CIM的重要子系統(tǒng)之一，F(xiàn)DC也是長(zhǎng)期被國(guó)外廠商壟斷。國(guó)產(chǎn)FDC市場(chǎng)勢(shì)孤力薄，產(chǎn)品小眾化，在主流的8英寸和12英寸晶圓廠上沒有進(jìn)行過驗(yàn)證，主要是集中在中小半導(dǎo)體廠，市場(chǎng)占有率很低，很難形成規(guī)模。另外，從技術(shù)來(lái)說，驗(yàn)證算法和算法都相對(duì)比較單一，只能做到設(shè)備的單邊量分析，多變量分析還是比較薄弱；三是由于技術(shù)上的差距，服務(wù)也是與國(guó)際一流的FDC有一定的差別，所以在服務(wù)上，對(duì)于客戶上的幫助還是很有限，很難從工藝或設(shè)備的角度，以及從系統(tǒng)和算法的角度上來(lái)說，幫助客戶提升工藝水平。

上揚(yáng)軟件升級(jí)后的Terra FDC采用「分層診斷」，透過一層層的故障偵測(cè)法則，如同天羅地網(wǎng)般偵測(cè)機(jī)臺(tái)設(shè)備可能發(fā)生的故障診斷與分類。其核心優(yōu)勢(shì)有三點(diǎn)：

01對(duì)設(shè)備數(shù)據(jù)進(jìn)行高頻次采集，至少支持100毫秒的頻率，約為10HZ02基于深度學(xué)習(xí)進(jìn)行邊緣AI計(jì)算，提高高頻數(shù)據(jù)采樣的效率，甚至達(dá)到100HZ。03多變量分析：利用大數(shù)據(jù)技術(shù)，支持多元數(shù)據(jù)分析。

此次，上揚(yáng)軟件發(fā)布的Terra FDC 2.0將推動(dòng)國(guó)產(chǎn)FDC的發(fā)展，助力構(gòu)建國(guó)產(chǎn)市場(chǎng)的新格局。