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過氧化氫(雙氧水)工藝資料(下)

華林科納半導(dǎo)體設(shè)備制造 ? 來源:華林科納半導(dǎo)體設(shè)備制造 ? 作者:華林科納半導(dǎo)體設(shè) ? 2022-08-16 17:19 ? 次閱讀

濃品工段工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖見圖1

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二、濃品工段工藝流程簡述

(1)進(jìn)料系統(tǒng)

27.5%的過氧化氫進(jìn)入原料液預(yù)熱器與底部產(chǎn)品(熱量回收)換熱,溫度從30℃加熱到37℃左右后由進(jìn)料泵送入降膜蒸發(fā)器。

(2)進(jìn)料蒸發(fā)

料液在降膜蒸發(fā)器內(nèi)進(jìn)行蒸發(fā),蒸汽經(jīng)過除霧器除去蒸汽中所夾帶的全部液滴。蒸發(fā)蒸汽與過氧化氫溶液同時從蒸發(fā)器排出,液相幾乎含有全部雜質(zhì)。液相通過蒸發(fā)循環(huán)泵將大部分循環(huán)液再返回到蒸發(fā)器的頂部,少部分作為技術(shù)級產(chǎn)品送到技術(shù)級產(chǎn)品冷卻器使其溫度降到36℃再送到技術(shù)級產(chǎn)品儲罐。汽相進(jìn)入精餾塔的下部。

(3)精餾塔

精餾塔為填料塔;過氧化氫與水之間的質(zhì)量傳遞即在該填料表面進(jìn)行。液相(回流液為去離子水)在此處與汽相(蒸汽)充分接觸。塔底得到化學(xué)級產(chǎn)品,進(jìn)化學(xué)品級產(chǎn)品罐,最終進(jìn)入產(chǎn)品罐。精餾塔尾氣經(jīng)冷凝,冷凝液進(jìn)冷凝液水封罐,尾氣再經(jīng)冷凝,該蒸汽冷凝液含有極微量的過氧化氫。

濃品工段工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點圖見圖2

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審核編輯:湯梓紅
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