光譜共焦位移傳感器能應(yīng)用那些領(lǐng)域？原理是什么？

光譜共焦位移傳感器作為一種新興的高精度測(cè)量設(shè)備具有非接觸式、高精度、高穩(wěn)定性、大角度、高采樣頻率等測(cè)量特性。那么作為一家新型的測(cè)量技術(shù)，光譜共焦的原理是什么呢：

一束白光（或多波長(zhǎng)混合光）經(jīng)過(guò)一個(gè)小孔，經(jīng)過(guò)鏡頭將不同的波長(zhǎng)聚焦到光軸上，色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，部分反射光反射回去。（如下圖左所示）照射在光軸與物體表面交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件，通過(guò)小孔照射到光譜分析儀。根據(jù)波長(zhǎng)計(jì)算就可以獲得鏡頭到被測(cè)物距離（下圖右所示）。

光譜共焦位移傳感器的原理是什么？能應(yīng)用那些領(lǐng)域？

作為新型的非接觸式高精度測(cè)量設(shè)備，精度可以達(dá)到亞微米級(jí)別，比如可以用來(lái)測(cè)量透明物體的厚度，以及輪廓、位移、高度、2d3d曲面弧度掃描、不透明物體的厚度測(cè)量、振動(dòng)測(cè)量、深孔、液位測(cè)量、微槽、平面度測(cè)量等等。

光譜共焦位移傳感器的原理是什么？能應(yīng)用那些領(lǐng)域？

在手機(jī)行業(yè)，比如曲面蓋板玻璃檢測(cè)、手機(jī)主板檢測(cè)、按鍵尺寸或高度檢測(cè)、芯片檢測(cè)、攝像頭模組檢測(cè)、手機(jī)攝像頭模組檢測(cè)等等。半導(dǎo)體行業(yè)，芯片引腳平整度檢測(cè)，晶圓深度和厚度檢測(cè)。玻璃測(cè)量，如厚度、弧度等一些要求精度高的產(chǎn)品。

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審核編輯 黃昊宇