PureLine 3技術(shù)可消除97%的探針臺(tái)環(huán)境噪聲

新的PureLine 3技術(shù)可消除97%的環(huán)境噪聲，使頻譜噪聲性能提高32倍。利用該技術(shù)，可在片測(cè)量高精度的器件性能，并為IC設(shè)計(jì)者生成器件模型。

早些時(shí)候，我們發(fā)布了一篇博客，宣布推出CM300xi-ULN探針臺(tái)。這一新的在片噪聲測(cè)試金標(biāo)準(zhǔn)具有許多新特點(diǎn)，但最重要的特點(diǎn)是PureLine?第三代技術(shù)。

該技術(shù)包含我們的大量專利、電氣設(shè)計(jì)知識(shí)和測(cè)量系統(tǒng)IP，共同為被測(cè)器件（DUT）提供有效的無(wú)噪聲環(huán)境。

與Elite300和CM300探針臺(tái)以前的PureLine版本相比，新的PureLine 3可消除97%的環(huán)境噪聲，使頻譜噪聲性能提高32倍。利用該技術(shù)，可在片測(cè)量高精度的器件性能，并為IC設(shè)計(jì)者生成更有價(jià)值的器件模型。

使用具有PureLine 3技術(shù)的新型CM300xi-ULN探針臺(tái)，設(shè)備測(cè)試工程師、可靠性工程師和IC設(shè)計(jì)工程師均可從這一最新技術(shù)中受益。現(xiàn)在可簡(jiǎn)單自動(dòng)地對(duì)先進(jìn)材料、封裝互連、晶體管和IC進(jìn)行精確的閃爍、RTN和相位噪聲測(cè)量，更快地獲取數(shù)據(jù)。

PureLine 3技術(shù)集成到CM300xi-ULN探針臺(tái)的許多組件中，包括：

• ULN微室?:這為探針臺(tái)、DUT和晶圓卡盤區(qū)域周圍提供了關(guān)鍵測(cè)量環(huán)境，以進(jìn)行低噪聲測(cè)試。新增強(qiáng)的ULN微室確保了完整的EMI/RFI屏蔽區(qū)域，就像一個(gè)小型的、本地化的大型實(shí)驗(yàn)室法拉第籠。此外，ULN微室提供了所需的黑暗和干燥環(huán)境，這對(duì)于測(cè)量光敏晶體管和在負(fù)溫度（< =-60℃）下無(wú)霜運(yùn)行的器件至關(guān)重要。
• ULN電力調(diào)節(jié)裝置(PCU)：該集成的ULN系統(tǒng)組件可為整個(gè)系統(tǒng)-探針臺(tái)和儀器提供全面管理和過(guò)濾的交流電源。機(jī)架安裝ULN電源調(diào)節(jié)裝置（PCU）的專利PureLine 3技術(shù)使設(shè)備占地面積小、場(chǎng)發(fā)射率低，并為消除探針臺(tái)和儀器之間產(chǎn)生明顯低頻噪聲的接地回路的測(cè)試單元電源管理（TCPM）奠定了基礎(chǔ)。ULN PCU為探針臺(tái)、熱冷卻器和控制器、晶圓裝載器、動(dòng)力配件和所有測(cè)試儀器提供清潔、過(guò)濾的交流電源。此外，PCU為整個(gè)系統(tǒng)和所有儀器的安全運(yùn)行提供統(tǒng)一的緊急斷電/緊急電源控制系統(tǒng)。
• ULN熱過(guò)濾模塊：ULN熱過(guò)濾模塊包含在所有帶有熱控制晶圓卡盤的ULN系統(tǒng)中。這對(duì)于在溫度下實(shí)現(xiàn)超低噪聲測(cè)量至關(guān)重要外部熱控系統(tǒng)產(chǎn)生的有害噪聲被過(guò)濾，防止進(jìn)入關(guān)鍵的低噪聲測(cè)量環(huán)境中。有源模塊顯著降低高頻噪聲，1Mhz以上可降低30dB。
• ULN單點(diǎn)接地和布線系統(tǒng)：每個(gè)ULN系統(tǒng)還包括用于所有探針臺(tái)配件的單點(diǎn)接地系統(tǒng)，具有低電阻接地連接。PureLine 3的設(shè)計(jì)實(shí)踐為機(jī)械組件提供了低電阻材料和硬連接方案-降低了將不必要的射頻噪聲輸入測(cè)量路徑的天線效應(yīng)。
• 精確測(cè)量PLL相位噪聲的ULN SMU過(guò)濾模塊：對(duì)于鎖相環(huán)電路（PLL）和壓控振蕩器（VCO）等設(shè)備的高精度相位噪聲測(cè)量，新開(kāi)發(fā)的源測(cè)量單元（SMU）DC過(guò)濾模塊可與CM300xi-ULN探針臺(tái)一起使用，以提供超靜音/清潔的DC電源電壓。高性能DC SMU過(guò)濾模塊可提供高達(dá)100dB的衰減（50Hz至80Mhz），可處理最大100mA DC電流。每個(gè)SMU過(guò)濾模塊支持一個(gè)通道，多個(gè)模塊可配置在一起，以提供多通道清潔電源。
• ULN智能接觸技術(shù)模塊：新的ULN智能接觸技術(shù)?模塊（1、2和4探針座系統(tǒng)）具有PureLine 3降噪功能，使CM300xi-ULN成為世界上第一個(gè)在30μm焊盤上實(shí)現(xiàn)自主閃爍噪聲熱測(cè)試的探針臺(tái)。利用自動(dòng)化DC測(cè)量助手，CM300xi-ULN可配置為使用帶電動(dòng)探頭定位器的ULN優(yōu)化的
• Contact Intelligence技術(shù)，進(jìn)行完全自主的DC和閃爍噪聲測(cè)量，在不同溫度下實(shí)現(xiàn)全天候自動(dòng)運(yùn)行。

審核編輯：符乾江